進行光刻：

將設計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經過多次光刻。而隨著技術革新，極紫光刻出現了，現階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達到光刻一次完成。

注射：

在真空下，將導電材料注入晶圓的電路內部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結構輕、載重/自重比高等特性。廣州官方晶圓運送機械吸臂推廣

可選地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地，所述表面為平面。

另外，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術方案中，機械手臂傳送晶圓時，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚。 深圳庫存晶圓運送機械吸臂公司有X移動，Y移動，Z移動，X轉動，Y轉動，Z轉動六個自由度組成。

場景是新技術應用中的重要一環(huán)，場景越多意味著應用的廣大性和未來的期望空間越大，而如果一款技術誕生沒有實際的應用場景，即無法融入人們的日常生活和生產制造中，這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機械手臂的應用場景有哪些呢？它的應用特點十分明顯，主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復性高的動作。如果工作場景符合上述兩個特點，機械手臂都可以得到應用。

機械手臂應用場景多在制造業(yè)，有重工業(yè)屬性，如金屬加工、拋光打磨、裝配、機床上下料、碼垛/搬運、橡膠/塑料、分揀等。

割拋光：

單晶棒將按適當的尺寸進行切割，然后進行研磨，將凹凸的切痕磨掉，再用化學機械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡，晶圓片制造就完成了。

二，晶圓制造步驟

晶圓鍍膜：

通過物理或其他方式（如高溫等）使晶圓上產生一層二氧化硅。二氧化硅為絕緣材料，但有雜質和特殊處理的二氧化硅有一定的導電性。二氧化硅在這里的作用是為了傳導光。像是用二氧化硅做光導纖維是同一個道理。完成這步后就為后面光刻做好了準備。

光刻膠涂抹：

顧名思義，就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠，而對其技術要求是要做到平整和薄。 工業(yè)機械臂的工作原理。

可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。

適用于300mm半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 其特征在于：所述機械臂包括內部具有真空腔體的鋁合金平板.中山原裝晶圓運送機械吸臂價格便宜

科學家已經研制出了橡膠機器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死。廣州官方晶圓運送機械吸臂推廣

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內；在垂直于所述手臂的方向上，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。廣州官方晶圓運送機械吸臂推廣

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