優(yōu)先選擇地,所述機(jī)架上還設(shè)置有加熱裝置,所述加熱裝置至少包括高溫加熱機(jī)構(gòu),所述高溫加熱機(jī)構(gòu)位于所述測試裝置的上方,所述高溫加熱機(jī)構(gòu)包括高溫加熱頭、頭一移動機(jī)構(gòu)及下壓機(jī)構(gòu),所述下壓機(jī)構(gòu)與所述頭一移動機(jī)構(gòu)相連,所述高溫加熱頭與所述下壓機(jī)構(gòu)相連。優(yōu)先選擇地,所述加熱裝置還包括預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu),所述預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu)位于所述自動上料裝置與所述測試裝置之間,所述預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu)包括預(yù)加熱工作臺,所述預(yù)加熱工作臺上設(shè)有多個預(yù)加熱工位。不同的性能指標(biāo)需要對應(yīng)的測試方案才能完成芯片質(zhì)量的篩選。安徽芯片測試機(jī)平臺
本發(fā)明在另一實(shí)施例中公開一種芯片測試機(jī)的測試方法。該測試方法包括以下步驟:將多個待測試芯片放置于多個tray盤中,每一個tray盤中放置多個待測試芯片,將多個tray盤放置于自動上料裝置,并在自動下料裝置及不良品放置臺上分別放置一個空tray盤;移載裝置從自動上料裝置的tray盤中取出待測試芯片移載至測試裝置進(jìn)行測試;芯片測試完成后,移載裝置將測試合格的芯片移載至自動下料裝置的空tray盤中,將不良品移載至不良品放置臺的空tray盤中;當(dāng)自動上料裝置的一個tray盤中的待測試芯片全部完成測試,且自動下料裝置的空tray盤中放滿測試合格的芯片后,移載裝置將自動上料裝置的空tray盤移載至自動下料裝置。廣東CPU芯片測試機(jī)廠商設(shè)計(jì)公司主要目標(biāo)是根據(jù)市場需求來進(jìn)行芯片研發(fā),在整個設(shè)計(jì)過程中,需要一直考慮測試相關(guān)的問題。
芯片測試機(jī)是一種專門用來檢測芯片的工具。它可以在生產(chǎn)中測試集成電路芯片的功能和性能,來確保芯片質(zhì)量符合設(shè)計(jì)要求。芯片測試機(jī)的主要作用是對芯片的電學(xué)參數(shù)和邏輯特性進(jìn)行測量,然后按照預(yù)定規(guī)則進(jìn)行對比,從而對測試結(jié)果進(jìn)行評估。芯片測試機(jī)常見的用途是測試運(yùn)行紋理陣列器(FPGA)和應(yīng)用特定集成電路(ASIC)。FPGA作為可編程芯片,通常是初步設(shè)計(jì),測試和驗(yàn)證過程中關(guān)鍵的部分。ASIC則是根據(jù)設(shè)定的電路、電子設(shè)備和/或存儲器進(jìn)行硬件配置的特定集成電路。
常見的測試手段,CP(Chip Probing)測試和FT(Final Test)測試:CP測試。芯片測試分兩個階段,一個是CP(Chip Probing)測試,也就是晶圓(Wafer)測試。另外一個是FT(Final Test)測試,也就是把芯片封裝好再進(jìn)行的測試。CP(Chip Probing)指的是晶圓測試。CP測試在整個芯片制作流程中處于晶圓制造和封裝之間。晶圓(Wafer)制作完成之后,成千上萬的裸DIE(未封裝的芯片)規(guī)則的分布滿整個Wafer。由于尚未進(jìn)行劃片封裝,芯片的管腳全部裸露在外,這些極微小的管腳需要通過更細(xì)的探針臺來與測試機(jī)臺連接。Test Program測試程序,測試機(jī)通過執(zhí)行一組稱為測試程序的指令來控制測試硬件。
而probe card則換成了load board,其作用是類似的,但是需要注意的是load board上需要加上一個器件—Socket,這個是放置package device用的,每個不同的package種類都需要不同的socket,如下面圖(7)所示,load board上的四個白色的器件就是socket。Handler 必須與 tester 相結(jié)合(此動作叫 mount 機(jī))及接上interface才能測試, 動作為handler的手臂將DUT放入socket,然后 contact pusher下壓, 使 DUT的腳正確與 socket 接觸后, 送出start 訊號, 透過 interface 給 tester, 測試完后, tester 送回 binning 及EOT 訊號; handler做分類動作。集成電路測試通常分為晶圓測試(CP)、成品測試(FT)和可靠性測試(BurnInTest)等。湖北半導(dǎo)體芯片測試機(jī)平臺
芯片測試機(jī)是由電子系統(tǒng)組成的,通過產(chǎn)生信號建立適當(dāng)?shù)臏y試模式,按正確按順序設(shè)置,然后來驅(qū)動芯片檢測。安徽芯片測試機(jī)平臺
傳統(tǒng)的芯片測試,一般由測試廠商統(tǒng)一為芯片生產(chǎn)廠商進(jìn)行測試。隨著越來越多的芯片公司的誕生,芯片測試需求也日益增多。對于成熟的大規(guī)模的芯片廠而言,由于其芯片產(chǎn)量大,往往會在測試廠商的生產(chǎn)計(jì)劃中占據(jù)一定的優(yōu)勢。而對于小規(guī)模的芯片廠的小批量芯片而言,其往往在測試廠的測試計(jì)劃中無法得到優(yōu)先選擇處理,從而導(dǎo)致芯片測試周期變長。當(dāng)前芯片測試廠的測試設(shè)備多為大型設(shè)備,可以滿足大批量的芯片測試的需求。如果該大型測試設(shè)備用于小批量的芯片的測試,則會造成資源的浪費(fèi)。而且現(xiàn)有的大型測試設(shè)備往往都是多個測試單元并行測試,以達(dá)到提高測試效率的目的,從而導(dǎo)致了該設(shè)備的體積較大,占地空間多,無法靈活移動。安徽芯片測試機(jī)平臺