探針臺是晶圓輸送與定位任務的承擔者，檢測半導體芯片電、光參數(shù)的關鍵設備。CP 測試環(huán)節(jié)中，探針臺首先將晶圓移動至晶圓相機下，確定晶圓的坐標位置；再將探針相機 移動至探針卡下，確定探針卡的坐標位置，當確定二者位置后，即通過載片臺將晶圓移動 至探針卡下實現(xiàn)對針。其按不同功能可以分為高/低溫探針臺、RF 探針臺、LCD &TEG探針臺、光電探針臺等，當晶圓依次與探針接觸完成測試后，探針臺記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片， 并在進入后序工序前予以剔除，以保障質量與可靠性，降低器件的制造成本。探針臺是人類探索宇宙的一個重要基石。浙江電學溫控探針臺廠商

探針臺，是我們半導體實驗室電學性能測試的常用設備，也是各大實驗室以及芯片設計、封裝測試的熟客。設備具備各項優(yōu)勢，高性能低成本，用途廣，操作方便，在不同測試環(huán)境下，測試結果穩(wěn)定，客觀，深受工程師們的青睞。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié)，負責晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試，實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導體測試設備主要包括測試機、探針臺和分選機。在所有的測試環(huán)節(jié)中都會用到測試機，不同環(huán)節(jié)中測試機需要和分選機或探針臺配合使用。安徽真空溫控探針臺廠家直銷探針臺具有規(guī)?；?、系統(tǒng)性、戰(zhàn)略性和國際性等特點，是人類探索宇宙的中心樞紐。

探針臺由哪些部分組成？樣品臺（載物臺）：是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設計大小，并配套了相應的精密移動定位功能。光學元件：這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針先進對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡，有的采用數(shù)碼相機，或者兩者兼有。探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通 DC 測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針先進尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應與探針尖匹配。

真空腔體密封技術，真空腔體密封技術是真空探針的關鍵部分， 真空腔體密封一旦在設計和加工過程中出現(xiàn)設計 缺陷、密封效果不好等問題，就會產(chǎn)生氣體泄漏， 對操作人員造成人身傷害、甚至對大氣環(huán)境造成 污染，這些問題在后期將無法彌補，在腔體裝配前 要進行預裝試驗，防止類似事件發(fā)生。真空腔體采用圓形桶狀，下端面與工作平臺 緊密結合，上端面端蓋可拆卸。選用不銹鋼材料鍛 造后一體加工。加工過程中合理進行材料熱處理，減少加工變形。探針臺建設需要綜合考慮技術、人力、資金等眾多因素。

探針、探針夾具及電纜組件。（1）探針。待測點需要測試探針的連接，才能與測試儀器發(fā)生交流。常見的有：普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針。（2）探針夾具及電纜組件。探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。根據(jù)測量應用，可粗略地劃分為以下幾種：I-V/CV測試用、RF測試用、高壓大電流I-V/C-V測試用等。主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。探針臺的科研成果對探索宇宙、維護人類福祉和生存環(huán)境有著重要的促進作用。12寸探針臺生產(chǎn)廠家

探針臺是專門為探索宇宙而設計的機構之一。浙江電學溫控探針臺廠商

半自動型，chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動移動行程200mm/150mm；chuck粗調升降9mm，微調升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡；針座擺放個數(shù)6~8顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"；可搭配Probe card測試；適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品；電動型；chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)；X,Y電動移動行程300mm x 300mm；chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡。浙江電學溫控探針臺廠商