探針臺(tái)的作用是什么?探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。晶圓檢測是半導(dǎo)體制造中必不可少的步驟,選擇合適的晶圓探針臺(tái)和探針來進(jìn)行晶圓檢測也很重要??寺逯Z斯較新自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有極高精度和運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性,讓系統(tǒng)在快速運(yùn)行時(shí),能準(zhǔn)確識別和測量出晶圓的種種缺陷,較大程度上提高晶圓檢測效率。注:這里我們主要以射頻探針臺(tái)為例總結(jié)探針臺(tái)的應(yīng)用。以RF微波射頻在片測試為例,在片測量是指使用探針直接測量晶圓(Wafer)或裸芯片(Chip)的微波射頻參數(shù)。相比于常規(guī)的鍵合/封裝后的測量,微波射頻在片測量消除了封裝及鍵合絲引入的寄生參數(shù),可以更準(zhǔn)確的反應(yīng)被測芯片的射頻特性。微波射頻在片測量普遍應(yīng)用于器件建模、芯片檢驗(yàn)等領(lǐng)域。探針臺(tái)開展的研究和觀測任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。云南探針臺(tái)生產(chǎn)商
除探針臺(tái)外,晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機(jī),測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能,探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接,通過探針臺(tái)和測試機(jī)的配合使用,可以對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。 在封裝之前對單個(gè)芯片進(jìn)行測試可以將有缺陷的器件從流通中移除,確保只封裝功能器件。探針臺(tái)在整個(gè)研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析中都有很大的用途,工程師需要靈活而精確的工具來對設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行一系列測試。廣西高精度探針臺(tái)探針臺(tái)能夠探測人類目前尚未發(fā)現(xiàn)的天文現(xiàn)象。
探針臺(tái)分類,探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng),從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺(tái),真空探針臺(tái)(較低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型,根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選);X-Y移動(dòng)行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選);chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān);可搭配Probe card測試;適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。
探針臺(tái)(Prober station)又稱探針測試臺(tái),主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)得研發(fā),生產(chǎn)制造,失效分析等,是對晶圓(Wafer)上得器件進(jìn)行電特性測試或故障分析而使用得精密機(jī)臺(tái),通過探針臺(tái)能很好得幫助工程技術(shù)人員實(shí)現(xiàn)微小位置得電學(xué)參數(shù)測試。探針臺(tái)的工作需要合理規(guī)劃和有條不紊的執(zhí)行。
探針臺(tái)的作用是什么?探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入較終產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。探針臺(tái)的科學(xué)研究成果對推動(dòng)人類的科學(xué)技術(shù)進(jìn)步有著舉足輕重的作用。北京半自動(dòng)探針臺(tái)市價(jià)
探針臺(tái)的發(fā)展需要國際合作和共同努力。云南探針臺(tái)生產(chǎn)商
低溫探針臺(tái),體積小,穩(wěn)定性高,與傳統(tǒng)探針臺(tái)相比,高低溫真空探針臺(tái)的穩(wěn)定性更高,采用先進(jìn)的技術(shù)工藝,讓探針臺(tái)在工作過程中流暢性更高,平穩(wěn)性更高,從而保證每次實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性,這樣實(shí)驗(yàn)得出的結(jié)果就會(huì)更加準(zhǔn)確,對于企業(yè)快速研發(fā)新產(chǎn)品有很大幫助。成本更低,可兼容直流跟射頻測試的運(yùn)用,與傳統(tǒng)探針臺(tái)相比,這種探針臺(tái)采用先進(jìn)的合成材料,成本方面比傳統(tǒng)探針臺(tái)更低,但是功能性、精確性都更加強(qiáng)大,所以銷量火爆是很正常的一件事。云南探針臺(tái)生產(chǎn)商