隨著機器人技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用高速度、高精度、高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低。所以，機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮，實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性。柔性機械臂是一個非常復(fù)雜的動力學(xué)系統(tǒng)，其動力學(xué)方程具有非線性、強耦合、實變等特點。而進行柔性臂動力學(xué)問題的研究，其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng)，而且也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統(tǒng)。動力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計提供依據(jù)。一般控制系統(tǒng)的描述（包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述）與傳感器/執(zhí)行器的定位，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學(xué)特性密切相關(guān)。 一般也都裝在手臂上。所以手臂的結(jié)構(gòu)、工作范圍、承載能力和動作精度都直接影響機械手的工作性能。廣州原裝晶圓運送機械吸臂價格多少

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運機械手相比，蛙腿型機械手的傳動機構(gòu)更簡單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對大臂和2對小臂。2個直驅(qū)電機分別通過2個同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂，大臂末端通過4個旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤。 該機械手雖然只有3個電機，但水平連桿卻有10個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因此對整個真空機械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個復(fù)雜的過程汕尾本地晶圓運送機械吸臂市場價而回轉(zhuǎn)運動產(chǎn)生的誤差是放大時的尺寸誤差，當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時，手臂伸出越長，其誤差越大；

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運。

機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.9%。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅，因此對應(yīng)的就是硅晶圓。 關(guān)節(jié)式機械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運送機械吸臂價格便宜 手臂自重輕，其啟動和停止的平穩(wěn)性就好。

工業(yè)機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件；進行激光切割；噴涂；裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣，特別是工業(yè)機械臂，與人的外貌往往毫無相似之處。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)，工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復(fù)編程、多用途，并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成。單軸機械手臂作為一個組件在工業(yè)中應(yīng)用***。韶關(guān)銷售晶圓運送機械吸臂代理

精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業(yè)。廣州原裝晶圓運送機械吸臂價格多少

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

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