根據(jù)探針測試需要，XY 精密工作臺(tái)的技術(shù)要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重復(fù) 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計(jì)時(shí)，為達(dá)到上述精密控制要求選用伺服電機(jī) 驅(qū)動(dòng)，全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制；整個(gè)工作臺(tái)需要放置于真 空腔體內(nèi)，結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計(jì)尺寸，XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對(duì)稱方式。對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購件，選型號(hào)時(shí)，需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運(yùn)行情 況，要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣，外購 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號(hào)滿足上述要求，需要對(duì)相應(yīng)外購件加裝特制 密封罩。探針臺(tái)的建設(shè)和運(yùn)行需要具備高度的專業(yè)素養(yǎng)和嚴(yán)謹(jǐn)性。深圳12寸探針臺(tái)平臺(tái)
探針臺(tái)的基本組件，探針臺(tái)由六個(gè)基本組件組成：Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺(tái) – 用于將卡盤定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測設(shè)備 (DUT) 上。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上，它們直接接觸設(shè)備。光學(xué) - 用于查看和放大被測設(shè)備和探頭先進(jìn)。它是如何工作的？探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤上，該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。深圳12寸探針臺(tái)平臺(tái)探針臺(tái)是在地球表面建立的觀測站，旨在收集宇宙射線、電磁波等信息。
探針臺(tái)在使用過程中，不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時(shí)易燃物，注意使用安全。停電或長期不用、外出旅行時(shí)，請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。操作人員必須嚴(yán)格按要要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。工作環(huán)境。探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，較好是具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
半自動(dòng)型，chuck尺寸800mm/600mm，X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm，chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡，針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆，顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"，可搭配Probe card測試，適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動(dòng)型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金），X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm，chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u，可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡，針座擺放個(gè)數(shù)8～12顆，顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“，材質(zhì)：花崗巖臺(tái)面+不銹鋼，可搭配Probe card測試，適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。探針臺(tái)需要高度的保密性和安全措施。
8英寸手動(dòng)探針臺(tái)用途：以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態(tài)，研發(fā)人員一般會(huì)采用萬用電表的表筆去點(diǎn)測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微小（納米級(jí)）的微電子器件（如IC、wafer、Chip、LCDArray、CMOSCameraModule、Pitch微小的Connector），萬用表點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生，利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來，便于其電性測試設(shè)備（不屬于本機(jī)器）對(duì)此測試、分析。探針臺(tái)是推進(jìn)太空探索和航天事業(yè)的重要一環(huán)。上海8寸探針臺(tái)生產(chǎn)廠家
探針臺(tái)在天文學(xué)研究中具有舉足輕重的作用。深圳12寸探針臺(tái)平臺(tái)
探針臺(tái)是晶圓輸送與定位任務(wù)的承擔(dān)者，檢測半導(dǎo)體芯片電、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。CP 測試環(huán)節(jié)中，探針臺(tái)首先將晶圓移動(dòng)至晶圓相機(jī)下，確定晶圓的坐標(biāo)位置；再將探針相機(jī) 移動(dòng)至探針卡下，確定探針卡的坐標(biāo)位置，當(dāng)確定二者位置后，即通過載片臺(tái)將晶圓移動(dòng) 至探針卡下實(shí)現(xiàn)對(duì)針。其按不同功能可以分為高/低溫探針臺(tái)、RF 探針臺(tái)、LCD &TEG探針臺(tái)、光電探針臺(tái)等，當(dāng)晶圓依次與探針接觸完成測試后，探針臺(tái)記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片， 并在進(jìn)入后序工序前予以剔除，以保障質(zhì)量與可靠性，降低器件的制造成本。深圳12寸探針臺(tái)平臺(tái)