皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號放大和信號數(shù)字化的工作。
根據(jù)測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時,燈絲的溫度會發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時,燈絲的溫度和電阻值也會相應(yīng)變化。通過測量通過燈絲的電流變化,可以間接測量真空壓力。 哪些品牌的真空計質(zhì)量更好?蘇州陶瓷真空計多少錢
如何選擇真空計?考慮測量范圍與精度:不同的真空計有不同的測量范圍,需要根據(jù)實際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測量。精度是選擇真空計時需要考慮的另一個重要因素。需要根據(jù)物體不同的尺寸、物理量等來選擇精度要求更高的真空計??紤]被測氣體與環(huán)境:部分真空計對被測氣體有要求。例如,熱陰極電離真空計的陰極易受過量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害,因此需要考慮被測氣體是否會對真空計造成損傷。部分真空計會影響被測環(huán)境。例如,壓縮式真空計在測量時要壓縮被測氣體,這可能會使水蒸氣凝結(jié),從而影響被測真空環(huán)境。山東高精度真空計供應(yīng)商電容真空計的測量精度受哪些因素影響?
CRS系列陶瓷電容薄膜真空計是上海辰儀測量技術(shù)有限公司開發(fā)的壓力真空計,該系列產(chǎn)品具有高精度、溫度補償?shù)奶攸c,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能,一鍵歸零功能和繼電器設(shè)定點調(diào)整提高了產(chǎn)品性能,且易于操作;陶瓷的耐腐蝕性提供了較好的零點穩(wěn)定性,包括突發(fā)的氣壓變化環(huán)境中。堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性(EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補償。
體積小巧,易于集成,可以安裝在相對狹小的空間,便于在復(fù)雜的機(jī)器上安裝使用。此外,該裝置的數(shù)字信號處理支持快速、準(zhǔn)確的壓力測量,這對保持工藝質(zhì)量至關(guān)重要。
電容薄膜真空計
測量原理:根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉(zhuǎn)化為膜片間距離的變化,即電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號。因此,其測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān)。特點:直接測量式的、全壓型的真空計,可作為低真空測量(0.01~100Pa)工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器。材料選擇:感壓膜片是電容薄膜真空計的中心部件,宜選用Inconel600或3J53作為感壓膜片材料,陶瓷膜片則更適用于被測壓力較大的場合。同時,為保證薄膜的平整度及承載能力,增加其穩(wěn)定性,往往使薄膜先受均勻的張力,然后再在邊緣加以固定。 選擇真空計時需要綜合考慮多個因素。
真空計可以按照測量原理、結(jié)構(gòu)特點以及使用范圍等進(jìn)行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)(如Bayard-Alpert規(guī))可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。電容真空計與熱傳導(dǎo)式真空計在測量原理上有所不同。mems皮拉尼真空計設(shè)備供應(yīng)商
皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。蘇州陶瓷真空計多少錢
隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展和進(jìn)步,MEMS電容真空計將朝著更高靈敏度、更寬測量范圍、更好穩(wěn)定性和更低功耗的方向發(fā)展。同時,隨著物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展,MEMS電容真空計將實現(xiàn)更加智能化和遠(yuǎn)程化的監(jiān)測和控制功能,為各個領(lǐng)域提供更加便捷和高效的真空度測量解決方案。綜上所述,MEMS電容真空計是一種基于MEMS技術(shù)制造的電容式真空計,具有高靈敏度、寬測量范圍、穩(wěn)定性好和功耗低等優(yōu)點。它在半導(dǎo)體制造、真空冶金、科學(xué)研究、航空航天和醫(yī)療設(shè)備等多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿ΑLK州陶瓷真空計多少錢
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