半導(dǎo)體行業(yè)的VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴(kuò)散等。在這些工藝中,要用有機溶液(如異丙醇)清洗晶片表面,其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時,光刻和蝕刻中使用的光刻膠(光致抗蝕劑)含有揮發(fā)性有機溶劑,如醋酸丁酯,在晶片加工過程中也會揮發(fā)到大氣中,是有機廢氣的另一個來源。 半導(dǎo)體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分。在此過程中,這些有機溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前,吸附、焚燒或兩種方法的組合通常用于這種氣體排放。一般用沸石輪吸附,蓄熱式焚燒爐焚燒。 焚燒也應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè),處理各種有機廢氣,并通過熱氧化將有機物質(zhì)轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時焚燒也是一種處理廢氣的好方法,有穩(wěn)定的流量和濃度。在熱氧化中,有機廢氣流被加熱,氣相中的有機物被氧化。為了節(jié)省燃料的使用,通常使用熱交換器來回收焚燒產(chǎn)生的熱量,以預(yù)熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。因為半導(dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會產(chǎn)生SiO2,使催化劑鈍化,所以接觸氧化很少用于半導(dǎo)體行業(yè)。寧新環(huán)保擁有非常專業(yè)、責(zé)任感強的售后服務(wù)團(tuán)隊。上海三塔式蓄熱式焚燒爐廠家
在對江蘇省多家醫(yī)藥化工企業(yè)的蓄熱式焚燒爐進(jìn)行調(diào)研后發(fā)現(xiàn),大部分企業(yè)的RTO爐在運行一段時間后,大量的二次污染物堆積在再生床底部并粘附其上,容易造成再生床底部堵塞,引發(fā)火災(zāi)等安全事故。 以江蘇鹽城某制藥企業(yè)為例,通過采樣檢測分析,發(fā)現(xiàn)其二次污染物具有以下特點: 1)水溶性好,易溶于乙醇; 2)滴加堿液后有明顯的有機胺氣味; 3)在馬弗爐中加熱到250后發(fā)生升華,直接在爐壁上結(jié)晶,加熱到300時發(fā)生不完全燃燒; 4)水溶液的COD高達(dá)數(shù)萬mg/L,水溶液中含有大量氯離子。綜上,初步預(yù)計是鹽酸三乙胺。對于這類企業(yè),建議在RTO再生床底部增加清洗裝置,定期清洗底部再生陶瓷體,避免有機粘連的發(fā)生。甘肅精細(xì)化工蓄熱式焚燒爐廠家蓄熱式焚燒爐可以通過風(fēng)機與燃燒機的變頻實現(xiàn)彈性操作。
目前,蓄熱式焚燒爐在運營過程中暴露出一些安全問題,主要是火災(zāi)、爆燃等安全問題。大部分是由于操作不當(dāng)、管理不規(guī)范、麻痹大意、疏忽大意造成的,也有一些情況,如設(shè)計不良、自控質(zhì)量差、失靈等。導(dǎo)致隱患和火災(zāi)爆燃事故預(yù)警延遲。通過對醫(yī)藥化工行業(yè)RTO運營的多家企業(yè)進(jìn)行調(diào)查,寧新環(huán)??萍伎偨Y(jié)出以下問題: (1)環(huán)境管理單位未對企業(yè)主的生產(chǎn)過程進(jìn)行充分論證,未考慮生產(chǎn)過程中多變性、間歇性、氣體排放不穩(wěn)定、濃度波動過大等實際因素,設(shè)計的RTO設(shè)備存在技術(shù)缺陷,自動化程度低,應(yīng)急排放和處理措施設(shè)計不完善; (2)企業(yè)主為了節(jié)省投資和降低運營成本,要求環(huán)境管理單位盡可能簡化r to配置設(shè)計,特別是缺乏自動化編程的安全措施; (3)部分企業(yè)管理不到位,操作人員執(zhí)行操作規(guī)程不嚴(yán)格,粗心大意,工藝技術(shù)人員對RTO技術(shù)、工藝和設(shè)備材料性能沒有深入了解,沒有設(shè)置合理的安全應(yīng)急措施。當(dāng)生產(chǎn)條件發(fā)生較大的波動時,不能及時采取有效措施; (4)激烈的市場價格競爭使得環(huán)境管理單位設(shè)計的RTO設(shè)備采用經(jīng)濟(jì)甚至較差的材料和控制系統(tǒng),導(dǎo)致安全隱患增加;
就化工企業(yè)產(chǎn)生的廢氣而言,大部分不具備回收利用的價值。RTO蓄熱式焚燒爐設(shè)備是一種適合化工企業(yè)的廢氣處理方法。RTO蓄熱式焚燒爐設(shè)備的廢氣處理方法是將有機廢氣焚燒成二氧化碳和水,不會造成二次污染。廢氣燃燒過程中產(chǎn)生的高溫?zé)崮芤部梢杂行Щ厥?,不會造成過多的經(jīng)濟(jì)成本。 與傳統(tǒng)的催化燃燒和直接燃燒熱氧化爐(TO)相比,RTO蓄熱式焚燒爐具有熱效率高(95%)、運行成本低、大風(fēng)量處理中低濃度有機廢氣等特點。濃度稍高時,可進(jìn)行二次余熱回收,降低了生產(chǎn)運行成本。蓄熱式焚燒爐適用于絕大部分有機廢氣處理工況。
蓄熱式焚燒爐設(shè)計應(yīng)根據(jù)《蓄熱燃燒法工業(yè)有機廢氣治理工程技術(shù)規(guī)范》 (HJ 1093—2020)的要求,收集的工業(yè)有機廢氣理化性質(zhì)原始數(shù)據(jù)至少包括廢氣量(正常值、大值、小值)、廢氣溫度(正常值、大值、小值)、廢氣壓力、濕度和含氧量、VOCs組分和濃度(正常值、大值、小值)、無機氣體組分和濃度(正常值、大值、小值)、廢氣中顆粒物濃度、產(chǎn)生的污染物。廢氣排放模式(連續(xù)、間歇、波動循環(huán)),同步設(shè)計RTO主體和輔助工程,設(shè)置滿足HJ 1093—2020要求的過程控制相關(guān)參數(shù)和安全措施,完善主體工程和輔助工程之間的邏輯控制關(guān)系(廢氣收集系統(tǒng)壓力、可燃?xì)怏w檢測信號、燃油(氣)壓力、儀表氣源壓力、電力等。),實現(xiàn)整個系統(tǒng)的程序控制。我公司提供專業(yè)的售前服務(wù)咨詢,制定合理的針對性方案。上海三塔式蓄熱式焚燒爐廠家
處理風(fēng)量范圍為5000~200000Nm3/h。上海三塔式蓄熱式焚燒爐廠家
蓄熱式焚燒爐配用的管道可以使用復(fù)合材料(FRP或俗稱FRP)(有腐蝕的情況下)具有高比強度和可設(shè)計性的特點,是一種新型輕質(zhì)材料。但一般情況下,復(fù)合材料(FRP)制造完成后是防水絕緣的,在應(yīng)用過程中,有些場合要求FRP具有抗靜電性或?qū)щ娦浴?為了解決這個技術(shù)問題,可以從復(fù)合材料的相關(guān)材料或性能入手,一是材料本身,二是通過在外面添加導(dǎo)電材料來增加玻璃鋼的導(dǎo)電性。 從材料本身來說,玻璃鋼的主要材料是基體樹脂和纖維增強材料,可以提高或滿足這個要求,也可以使用導(dǎo)電樹脂或?qū)щ娎w維材料。目前,由于工業(yè)應(yīng)用性能和經(jīng)濟(jì)性的綜合要求,在樹脂上很難實現(xiàn)導(dǎo)電性和工業(yè)性的完美結(jié)合,特別是作為工業(yè)防腐中應(yīng)用很多的玻璃鋼部件,成本是一道不可逾越的坎;此外,導(dǎo)電纖維,例如碳纖維,被用作作為抗靜電溶液的增強材料,但是由于碳纖維的高成本,成本相對較高。 另一種想法是在成型過程中加入一定量的導(dǎo)電添加劑,如石墨粉或碳粉。但只有加入一定量才能達(dá)到效果,材料的工藝性和防腐性能受到很大影響。特別是在與液體介質(zhì)長期接觸的過程中,抗靜電性能會下降,逐漸析出,從而影響防腐性能或化學(xué)介質(zhì)。上海三塔式蓄熱式焚燒爐廠家
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