根據(jù)探針測(cè)試需要，XY 精密工作臺(tái)的技術(shù)要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重復(fù) 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計(jì)時(shí)，為達(dá)到上述精密控制要求選用伺服電機(jī) 驅(qū)動(dòng)，全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制；整個(gè)工作臺(tái)需要放置于真 空腔體內(nèi)，結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計(jì)尺寸，XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對(duì)稱方式。對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購件，選型號(hào)時(shí)，需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運(yùn)行情 況，要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣，外購 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號(hào)滿足上述要求，需要對(duì)相應(yīng)外購件加裝特制 密封罩。探針臺(tái)開展的研究和觀測(cè)任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。湖北真空溫控探針臺(tái)生產(chǎn)商
探針臺(tái)的作用是什么？探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。晶圓檢測(cè)是半導(dǎo)體制造中必不可少的步驟，選擇合適的晶圓探針臺(tái)和探針來進(jìn)行晶圓檢測(cè)也很重要?？寺逯Z斯較新自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有極高精度和運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性，讓系統(tǒng)在快速運(yùn)行時(shí)，能準(zhǔn)確識(shí)別和測(cè)量出晶圓的種種缺陷，較大程度上提高晶圓檢測(cè)效率。注：這里我們主要以射頻探針臺(tái)為例總結(jié)探針臺(tái)的應(yīng)用。以RF微波射頻在片測(cè)試為例，在片測(cè)量是指使用探針直接測(cè)量晶圓（Wafer）或裸芯片（Chip）的微波射頻參數(shù)。相比于常規(guī)的鍵合/封裝后的測(cè)量，微波射頻在片測(cè)量消除了封裝及鍵合絲引入的寄生參數(shù)，可以更準(zhǔn)確的反應(yīng)被測(cè)芯片的射頻特性。微波射頻在片測(cè)量普遍應(yīng)用于器件建模、芯片檢驗(yàn)等領(lǐng)域。湖北真空溫控探針臺(tái)生產(chǎn)商探針臺(tái)的建設(shè)需要科學(xué)家們共同匯聚自己的智慧。
承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要具有實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的茲 向 旋轉(zhuǎn)，茲 向旋轉(zhuǎn)的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ；為了實(shí)現(xiàn)與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達(dá)到接觸 位置的精度，抬升機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度要高，同時(shí)承片 臺(tái)要具備極高的剛性，而且在150 mm 的臺(tái)面上 剛度一致是非常重要的。通過在Z 軸方向的往復(fù) 移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型（外圈分隔，內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn)）支撐 旋轉(zhuǎn)。在交叉滾柱軸環(huán)中，因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動(dòng)面上通過間隔保持器被相互垂直排列。使得單個(gè)軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負(fù)荷等所有方向的負(fù)荷，具有很高的剛性。又 由于內(nèi)圈或外圈是分隔的構(gòu)造，軸承間隙可調(diào)整。
重復(fù)定位探針先進(jìn)的過程，直到測(cè)試完所有必需的設(shè)備。這個(gè)過程都可以由操作員手動(dòng)完成，但如果載物臺(tái)和機(jī)械手是電動(dòng)的，并且顯微鏡連接到計(jì)算機(jī)視覺系統(tǒng)，那么這個(gè)過程可以變成半自動(dòng)或全自動(dòng)。這可以提高探針臺(tái)的生產(chǎn)力和吞吐量，并減少運(yùn)行多個(gè)測(cè)試所需的勞動(dòng)力。作為半導(dǎo)體封測(cè)行業(yè)三大設(shè)備之一，探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測(cè)試，研發(fā)難度大，國產(chǎn)化率低，進(jìn)口依賴度高，它的品質(zhì)和精度直接決定測(cè)試可靠性與否。探針臺(tái)加工廠家潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象。探針臺(tái)的建設(shè)和運(yùn)行需要具備高度的專業(yè)素養(yǎng)和嚴(yán)謹(jǐn)性。
探針臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng)：1.避免碰撞：在安裝，操作探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。2.儀器的運(yùn)輸：儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。3.儀器的存放使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí)，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。探針臺(tái)能夠觀測(cè)到宇宙的細(xì)微之處，為人類探索宇宙提供了重要的線索。湖北真空溫控探針臺(tái)生產(chǎn)商
探針臺(tái)的發(fā)展需要國際合作和共同努力。湖北真空溫控探針臺(tái)生產(chǎn)商
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類，縱觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對(duì)待。湖北真空溫控探針臺(tái)生產(chǎn)商