探針臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng):1.避免碰撞:在安裝,操作探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。2.儀器的運(yùn)輸:儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。3.儀器的存放使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械精密部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。探針臺(tái)的設(shè)立有助于拓展對(duì)太空天體的認(rèn)識(shí)。天津小型探針臺(tái)廠商
探針臺(tái),是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電學(xué)性能測(cè)試的常用設(shè)備,也是各大實(shí)驗(yàn)室以及芯片設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試的熟客。設(shè)備具備各項(xiàng)優(yōu)勢(shì),高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測(cè)試環(huán)境下,測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。探針臺(tái)主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號(hào),使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試,實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測(cè)試測(cè)量。半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備主要包括測(cè)試機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。天津小型探針臺(tái)廠商探針臺(tái)是人類理解宇宙和了解人類自身的一個(gè)重要工具。
目前世界出貨量頭一的型號(hào)吸收了較新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。特性1:OTS-較近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)) OTS通過對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來保證其一定位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),達(dá)到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸。
溫控探針臺(tái)的功能特點(diǎn):1、可編程精密控溫??蓡为?dú)控制,也可從上位機(jī)軟件控制;2、探針需開蓋移動(dòng),樣品臺(tái)面電接地;3、探針分別導(dǎo)通冷熱臺(tái)外殼上的4個(gè)BNC接口;4、杠桿式探針支架,點(diǎn)針力度更大,電接觸性更好;5、彎針探針,點(diǎn)針更精確;6、默認(rèn)氣密腔室,通問2個(gè)快速自鎖接頭,可充保護(hù)氣體;7、上蓋帶有樣品觀察窗;8、臺(tái)體內(nèi)置干燥氣體管道,用于負(fù)溫時(shí)對(duì)視窗的除霜;9、視窗可拆卸與更換,可用不同材質(zhì)窗片實(shí)現(xiàn)不同波段光觀察;10、軟件可拓展性強(qiáng),可提供LabView等語言的SDK;探針臺(tái)可以促進(jìn)人類文明的發(fā)展和太空探索的進(jìn)程。
探針臺(tái)簡(jiǎn)介:探針臺(tái)分類,探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng),從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺(tái),真空探針臺(tái)(較低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái),經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型,根據(jù)客戶需求定制,chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選),X-Y移動(dòng)行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選),chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離,顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選),顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選),探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān),可搭配Probe card測(cè)試,適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。探針臺(tái)的科研成果有助于人類更有效地保護(hù)地球和地球上的所有生命。天津小型探針臺(tái)廠商
探針臺(tái)可以通過觀測(cè)宇宙現(xiàn)象來解開地球和人類的謎團(tuán)。天津小型探針臺(tái)廠商
8英寸手動(dòng)探針臺(tái)使用方式:1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5、待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。天津小型探針臺(tái)廠商