可同時(shí)橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來回移動(dòng)。本實(shí)用新型的工作過程為:使用者需要搬運(yùn)晶圓時(shí)。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案??上雀鶕?jù)晶圓的尺寸,設(shè)定兩個(gè)托臂之間的間距,具體操作為:通過控制系統(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng),帶動(dòng)從動(dòng)輪和同步帶轉(zhuǎn)動(dòng),使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的兩個(gè)連接塊帶動(dòng)兩個(gè)托臂做相向移動(dòng)或相背運(yùn)動(dòng)。晶圓視覺檢測機(jī)上的夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后,感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,并將位置信息反饋給控制系統(tǒng)??刂葡到y(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降絲桿機(jī)構(gòu)帶動(dòng)升降板上下移動(dòng),使得固定在升降板頂側(cè)的固定板隨之移動(dòng)。托臂通過滑軌和滑塊滑動(dòng)連接在固定板的頂側(cè),固定板在豎直方向上移動(dòng)時(shí),托臂隨之上下移動(dòng)。半導(dǎo)體行業(yè)有哪些大公司?深圳泰克光電。上海澀谷共晶機(jī)廠家現(xiàn)貨
我們都能提供適合的共晶解決方案。連接桿的設(shè)置應(yīng)當(dāng)避免影響片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng)。具體而言,片盒架包括同軸相對設(shè)置的限位盤和第二限位盤,限位盤與第二限位盤之間設(shè)置有多根限位桿,多根限位桿沿限位盤的周向間隔設(shè)置,多個(gè)限位桿之間形成晶圓的放置空間。限位盤與第二限位盤相互遠(yuǎn)離的側(cè)面分別通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)連接,且轉(zhuǎn)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)輪盤的軸線平行設(shè)置。也即,如圖所示,個(gè)片盒架中每個(gè)片盒架的限位盤的左側(cè)通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)輪盤連接,第二限位盤的右側(cè)通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與從動(dòng)輪盤連接。轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸線與驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤的中心共線,在限位盤與第二限位盤之間設(shè)置有多根平行設(shè)置的限位桿。作為一個(gè)具體實(shí)現(xiàn)方式,如圖所示,限位桿的數(shù)量為三根,三根限位桿包括兩根固定桿和一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿,兩根固定桿的兩端分別與限位盤和第二限位盤固定連接。轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與限位盤和第二限位盤可拆卸連接,和/或轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與限位盤和第二限位盤滑動(dòng)連接,且轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端能夠相對限位盤和第二限位盤固定。也即,轉(zhuǎn)動(dòng)桿可以是可拆卸的安裝方式,也可以是可滑動(dòng)的方式。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備。青島芯片共晶機(jī)廠家泰克光電共晶機(jī)是現(xiàn)代集成電路制造中的一項(xiàng)重要技術(shù),是實(shí)現(xiàn)高效可靠的微型電子器件設(shè)計(jì)的關(guān)鍵之一。
升降板滑動(dòng)連接在導(dǎo)軌上。進(jìn)一步地,為了使托臂能夠在水平方向上自由移動(dòng)。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓,托臂通過移動(dòng)模塊安裝在升降板上,移動(dòng)模塊與控制系統(tǒng)電連接,移動(dòng)模塊安裝在升降板的頂部且與托臂的底部連接,用于驅(qū)動(dòng)托臂在升降板上沿水平方向來回滑動(dòng)??刂葡到y(tǒng)控制移動(dòng)模塊在水平方向上來回移動(dòng),以帶動(dòng)托臂在升降板的頂部來回移動(dòng)。移動(dòng)模塊包括固定板、移動(dòng)電機(jī)和傳動(dòng)組件,固定板水平安裝在升降板上,移動(dòng)電機(jī)固定安裝在固定板上且與控制系統(tǒng)電連接,移動(dòng)電機(jī)的輸出端與傳動(dòng)組件的輸入端連接,傳動(dòng)組件的輸出端與托臂連接,移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件帶動(dòng)托臂在固定板上滑動(dòng)。
在外力驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)固定架驅(qū)動(dòng)片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng)。片盒架安裝在從動(dòng)輪盤與行星架的行星輪之間,通過行星架的行星輪與太陽輪以及齒圈的連接,構(gòu)成片盒架的自轉(zhuǎn)部分。限位輪座安裝在底板上、軸承安裝在限位輪座上,對驅(qū)動(dòng)輪盤進(jìn)行限位支撐;橫向安裝軸安裝在豎向桿上,與齒圈固定板的安裝凸軸構(gòu)成與槽體連接的部分。片盒架設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)桿,轉(zhuǎn)動(dòng)桿可在限位盤和第二限位盤之間活動(dòng),方便晶圓放置和拆卸。本實(shí)施例晶圓加工固定裝置通過驅(qū)動(dòng)輪盤帶動(dòng)整體多個(gè)片盒架轉(zhuǎn)動(dòng),可以使浸泡在藥液中的晶圓充分清洗,提高終的清洗效果;且可通過行星輪與齒圈的連接,實(shí)現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),使晶圓加工更加均勻;同時(shí),支持多種片盒架,通過更換片盒架形式,可以多個(gè)相同晶圓同時(shí)清洗,也可實(shí)現(xiàn)不同尺寸的晶圓同時(shí)清洗??梢?,本實(shí)施例晶圓加工固定裝置在固定架旋轉(zhuǎn)的同時(shí),片盒架還可帶動(dòng)晶圓進(jìn)行自轉(zhuǎn),避免槽式清洗中單一的抖動(dòng)形式,結(jié)構(gòu)緊湊簡單,能夠提高晶圓加工均勻性和終效果。本實(shí)施例還提供一種晶圓加工設(shè)備,包括本實(shí)施例提供的晶圓加工固定裝置。自然。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。共晶機(jī)/固晶機(jī)找泰克光電。
個(gè)片盒架間隔設(shè)置在固定架的旋轉(zhuǎn)方向上。可以理解的是,片盒架的數(shù)量為多個(gè),固定架可以一次帶動(dòng)多個(gè)片盒架移動(dòng),提高了一次清洗的晶圓的數(shù)量,相應(yīng)的提高了晶圓的清洗、加工效率。作為本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的一個(gè)具體實(shí)施例,固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤、從動(dòng)輪盤和連接桿,驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤同軸相對設(shè)置,連接桿固定連接在驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤之間。片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤之間。其中,連接桿的數(shù)量可為多根,在本實(shí)施例中連接桿的數(shù)量為三根,其中一根連接桿為中心連接軸,中心連接軸連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤的中心上,另兩根連接桿為加強(qiáng)桿,兩根加強(qiáng)桿設(shè)在中心連接軸的兩側(cè)。需要注意的是。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片。泰克光電多功能固晶機(jī)廠家。徐州固晶共晶機(jī)價(jià)位
COC共晶機(jī)“共晶臺(tái)采用電流脈沖加熱模塊,設(shè)有氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng)”找泰克光電。上海澀谷共晶機(jī)廠家現(xiàn)貨
生長的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān),雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm,才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐,因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑的增長而增長。晶圓制造廠把這些多晶硅融解,再在融液里種入籽晶,然后將其慢慢拉出,以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,此過程稱為“長晶”。硅晶棒再經(jīng)過切段,滾磨,切片,倒角,拋光,激光刻,包裝后,即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片,這就是“晶圓”。晶圓基本原料編輯晶圓硅是由石英砂所精練出來的,晶圓便是硅元素加以純化(),接著是將這些純硅制成硅晶棒,成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料,經(jīng)過照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。硅片用于集成電路(IC)基板、半導(dǎo)體封裝襯底材料,硅片劃切質(zhì)量直接影響芯片的良品率及制造成本。硅片劃片方法主要有金剛石砂輪劃片、激光劃片。激光劃片是利用高能激光束聚焦產(chǎn)生的高溫使照射局部范圍內(nèi)的硅材料瞬間氣化,完成硅片分離,但高溫會(huì)使切縫周圍產(chǎn)生熱應(yīng)力。上海澀谷共晶機(jī)廠家現(xiàn)貨