探針、探針夾具及電纜組件。(1)探針。待測點需要測試探針的連接,才能與測試儀器發(fā)生交流。常見的有:普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針。(2)探針夾具及電纜組件。探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。根據(jù)測量應(yīng)用,可粗略地劃分為以下幾種:I-V/CV測試用、RF測試用、高壓大電流I-V/C-V測試用等。主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析,抽查測試等用途。探針臺的運營需要考慮科學、技術(shù)和管理等多個方面的因素,并做好安全保密方面的工作。北京IC探針臺怎么樣
不同的顯微鏡,顯微鏡的支架會有所不同,通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺用于放置定位器(探針座)、形狀和尺寸根據(jù)測試應(yīng)用不同會有不同的設(shè)計形式。樣品臺(載物臺)用于承載待測樣品,通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計,常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能,樣品臺還可根據(jù)測量需求,設(shè)計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應(yīng)的移動定位功能,方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。定位器。定位器(又稱探針座),幫助用戶實現(xiàn)探針的精密移動定位。因此,結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、驅(qū)動絲桿精度、導向機構(gòu)的直線度、往復精度、長期使用時以上指標的可靠性都是選購定位器時應(yīng)當考慮的主要指標。北京IC探針臺怎么樣探針臺是專門為探索宇宙而設(shè)計的機構(gòu)之一。
探針臺由哪些部分組成?1.樣品臺(載物臺),載物臺是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小,并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能。克洛諾斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運動平臺就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,重復定位精度達±50納米,可以依靠精密機械運作在極短的曝光時間內(nèi)完美定位,完成晶圓在量測端的極精密的檢測。2.光學元件,這個部件的作用是能夠從視覺上放大觀察待測物,以便精確地將探針先進對準并放置在待測晶圓/ 芯片的測量點上。3.卡盤,有一個非常平坦的金屬表面,卡盤用夾具來固定待測物,或使用真空來吸附晶圓。
半自動型,chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probe card測試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品;電動型;chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mm x 300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡。探針臺的設(shè)立有助于拓展對太空天體的認識。
根據(jù)不同的品牌、型號和規(guī)格,探針臺的價格也會有所不同。一般來說,探針臺的價格在幾千元到幾萬元不等。探針臺的價格主要取決于探針的數(shù)量、品質(zhì)、規(guī)格和品牌等因素。一些檔次高探針臺甚至可以達到幾十萬元的價格。此外,一些大型電子制造商通常會選擇與專業(yè)的探針臺廠商合作,以獲得更好的品質(zhì)和服務(wù)。因此,一些有名品牌的探針臺價格也會相對較高??偟膩碚f,探針臺的價格相對較高,但是它們可以提供更精確、可靠和高效的測試操作,因此在電子制造行業(yè)中被普遍使用。探針臺的建設(shè)需要克服很多技術(shù)難題。廣東半自動探針臺價位
探針臺是人類智慧的結(jié)晶和太空探索的橋梁。北京IC探針臺怎么樣
讓一個好的探針臺與眾不同并為您的測試增加價值的是它能夠精確控制這些探針在設(shè)備上的位置、外部刺激的應(yīng)用方式以及測試發(fā)生時設(shè)備周圍的環(huán)境條件。探針臺由六個基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺 – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機械手——用于將探頭定位在被測設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進和臂 - 安裝在機械手上,它們直接接觸設(shè)備。光學 - 用于查看和放大被測設(shè)備和探頭先進。北京IC探針臺怎么樣