真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點:一、高精度真空計具有高精度度的特點,能夠測量非常微小的壓力變化。這種高精度使得真空計在需要精確控制真空度的場合中非常有用,如半導(dǎo)體制造、真空冶金和科學(xué)研究等領(lǐng)域。二、使用方便現(xiàn)代真空計通常采用數(shù)字化顯示屏幕,與傳統(tǒng)的指針表相比更加直觀和方便。數(shù)字化顯示使得用戶能夠更輕松地讀取測量結(jié)果,并進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄和分析。三、穩(wěn)定性能良好真空計具有良好的穩(wěn)定性,能夠在各種環(huán)境條件下保持測量精度。即使在一些惡劣的工業(yè)環(huán)境中,真空計也能夠工作良好,不易受外界干擾。這種穩(wěn)定性使得真空計在長時間監(jiān)測真空度的應(yīng)用中非??煽?。四、測量范圍廣不同類型的真空計適用于不同的測量范圍,從粗真空到高真空都有相應(yīng)的真空計可供選擇。這使得真空計能夠滿足不同領(lǐng)域和應(yīng)用場景的需求。真空計的讀數(shù)通常是不變的,這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準(zhǔn)儀器。河北金屬真空計公司
辰儀MEMS皮拉尼真空計是完全對標(biāo)MKS925和MKS901P真空計而開發(fā)的MEMS皮拉尼真空計,是采用MEMS芯片及數(shù)字化軟件控制技術(shù)開發(fā)的皮拉尼真空計。該真空計可用于半導(dǎo)體、光伏、等離子等對初中真空測量高精度要求的行業(yè),填補(bǔ)了MKS對國內(nèi)斷供造成的影響。
辰儀MEMS皮拉尼真空計是完全對標(biāo)MKS925和MKS901P真空計而開發(fā)的MEMS皮拉尼真空計,是采用MEMS芯片及數(shù)字化軟件控制技術(shù)開發(fā)的皮拉尼真空計。該真空計可用于半導(dǎo)體、光伏、等離子等對初中真空測量高精度要求的行業(yè),填補(bǔ)了MKS對國內(nèi)斷供造成的影響。 蘇州皮拉尼真空計設(shè)備公司皮拉尼真空計是一種用于測量真空壓力的儀器。
真空計的校準(zhǔn)是真空測量的基礎(chǔ),也是研究和發(fā)展真空測量的有力工具。定期校準(zhǔn)可以確保真空計的測量精度和穩(wěn)定性。同時,正確的使用和維護(hù)也是延長真空計使用壽命和保持其性能的關(guān)鍵。綜上所述,真空計是一種精密測量真空度的關(guān)鍵儀器,在多個領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用。隨著科技的不斷發(fā)展,真空計的性能將不斷提升,應(yīng)用范圍也將進(jìn)一步擴(kuò)大。
真空計的校準(zhǔn)是真空測量的基礎(chǔ),也是研究和發(fā)展真空測量的有力工具。定期校準(zhǔn)可以確保真空計的測量精度和穩(wěn)定性。同時,正確的使用和維護(hù)也是延長真空計使用壽命和保持其性能的關(guān)鍵。綜上所述,真空計是一種精密測量真空度的關(guān)鍵儀器,在多個領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用。隨著科技的不斷發(fā)展,真空計的性能將不斷提升,應(yīng)用范圍也將進(jìn)一步擴(kuò)大。
CRS系列陶瓷電容薄膜真空計是上海辰儀測量技術(shù)有限公司開發(fā)的壓力真空計,該系列產(chǎn)品具有高精度、溫度補(bǔ)償?shù)奶攸c,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能,一鍵歸零功能和繼電器設(shè)定點調(diào)整提高了產(chǎn)品性能,且易于操作;陶瓷的耐腐蝕性提供了較好的零點穩(wěn)定性,包括突發(fā)的氣壓變化環(huán)境中。堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性(EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。
體積小巧,易于集成,可以安裝在相對狹小的空間,便于在復(fù)雜的機(jī)器上安裝使用。此外,該裝置的數(shù)字信號處理支持快速、準(zhǔn)確的壓力測量,這對保持工藝質(zhì)量至關(guān)重要。 真空計選型需要注意什么?
皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理,通過測量一個發(fā)熱體與一個接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。具體來說,當(dāng)加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時,其溫度會升高。對于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真空或低壓環(huán)境中,加熱絲的熱導(dǎo)率(即將熱量散發(fā)給周圍介質(zhì)的能力)會降低,導(dǎo)致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會引起導(dǎo)線電阻的變化,這種變化可以通過惠斯通電橋來測量。當(dāng)氣體分子密度發(fā)生變化時,熱量從金屬絲傳遞到氣體會受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力,使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應(yīng)變化。因此,可以通過測量這種能量變化來間接測量真空壓力。電容薄膜真空計的校準(zhǔn)注意事項有?南京高精度真空計公司
如果懷疑電容真空計出現(xiàn)故障,應(yīng)及時進(jìn)行檢修或更換。河北金屬真空計公司
不同類型的真空計采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的真空計:如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動過程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來測量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應(yīng)的真空計:如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過測量氣體分子在電離過程中產(chǎn)生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領(lǐng)域具有極高的測量精度。 河北金屬真空計公司