探針臺用途,探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。ADVANCED儀準科技研發(fā)高性價比手動探針臺,普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。芯片制造結束后即可在線測試,從源頭即可監(jiān)控。探針臺用于對集成電路、三極管、二極管及光電探測器的IV/CV參數(shù)等性能測試與表征,是研究中不可缺少的基本設備。探針臺系統(tǒng)性能指標,可以實現(xiàn)通過軟件對晶片載臺X,Y,Z,探針臺可搭載光纖,未來可升級滿足光電測試。載物臺在XY方向:±1pm(0.04mls)分辨率、小于2μm(0.08mls)重復精度、大于50mm/sec的移動速度;在Z方向:5mm(0.19in)的移動范圍、1pm(0.04mls)分辨率、小于1pmmls)重復精度.探針臺的工作需要合理規(guī)劃和有條不紊的執(zhí)行。上海小型探針臺生產廠家
根據(jù)探針測試需要,XY 精密工作臺的技術要 求為:XY 向行程160 mm;精度±0.008 mm;重復 定位精度±0.003 mm;分辨率0.001 mm。在結構 設計時,為達到上述精密控制要求選用伺服電機 驅動,全閉環(huán)運動控制;整個工作臺需要放置于真 空腔體內,結構緊湊合理的工作臺結構可以有效 地減小真空腔體設計尺寸,XY 工作臺結構采用 絲杠、交叉滾子導軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式;X 向絲杠采用對稱方式。對于電機、絲杠、導軌等外購件,選型號時,需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運行情 況,要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣,外購 件內部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號滿足上述要求,需要對相應外購件加裝特制 密封罩。天津全自動探針臺工作原理探針臺的建設需要克服很多技術難題。
溫控探針臺是一款使用溫度范圍在-190℃-600℃的儀器,在我們使用時還可對樣品氣氛進行控制,同時允許探針電測試、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。這樣既可以保證,即使在極低溫度下,腔體也不產生結霜影響實驗,又可以防止樣品發(fā)生氧化。探針臺上蓋與底殼構成一個氣密腔,可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。此款通過杠桿式支架,使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針,這種設計不只點針更準確,而且點針力度更大,和樣品的電接觸性更好。
射頻探針:射頻探針的本質為適配器,將芯片測量接口轉為同軸或波導端口。常見的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數(shù)有高工作頻率、探針針尖距(Pitch)等。目前,同軸接口的射頻探針頻率可達110 GHz(MPI目前適配安利的擴頻模塊可到220G)波導接口的射頻探針頻率高達1.1 THz,有一些型號的探針可以選配BiasTee。校準:微波射頻在片測試的校準主要是指S參數(shù)校準,可以通過使用校準片完成校準。一般的校準片提供開路(Open)、短路(Short)、匹配(Match)、直通(Through)和延遲線(Line)標準件,可完成TOSM校準或TRL校準或SOLT或SOLR或LRM等。探針臺在天文學研究中具有舉足輕重的作用。
探針臺是晶圓輸送與定位任務的承擔者,檢測半導體芯片電、光參數(shù)的關鍵設備。CP 測試環(huán)節(jié)中,探針臺首先將晶圓移動至晶圓相機下,確定晶圓的坐標位置;再將探針相機 移動至探針卡下,確定探針卡的坐標位置,當確定二者位置后,即通過載片臺將晶圓移動 至探針卡下實現(xiàn)對針。其按不同功能可以分為高/低溫探針臺、RF 探針臺、LCD &TEG探針臺、光電探針臺等,當晶圓依次與探針接觸完成測試后,探針臺記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片, 并在進入后序工序前予以剔除,以保障質量與可靠性,降低器件的制造成本。探針臺的建設需要全球頭腦的智慧和力量。湖北大型探針臺哪家好
探針臺能夠探測人類目前尚未發(fā)現(xiàn)的天文現(xiàn)象。上海小型探針臺生產廠家
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。晶圓檢測是半導體制造中必不可少的步驟,選擇合適的晶圓探針臺和探針來進行晶圓檢測也很重要??寺逯Z斯較新自主研發(fā)的超精密氣浮運動平臺具有極高精度和運動穩(wěn)定性,讓系統(tǒng)在快速運行時,能準確識別和測量出晶圓的種種缺陷,較大程度上提高晶圓檢測效率。注:這里我們主要以射頻探針臺為例總結探針臺的應用。以RF微波射頻在片測試為例,在片測量是指使用探針直接測量晶圓(Wafer)或裸芯片(Chip)的微波射頻參數(shù)。相比于常規(guī)的鍵合/封裝后的測量,微波射頻在片測量消除了封裝及鍵合絲引入的寄生參數(shù),可以更準確的反應被測芯片的射頻特性。微波射頻在片測量普遍應用于器件建模、芯片檢驗等領域。上海小型探針臺生產廠家