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溫州高純度真空計(jì)公司

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-01-02

按測(cè)量原理分類

電離真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。示例:熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)、放射性電離真空計(jì)等。放電管指示器測(cè)量原理:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般能作為定性測(cè)量。粘滯真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。示例:振膜式真空計(jì)、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)等。場(chǎng)致顯微儀測(cè)量原理:以吸附和解吸時(shí)間與壓力關(guān)系計(jì)算壓力。分壓力真空計(jì)測(cè)量原理:利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測(cè)量。示例:四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)等。 真空計(jì)校準(zhǔn)后為什么不準(zhǔn)了?溫州高純度真空計(jì)公司

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真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn):

1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。

2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方便地更換新的傳感器,從而延長(zhǎng)真空計(jì)的使用壽命。

3.小型化和集成化隨著科技的發(fā)展,真空計(jì)正朝著小型化和集成化的方向發(fā)展。小型化的真空計(jì)更加便于攜帶和安裝,而集成化的真空計(jì)則能夠與其他設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行集成,實(shí)現(xiàn)更加智能化的監(jiān)測(cè)和控制。然而,真空計(jì)也存在一些局限性,如某些類型的真空計(jì)易被污染、測(cè)量范圍相對(duì)較窄等。因此,在選擇和使用真空計(jì)時(shí),需要綜合考慮其優(yōu)缺點(diǎn)以及具體的應(yīng)用需求。

綜上所述,真空計(jì)具有高精度、使用方便、穩(wěn)定性能良好、測(cè)量范圍廣、多種測(cè)量原理、易維護(hù)以及小型化和集成化等特點(diǎn)。這些特點(diǎn)使得真空計(jì)在各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿Α?江蘇高精度真空計(jì)設(shè)備公司電容真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?

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陶瓷薄膜真空計(jì)是一種高精度、高穩(wěn)定性的真空測(cè)量?jī)x器,它結(jié)合了陶瓷材料的優(yōu)異性能和薄膜傳感技術(shù)的敏感特性。以下是對(duì)陶瓷薄膜真空計(jì)的詳細(xì)介紹:

基本原理:陶瓷薄膜真空計(jì)的工作原理基于電容變化的原理。它通常包含一個(gè)陶瓷基片,上面沉積有一層或多層金屬薄膜作為電容的一個(gè)極板,而另一個(gè)極板則與薄膜保持一定的間隙。當(dāng)外界真空度發(fā)生變化時(shí),陶瓷薄膜會(huì)發(fā)生微小的形變,導(dǎo)致與另一個(gè)極板之間的電容值發(fā)生變化。通過(guò)測(cè)量這種電容變化,并經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)碾娐诽幚?,就可以得到真空度的值?

皮拉尼真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:

化學(xué)工業(yè):用于監(jiān)測(cè)化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中的真空度變化。電子與微電子領(lǐng)域:用于半導(dǎo)體制造和微電子器件生產(chǎn)過(guò)程中的真空度測(cè)量。氣相沉積:用于監(jiān)測(cè)氣相沉積過(guò)程中的真空度變化。電子束焊接:用于電子束焊接過(guò)程中的真空度測(cè)量。真空冶金:用于真空冶金過(guò)程中的真空度監(jiān)測(cè)。此外,皮拉尼真空計(jì)還常用于監(jiān)測(cè)從大氣到高真空區(qū)域開始的泵送過(guò)程(如渦輪分子泵或其他高真空泵接管該區(qū)域)、在真空冶金行業(yè)(在受控環(huán)境中制造的高純度合金)中確保不同薄膜涂層系統(tǒng)的工藝一致性和優(yōu)化等方面。 皮拉尼真空計(jì)通常用于測(cè)量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。

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    不同類型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量,主要包括以下幾類:

利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),由于氣壓不同通過(guò)氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測(cè)量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測(cè)量熱絲的溫度變化。

利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過(guò)測(cè)量氣體分子在電離過(guò)程中產(chǎn)生的電流來(lái)推算真空度。這類真空計(jì)在高真空領(lǐng)域具有極高的測(cè)量精度。 真空計(jì)的讀數(shù)通常是不變的,這是因?yàn)樗鼈兺ǔJ褂靡粋€(gè)固定的參考?jí)毫?lái)校準(zhǔn)儀器。浙江陶瓷真空計(jì)設(shè)備廠家

皮拉尼真空計(jì)測(cè)量范圍?溫州高純度真空計(jì)公司

如何選擇真空計(jì)?考慮測(cè)量范圍與精度:不同的真空計(jì)有不同的測(cè)量范圍,需要根據(jù)實(shí)際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計(jì)適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計(jì)則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測(cè)量。精度是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的另一個(gè)重要因素。需要根據(jù)物體不同的尺寸、物理量等來(lái)選擇精度要求更高的真空計(jì)。考慮被測(cè)氣體與環(huán)境:部分真空計(jì)對(duì)被測(cè)氣體有要求。例如,熱陰極電離真空計(jì)的陰極易受過(guò)量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害,因此需要考慮被測(cè)氣體是否會(huì)對(duì)真空計(jì)造成損傷。部分真空計(jì)會(huì)影響被測(cè)環(huán)境。例如,壓縮式真空計(jì)在測(cè)量時(shí)要壓縮被測(cè)氣體,這可能會(huì)使水蒸氣凝結(jié),從而影響被測(cè)真空環(huán)境。溫州高純度真空計(jì)公司

標(biāo)簽: 真空計(jì)