本發(fā)明在另一實施例中公開一種芯片測試機的測試方法。該測試方法包括以下步驟:將多個待測試芯片放置于多個tray盤中,每一個tray盤中放置多個待測試芯片,將多個tray盤放置于自動上料裝置,并在自動下料裝置及不良品放置臺上分別放置一個空tray盤;移載裝置從自動上料裝置的tray盤中取出待測試芯片移載至測試裝置進行測試;芯片測試完成后,移載裝置將測試合格的芯片移載至自動下料裝置的空tray盤中,將不良品移載至不良品放置臺的空tray盤中;當(dāng)自動上料裝置的一個tray盤中的待測試芯片全部完成測試,且自動下料裝置的空tray盤中放滿測試合格的芯片后,移載裝置將自動上料裝置的空tray盤移載至自動下料裝置。芯片測試機是一種用于測試集成電路的機器。河南半導(dǎo)體芯片測試機平臺
從高溫容器中采用旋轉(zhuǎn)拉伸的方式將硅原料取出,此時一個圓柱體的硅錠就產(chǎn)生了。從目前所使用的工藝來看,硅錠圓形橫截面的直徑為200毫米。在保留硅錠的各種特性不變的情況下增加橫截面的面積是具有相當(dāng)?shù)碾y度的,不過只要企業(yè)肯投入大批資金來研究,還是可以實現(xiàn)的。intel為研制和生產(chǎn)300毫米硅錠建立的工廠耗費了大約35億美元,新技術(shù)的成功使得intel可以制造復(fù)雜程度更高,功能更強大的芯片芯片,200毫米硅錠的工廠也耗費了15億美元。河南半導(dǎo)體芯片測試機平臺芯片測試機為從事集成電路設(shè)計的工程師提供了便捷的測試手段。
一般packagetest的設(shè)備也是各個廠商自己開發(fā)或定制的,通常包含測試各種電子或光學(xué)參數(shù)的傳感器,但通常不使用探針探入芯片內(nèi)部(多數(shù)芯片封裝后也無法探入),而是直接從管腳連線進行測試。由于packagetest無法使用探針測試芯片內(nèi)部,因此其測試范圍受到限制,有很多指標(biāo)無法在這一環(huán)節(jié)進行測試。但packagetest是Z終產(chǎn)品的測試,因此其測試合格即為Z終合格產(chǎn)品。IC的測試是一個相當(dāng)復(fù)雜的系統(tǒng)工程,無法簡單地告訴你怎樣判定是合格還是不合格。
優(yōu)先選擇地,預(yù)定位裝置100還包括至少兩個光電傳感器105,機架10上固定有預(yù)定位氣缸底座106,預(yù)定位旋轉(zhuǎn)氣缸101固定于預(yù)定位氣缸底座106上,預(yù)定位氣缸底座106上設(shè)有相對設(shè)置的四個定位架107,預(yù)定位底座102及轉(zhuǎn)向定位底座103位于四個定位架107支之間,兩個光電傳感器105分別固定于兩個定位架107上。當(dāng)芯片需要進行預(yù)定位時,首先選擇將芯片移載至預(yù)定位槽104內(nèi),然后由預(yù)定位旋轉(zhuǎn)氣缸101帶動轉(zhuǎn)向定位底座103旋轉(zhuǎn),從而帶動芯片正向或反向旋轉(zhuǎn)90度。通過預(yù)定位裝置100對芯片的放置方向進行調(diào)整,保障芯片測試的順利進行。芯片測試完成后再移動至預(yù)定位裝置100進行方向調(diào)整,保障測試完成后的芯片的放置方向與芯片的來料方向一致。芯片測試機可以提供精確的數(shù)據(jù),幫助工程師快速理解芯片性能。
如圖13、圖14所示,本實施例的移載裝置20包括y軸移動組件21、x軸移動組件22、頭一z軸移動組件23、第二z軸移動組件24、真空吸盤25及真空吸嘴26。x軸移動組件22與y軸移動組件21相連,頭一z軸移動組件23、第二z軸移動組件24分別與x軸移動組件22相連,真空吸盤25與頭一z軸移動組件23相連,真空吸嘴26與第二z軸移動組件24相連。y軸移動組件21固定于機架10的上頂板上,y軸移動組件21包括y軸移動導(dǎo)軌210、y軸拖鏈211、y軸伺服電缸212及y軸移動底板213,y軸導(dǎo)軌與y軸拖鏈211相對設(shè)置,y軸移動底板213通過滑塊分別與y軸移動導(dǎo)軌210及y軸伺服電缸212相連。x軸移動組件22與y軸移動底板213相連,x軸移動組件22還與y軸拖鏈211相連。由y軸伺服電缸212驅(qū)動y軸移動底板213在y軸移動。芯片測試機可以進行超時測試,用于測試芯片在極端條件下的穩(wěn)定性。北京推拉力芯片測試機設(shè)備
芯片測試機通常連接到計算機上進行測試。河南半導(dǎo)體芯片測試機平臺
動態(tài)測試原理(或者叫功能測試或叫跑pattern方式),使用動態(tài)測試法進行開短路測試比之前介紹的靜態(tài)測試法更快,成本也更低,適合管腳比較多的芯片,減少測試時間。使用測試機動態(tài)電流負載單元為前端偏置的 VDD 保護二極管提供電流,通過輸出比較電平確定PASS區(qū)域(中間態(tài)或“Z”態(tài))。兩種測量方法對比:利用功能測試進行開短路測試的優(yōu)點是速度相對比較快;不利之處在于datalog所能顯示的結(jié)果信息有限,當(dāng)fail產(chǎn)生,我們無法直接判斷失效的具體所在和產(chǎn)生原因。通常在測試中因為芯片引腳不多,對時間影響不明顯,大部分選擇靜態(tài)(DC測試)方法.河南半導(dǎo)體芯片測試機平臺