探針臺(tái)工作原理：1.探針臺(tái)工作原理，將待測(cè)物吸附在載物臺(tái)上后推入探針臺(tái)腔體內(nèi)，利用探針座精密移動(dòng)探針，通過(guò)顯微鏡的觀察，將探針與待測(cè)物接觸，然后將探針座上的電纜與儀表連接，通過(guò)自帶的軟件實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)測(cè)量和提取。結(jié)果方便保留對(duì)比查看。2.探針臺(tái)功能，通過(guò)連接儀器及待測(cè)物實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)提取，通過(guò)自帶的驅(qū)動(dòng)及測(cè)試軟件能夠單獨(dú)實(shí)現(xiàn)器件的電學(xué)特性測(cè)試，為精密器件提供一個(gè)良好的系統(tǒng)平臺(tái)。ADVANCED儀準(zhǔn)科技研發(fā)的高性?xún)r(jià)比手動(dòng)探針臺(tái)可以搭配多種測(cè)試儀器使用，比如示波器，頻譜儀，IV等等。探針臺(tái)的研究成果不僅對(duì)天文學(xué)有著重要的意義，還對(duì)物理學(xué)等學(xué)科領(lǐng)域產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。上海半自動(dòng)探針臺(tái)

它是如何工作的？探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤(pán)上，該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。機(jī)械手放置在平臺(tái)的平面上，并在機(jī)械手中插入探針臂和先進(jìn)。探頭先進(jìn)必須適合要執(zhí)行的測(cè)試程序。然后，用戶(hù)通過(guò)調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針先進(jìn)精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過(guò)降低壓板使探針與晶片接觸；現(xiàn)在可以測(cè)試該設(shè)備。對(duì)于具有多個(gè)器件的晶圓，在測(cè)試一個(gè)器件后，可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺(tái)移動(dòng)到下一個(gè)器件。深圳雙層位移探針臺(tái)定制探針臺(tái)是推進(jìn)太空探索和航天事業(yè)的重要一環(huán)。

XY 精密工作臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，由于XY 工作臺(tái)需要放置于真空腔體內(nèi)，XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)越緊湊，真空腔體就越小，設(shè)備尺寸也 就相應(yīng)減小。結(jié)構(gòu)緊湊合理的XY 工作臺(tái)有利于 降低真空腔體加工難度、減少能源浪費(fèi)。XY 工作臺(tái)整體處于真空腔體中，要求零部件結(jié)構(gòu)密致性好，零部件材料不能逸出空氣，材料表 面不能有揮發(fā)性油脂。XY 工作臺(tái)需要完全暴露在特 種環(huán)境中，所有零部件均需要通過(guò)耐腐蝕、耐低溫 性等試驗(yàn)，對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購(gòu)件，如果沒(méi) 有合適的型號(hào)滿足上述要求，需要對(duì)相應(yīng)外購(gòu)件 加裝特制密封裝置，使外購(gòu)件與腔體內(nèi)環(huán)境有效 隔絕。

極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測(cè)試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。探針臺(tái)的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。

太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)探針臺(tái)(Solar Cell 量測(cè)系統(tǒng))；量測(cè)軟體:I-V /C-V Curve, Isc, Voc,Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,Power Convert Efficiency采用KEITHLEY Source Meter可加配任意品牌之太陽(yáng)光模擬器。x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，x-y向工作臺(tái)都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。探針臺(tái)需要高度的保密性和安全措施。福建探針臺(tái)廠家

探針臺(tái)的數(shù)據(jù)對(duì)太空探索、戰(zhàn)略部署、國(guó)家的安全等領(lǐng)域具有普遍的應(yīng)用和重要的戰(zhàn)略意義。上海半自動(dòng)探針臺(tái)

承片臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要具有實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的茲 向 旋轉(zhuǎn)，茲 向旋轉(zhuǎn)的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圓上的分度精度要臆0.05° ；為了實(shí)現(xiàn)與探針的緊密接觸穩(wěn)定地抬升、有效地達(dá)到接觸 位置的精度，抬升機(jī)構(gòu)的進(jìn)給精度要高，同時(shí)承片 臺(tái)要具備極高的剛性，而且在150 mm 的臺(tái)面上 剛度一致是非常重要的。通過(guò)在Z 軸方向的往復(fù) 移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)高剛性、穩(wěn)定的探針接觸。承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上采用THK 超精密 交叉滾柱軸環(huán)RB 型（外圈分隔，內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn)）支撐 旋轉(zhuǎn)。在交叉滾柱軸環(huán)中，因圓柱形滾柱在呈 90° 的V 形溝槽滾動(dòng)面上通過(guò)間隔保持器被相互垂直排列。使得單個(gè)軸承就可承受徑向、軸向及 力矩負(fù)荷等所有方向的負(fù)荷，具有很高的剛性。又 由于內(nèi)圈或外圈是分隔的構(gòu)造，軸承間隙可調(diào)整。上海半自動(dòng)探針臺(tái)