探針臺分類，探針臺從操作上來區(qū)分有:手動，半自動，全自動，從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺，真空探針臺(較低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。經(jīng)濟(jì)手動型，根據(jù)客戶需求定制：chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)；X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)；chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離；顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)；顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選)；探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)；可搭配Probe card測試；適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。探針臺的運(yùn)營需要專業(yè)的人員和技術(shù)支持。河南大型探針臺廠商

探針臺用途，探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。ADVANCED儀準(zhǔn)科技研發(fā)高性價比手動探針臺，普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。芯片制造結(jié)束后即可在線測試，從源頭即可監(jiān)控。探針臺用于對集成電路、三極管、二極管及光電探測器的IV/CV參數(shù)等性能測試與表征，是研究中不可缺少的基本設(shè)備。探針臺系統(tǒng)性能指標(biāo)，可以實現(xiàn)通過軟件對晶片載臺X，Y，Z，探針臺可搭載光纖，未來可升級滿足光電測試。載物臺在XY方向：±1pm(0.04mls)分辨率、小于2μm(0.08mls)重復(fù)精度、大于50mm/sec的移動速度；在Z方向:5mm(0.19in)的移動范圍、1pm(0.04mls)分辨率、小于1pmmls)重復(fù)精度.天津高精度探針臺廠家探針臺的建設(shè)和運(yùn)行需要具備高度的專業(yè)素養(yǎng)和嚴(yán)謹(jǐn)性。

手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要較少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識別（自動對準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。可以24小時連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠(yuǎn)比手動/半自動探針臺要昂貴。

真空腔體密封技術(shù)，真空腔體密封技術(shù)是真空探針的關(guān)鍵部分， 真空腔體密封一旦在設(shè)計和加工過程中出現(xiàn)設(shè)計 缺陷、密封效果不好等問題，就會產(chǎn)生氣體泄漏， 對操作人員造成人身傷害、甚至對大氣環(huán)境造成 污染，這些問題在后期將無法彌補(bǔ)，在腔體裝配前 要進(jìn)行預(yù)裝試驗，防止類似事件發(fā)生。真空腔體采用圓形桶狀，下端面與工作平臺 緊密結(jié)合，上端面端蓋可拆卸。選用不銹鋼材料鍛 造后一體加工。加工過程中合理進(jìn)行材料熱處理，減少加工變形。探針臺開展的研究和觀測任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。

溫控探針臺是一款使用溫度范圍在-190℃-600℃的儀器，在我們使用時還可對樣品氣氛進(jìn)行控制，同時允許探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。這樣既可以保證，即使在極低溫度下，腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實驗，又可以防止樣品發(fā)生氧化。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個氣密腔，可往內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。此款通過杠桿式支架，使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針，這種設(shè)計不只點(diǎn)針更準(zhǔn)確，而且點(diǎn)針力度更大，和樣品的電接觸性更好。探針臺的觀測數(shù)據(jù)對未來宇宙探索和科學(xué)研究提供了寶貴的資源。江蘇半自動探針臺廠商

探針臺的建設(shè)需要克服很多技術(shù)難題。河南大型探針臺廠商

探針臺的基本組件，探針臺由六個基本組件組成：Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺 – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上，它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測設(shè)備和探頭先進(jìn)。它是如何工作的？探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上，該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。河南大型探針臺廠商