半導(dǎo)體行業(yè)的VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴(kuò)散等。在這些工藝中，要用有機(jī)溶液(如異丙醇)清洗晶片表面，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來源之一。同時(shí)，光刻和蝕刻中使用的光刻膠(光致抗蝕劑)含有揮發(fā)性有機(jī)溶劑，如醋酸丁酯，在晶片加工過程中也會(huì)揮發(fā)到大氣中，是有機(jī)廢氣的另一個(gè)來源。 半導(dǎo)體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機(jī)成分。在此過程中，這些有機(jī)溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前，吸附、焚燒或兩種方法的組合通常用于這種氣體排放。一般用沸石輪吸附，蓄熱式焚燒爐焚燒。 焚燒也應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)，處理各種有機(jī)廢氣，并通過熱氧化將有機(jī)物質(zhì)轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時(shí)焚燒也是一種處理廢氣的好方法，有穩(wěn)定的流量和濃度。在熱氧化中，有機(jī)廢氣流被加熱，氣相中的有機(jī)物被氧化。為了節(jié)省燃料的使用，通常使用熱交換器來回收焚燒產(chǎn)生的熱量，以預(yù)熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會(huì)產(chǎn)生SiO2，使催化劑鈍化，所以接觸氧化很少用于半導(dǎo)體行業(yè)。蓄熱式焚燒爐的保溫較為嚴(yán)格，一般爐體表面溫度不超過60℃。甘肅精細(xì)化工蓄熱式焚燒爐廠家

系統(tǒng)的設(shè)計(jì)需要判斷入口處有機(jī)物的成分，根據(jù)不同成分的特性和反應(yīng)特點(diǎn)，確定預(yù)處理和后處理措施，不增加蓄熱式焚燒爐的檢修維護(hù)的難度和成本。例如，我們需要避免聚合物、有機(jī)銨鹽和腐蝕性成分的進(jìn)入。據(jù)此，一些自動(dòng)控制系統(tǒng)，自動(dòng)清洗和維護(hù)的聯(lián)鎖等。都是在RTO內(nèi)部設(shè)計(jì)的，需要一開始就考慮。 重要的一點(diǎn)是，RTO交付后，RTO的所有部件都必須嚴(yán)格按照操作規(guī)程和維護(hù)手冊進(jìn)行定期維護(hù)和校準(zhǔn)。比如阻火器堵塞，阻力增大，風(fēng)機(jī)運(yùn)行負(fù)荷增大，電費(fèi)增加，噴淋塔PH/電導(dǎo)率不準(zhǔn)，導(dǎo)致循環(huán)水更換頻率過高。所有這些設(shè)備都需要定期維護(hù)和校準(zhǔn)。除了避免由此帶來的運(yùn)行成本增加，更重要的是保證風(fēng)機(jī)的安全運(yùn)行。陜西RTO蓄熱式焚燒爐價(jià)格其維護(hù)量很少，不需專人值守。

涂裝過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)主要有甲苯、二甲苯、三甲苯等。涂裝車間產(chǎn)生的有機(jī)廢氣主要來源于噴漆室、揮發(fā)室和干燥室。干燥室排出的煙氣具有風(fēng)量小、濃度高的特點(diǎn)，可采用蓄熱式焚燒爐直接處理。在高溫下，揮發(fā)性有機(jī)物被氧化分解，產(chǎn)生的熱量作為烘房的熱源。凈化后的空氣可以達(dá)到國家和地方的排放標(biāo)準(zhǔn)。噴漆室廢氣具有風(fēng)量大、濃度低的特點(diǎn)，廢氣中含有顆粒狀漆霧，粘度大、濕度大。所以需要用漆霧過濾廢氣，然后進(jìn)入沸石輪，將過濾后的廢氣濃縮。濃縮后成為高濃度低風(fēng)量氣體，再進(jìn)入旋轉(zhuǎn)RTO氧化處理。還能使噴漆廢氣和烘干廢氣共同參與吸附和濃縮。噴漆廢氣與高溫干燥廢氣混合后，由于溫度升高，相對(duì)濕度降低，節(jié)省了除濕的設(shè)備投資和運(yùn)行費(fèi)用，減少了進(jìn)入RTO的廢氣量。

“VOCs處理項(xiàng)目的處理能力應(yīng)根據(jù)VOCs處理能力確定，設(shè)計(jì)風(fēng)量應(yīng)按廢氣排放量的105~120%以上設(shè)計(jì)”；一般來說會(huì)設(shè)置儲(chǔ)備系數(shù)，根據(jù)實(shí)際工況在1.1-1.2之間。 “兩室蓄熱式焚燒爐的凈化效率不應(yīng)低于95%，多室或回轉(zhuǎn)蓄熱式燃燒裝置的凈化效率不應(yīng)低于98%?！蹦壳暗默F(xiàn)狀是三室RTO設(shè)備需求量較大。如果業(yè)主在合同中對(duì)凈化效率有要求，如果有更高的要求，比如99%，就要慎重承諾。 “蓄熱式焚燒裝置的熱回收效率”，很多人會(huì)在熱回收效率的計(jì)算上犯錯(cuò)誤。熱回收效率的基本定義是蓄熱式焚燒裝置中預(yù)熱廢氣的實(shí)際利用熱量與可用熱量的比值，即：燃燒室溫度-蓄熱裝置出口排氣溫度/燃燒室溫度-蓄熱裝置入口排氣溫度。 應(yīng)按要求設(shè)置自動(dòng)報(bào)警和保護(hù)裝置。比如前段時(shí)間分享的文章都提到了以下幾個(gè)部分：精細(xì)化工RTO系統(tǒng)的主體設(shè)計(jì)要特別注意這五點(diǎn)；化學(xué)VOCs焚燒RTO系統(tǒng)調(diào)試中應(yīng)注意的問題。寧新環(huán)保的蓄熱式焚燒爐在達(dá)到一定濃度時(shí)可以達(dá)到自平衡不消耗熱量。

蓄熱式焚燒爐如果所有閥門都不工作，可能的原因如下 檢查壓縮空氣壓力是否在0.4~0.8Mpa的正常范圍內(nèi)，主壓縮空氣管道上的手動(dòng)閥門是否打開。 PLC柜的DC電源是否有問題，保險(xiǎn)絲是否熔斷。 第二，如果單個(gè)閥門運(yùn)動(dòng)異常，可能的原因如下 檢查閥門對(duì)應(yīng)的壓縮空氣管道上的手動(dòng)閥門是否打開。 檢查閥門對(duì)應(yīng)的PLC柜中間繼電器是否有問題。 檢查閥門的電磁閥是否工作，先檢查電磁閥線圈是否通電；其次，檢查電磁閥內(nèi)有無雜物，一般拆卸清洗后可以繼續(xù)使用。如果氣缸有任何問題，需要由技術(shù)人員更換或修理。 觀察現(xiàn)場閥位指示器是否到位。如果現(xiàn)場閥門位置指示器就位，重新調(diào)整遠(yuǎn)程閥門位置指示器。 還有一種可能是閥門的密封面沾有鐵屑等雜物，導(dǎo)致閥門無法關(guān)閉，壓縮空氣一直從兩位五通閥的出口沖出。通常這種情況會(huì)隨著雜物脫落而自動(dòng)消失。否則，應(yīng)打開檢查門清理雜物。RTO燃燒器的調(diào)節(jié)比達(dá)到1:20，實(shí)時(shí)且準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)溫度。天津三塔式蓄熱式焚燒爐設(shè)備

這個(gè)行業(yè)RTO投入運(yùn)行至今，已經(jīng)過去了40多年。甘肅精細(xì)化工蓄熱式焚燒爐廠家

那么如何確定風(fēng)量和氣壓呢？需要根據(jù)相關(guān)行業(yè)的暖通規(guī)范來確定風(fēng)速的上限或換氣次數(shù)，然后根據(jù)污染源排放點(diǎn)的廢氣排放量和污染源空間的大小來確定廢氣流量，也就是我們所說的風(fēng)機(jī)風(fēng)量；其次，根據(jù)設(shè)備和管道的壓力損失，確定風(fēng)機(jī)的壓力。這里，風(fēng)扇的壓力是多少？ 在蓄熱式焚燒爐系統(tǒng)中，為了將有機(jī)廢氣(VOCs)引至r to控制界區(qū)，并將處理后的潔凈空氣輸送至煙囪排放，需要克服整個(gè)系統(tǒng)管道和設(shè)備的壓力損失，風(fēng)機(jī)必須產(chǎn)生這些壓力。風(fēng)機(jī)的壓力分為三種形式：靜壓、動(dòng)壓和總壓。上面提到的克服供氣阻力的壓力稱為靜壓，靜壓是氣體作用在與氣流平行的物體表面上的壓力，通過垂直于其表面的孔測得。氣體流動(dòng)中所需的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為壓力，稱為動(dòng)壓。 其實(shí)在RTO系統(tǒng)中，除了風(fēng)扇的壓力和風(fēng)量，風(fēng)扇的防爆是另一個(gè)重中之重。由于RTO是高溫氧化裝置，要處理的介質(zhì)是易燃、易爆、有毒、有害的有機(jī)化合物，具有一定的危險(xiǎn)性，因此風(fēng)機(jī)的防爆成為基本的安全措施之一。甘肅精細(xì)化工蓄熱式焚燒爐廠家

寧新環(huán)?？萍迹ㄉ虾＃┯邢薰局铝τ诃h(huán)保，是一家生產(chǎn)型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋RTO，RTO焚燒爐，蓄熱式焚燒爐，旋轉(zhuǎn)式RTO等，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念，秉持誠信為本的理念，打造環(huán)保良好品牌。在社會(huì)各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造高質(zhì)量服務(wù)體驗(yàn)，為客戶成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。