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河南高精度探針臺工作原理

來源: 發(fā)布時間:2024-01-15

什么是自動探針臺,自動探針臺是一種用于電子與通信技術(shù)、計算機(jī)科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。從裝片方式上區(qū)分,分為全自動和半自動兩種。主要用于晶圓測試,晶圓尺寸:4,,6,8 ,12英寸晶圓片裝卸:1個載片盒 (25 或者 26 個片槽),連續(xù)的可編程雙向加載,快速單片晶圓手動上下片,防晶圓交叉保護(hù) XYZ- 精度:±3微米。使用環(huán)境:1. 電源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<1.5KW;2. 壓縮空氣源:> 0.7MPa,10L/H;3. 使用環(huán)境:溫度:15oC-25oC 相對濕度:<70%。探針臺能夠觀測到遠(yuǎn)離地球的星系和恒星群。河南高精度探針臺工作原理

探針臺分類,探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動,從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(較低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。經(jīng)濟(jì)手動型,根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選);X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選);chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān);可搭配Probe card測試;適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。河南高精度探針臺工作原理探針臺能夠探測人類目前尚未發(fā)現(xiàn)的天文現(xiàn)象。

探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)。針對集成電路以及封裝的測試。 探針臺廠家生產(chǎn)的探針臺普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。激光探針臺,探針臺應(yīng)用范圍:8寸以內(nèi)Wafer,IC測試,IC設(shè)計等;激光探針臺測試內(nèi)容:1. 微小連接點(diǎn)信號引出;2. 失效分析失效確認(rèn);3. FIB電路修改后電學(xué)特性確認(rèn);4. 晶圓可靠性驗(yàn)證;5. 激光打標(biāo);6. 表層修復(fù)線路;7. 驅(qū)除短路點(diǎn);8. 激光斷線;9. 干擾芯片測試。

機(jī)械手放置在平臺的平面上,并在機(jī)械手中插入探針臂和先進(jìn)。探頭先進(jìn)必須適合要執(zhí)行的測試程序。然后,用戶通過調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針先進(jìn)精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸;現(xiàn)在可以測試該設(shè)備。對于具有多個器件的晶圓,在測試頭一個器件后,可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動到下一個器件。重復(fù)定位探針先進(jìn)的過程,直到測試完所有必需的設(shè)備。這個過程都可以由操作員手動完成,但如果載物臺和機(jī)械手是電動的,并且顯微鏡連接到計算機(jī)視覺系統(tǒng),那么這個過程可以變成半自動或全自動。這可以提高探針臺的生產(chǎn)力和吞吐量,并減少運(yùn)行多個測試所需的勞動力。探針臺為研究宇宙現(xiàn)象、探索太空、保護(hù)地球和人類生命提供了豐厚的數(shù)據(jù)資源。

它是如何工作的?探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上,該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。機(jī)械手放置在平臺的平面上,并在機(jī)械手中插入探針臂和先進(jìn)。探頭先進(jìn)必須適合要執(zhí)行的測試程序。然后,用戶通過調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針先進(jìn)精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸;現(xiàn)在可以測試該設(shè)備。對于具有多個器件的晶圓,在測試一個器件后,可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動到下一個器件。探針臺的科技成果對推進(jìn)全球科學(xué)事業(yè)、推動人類文明進(jìn)步發(fā)揮著重要的作用。江蘇半導(dǎo)體晶圓測試探針臺怎么樣

探針臺的研究成果對人類探索宇宙和了解宇宙具有重要意義。河南高精度探針臺工作原理

溫控探針臺在許多領(lǐng)域都有普遍的應(yīng)用。例如,在實(shí)驗(yàn)室中,可以用于科學(xué)研究,如化學(xué)反應(yīng)、生物實(shí)驗(yàn)等。在工業(yè)生產(chǎn)中,它們用于控制工藝過程中的溫度,如金屬加熱、玻璃淬火等。在醫(yī)療設(shè)備中,可以用于保持手術(shù)器械的消毒溫度、維持血液透析機(jī)的水溫等。溫控探針臺的優(yōu)點(diǎn)是精確控制溫度、穩(wěn)定性高、響應(yīng)速度快、可靠性強(qiáng)。由于它可以實(shí)時監(jiān)測和控制溫度,因此可以節(jié)省時間和成本,并提高生產(chǎn)效率。與傳統(tǒng)的溫度控制方法相比,它更加智能化和自動化,減少了人工干預(yù)和誤差??傊?,溫控探針臺是一種重要的溫度測量和調(diào)節(jié)設(shè)備,具有普遍的應(yīng)用領(lǐng)域和諸多優(yōu)點(diǎn)。隨著科技的不斷進(jìn)步,它的性能和功能將會進(jìn)一步提升,為各行各業(yè)帶來更多便利和效益。河南高精度探針臺工作原理