半導(dǎo)體廢氣處理組件 半導(dǎo)體工業(yè)廢氣的主要成分是有機(jī)廢氣和酸堿廢氣。有機(jī)成分:非甲烷碳?xì)浠衔?、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿成分:氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。 2、 工業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn) 3、 半導(dǎo)體廢氣處理方法 一般半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理的解決方案如下: (1) 預(yù)處理階段:采用噴淋塔對(duì)廢水進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵和溶于水的有害氣體。 (2) 主要處理階段:這一階段,較為常用和有效的方法有:紫外線光解、生物過(guò)濾分解、焚燒和催化燃燒。 由于各企業(yè)產(chǎn)生的廢氣成分、風(fēng)量、濃度不同,所采用的半導(dǎo)體廢氣處理方法也會(huì)有所不同或需要多種方法的組合。具體治療方案請(qǐng)咨詢我們。我們將有工程師為您制定一對(duì)一的治療方案。RTO設(shè)備處理VOC的常見(jiàn)形式有箱體式RTO和旋轉(zhuǎn)式RTO。貴州石化RTO設(shè)備廠家
蓄熱體,也稱蓄熱填充物,是RTO裝置中的一個(gè)重要組成部分,通常采用蜂窩陶瓷材質(zhì);它相當(dāng)于一個(gè)換熱器,作用是:當(dāng)冷的廢氣通過(guò)熱的蓄熱體時(shí),蓄熱體將儲(chǔ)存的熱量釋放,使廢氣加熱到所需的預(yù)熱溫度而蓄熱體本身被冷卻(冷周期);預(yù)熱后的氣體進(jìn)入燃燒室,經(jīng)反應(yīng)后熱的凈化氣通過(guò)冷的蓄熱體時(shí),蓄熱體吸收凈化氣體的熱量,使氣體冷卻而蓄熱體本身被加熱(熱周期)。 陶瓷蓄熱室應(yīng)分成兩個(gè)或以上,每個(gè)蓄熱室依次經(jīng)歷蓄熱-放熱-清掃等程序,周而復(fù)始,連續(xù)工作!海南涂裝RTO維修那么為什么RTO爐在廢氣處理領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用呢?
該過(guò)程完成后系統(tǒng)自動(dòng)切換進(jìn)氣和出氣閥門改變廢氣流向,使有機(jī)廢氣經(jīng)由蓄熱室2進(jìn)入,焚燒處理后由蓄熱室1熱交換后排放,如此交替切換持續(xù)運(yùn)行。三室RTO裝置處理廢氣的方式與兩室原理相類似,但不同的是:三室RTO蓄熱室“放熱”后應(yīng)立即引入適量潔凈空氣對(duì)該蓄熱室進(jìn)行清掃(以保證VOC去除率在98%以上),只有待清掃完成后才能進(jìn)入“蓄熱”程序。否則殘留的VOCs隨煙氣排放到煙囪從而降低處理效率。旋轉(zhuǎn)式RTO主要由燃燒室、陶瓷填料床和旋轉(zhuǎn)閥等組成。爐體分成12個(gè)室,5個(gè)室進(jìn)廢氣、5個(gè)室出凈化所,1個(gè)室清掃,1個(gè)室起隔離作用。廢氣分配閥由電機(jī)帶著連續(xù)、勻速轉(zhuǎn)動(dòng),在分配閥的作用下,廢氣緩慢在12個(gè)室之間連續(xù)切換!
RTO廢氣處理設(shè)備適用于高濃度有機(jī)廢氣、涂裝廢氣、惡臭廢氣等廢氣凈化處理;適用于廢氣成分經(jīng)常發(fā)生變化或廢氣中含有使催化劑中毒或活性衰退的成分(如錫,鋅等的金屬蒸汽和磷、磷化物,砷等,容易使催化劑失去活性;含鹵素和大量的水蒸氣的情形),含有鹵素碳?xì)浠衔锛捌渌吒g性的有機(jī)氣體。 RTO設(shè)備作為主流VOC處理工藝,具有諸多優(yōu)點(diǎn),才使其能夠脫穎而出: 一、RTO廢氣處理設(shè)備幾乎可以處理所有含有機(jī)化合物的廢氣,可以處理風(fēng)量大、濃度低的有機(jī)廢氣。處理有機(jī)廢氣流量的彈性很大(名義流量20%~120%)。 二、RTO廢氣處理設(shè)備可以適應(yīng)有機(jī)廢氣中VOCs的組成和濃度的變化、波動(dòng),對(duì)廢氣中夾帶少量灰塵、固體顆粒不敏感,在所有熱力燃燒凈化法中熱效率較高(>95%)。 三、RTO廢氣處理設(shè)備在合適的廢氣濃度條件下,無(wú)需添加輔助燃料而實(shí)現(xiàn)自供熱操作,凈化效率高(三室>98%),維護(hù)工作量少、操作安全可靠。有機(jī)沉淀物可周期性的清里,蓄熱體可更換,整個(gè)裝置的壓力損失較小,裝置使用壽命長(zhǎng)!蓄熱式焚燒系統(tǒng)主要用于有機(jī)廢氣濃度較低而廢氣量較大的場(chǎng)合。
RTO焚燒爐、RTO、RCO專業(yè)生成廠家寧新環(huán)境,有的單位上了儲(chǔ)罐尾氣回收設(shè)施,但是回收設(shè)施不能正常運(yùn)行,儲(chǔ)罐尾氣回收的同時(shí)呼吸閥也在往外呼氣,或是儲(chǔ)罐尾氣回收的同時(shí)氮封閥也在往儲(chǔ)罐里補(bǔ)氣。出現(xiàn)這種情況,說(shuō)明單呼閥的動(dòng)作壓力區(qū)間跟呼吸閥、氮封閥的動(dòng)作壓力區(qū)間有交集,原因是尾氣收集系統(tǒng)的壓力控制沒(méi)有做好,導(dǎo)致單呼閥的背壓沒(méi)有控制好,結(jié)果是導(dǎo)致單呼閥的動(dòng)作壓力區(qū)間跟呼吸閥、氮封閥的動(dòng)作壓力區(qū)間有了交集。尤其是2.0 kPa(G)設(shè)計(jì)壓力的儲(chǔ)罐,采用按照國(guó)標(biāo)生產(chǎn)的單呼閥、呼吸閥時(shí),更容易出現(xiàn)這種情況!凈化效率高,三室型RTO可達(dá)99.5%。廣西化工RTO系統(tǒng)
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1、半導(dǎo)體廢氣處理組件半導(dǎo)體工業(yè)廢氣的主要成分是有機(jī)廢氣和酸堿廢氣。有機(jī)成分:非甲烷碳?xì)浠衔?、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿成分:氨、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。2、 工業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)3、 半導(dǎo)體廢氣處理方法一般半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理的解決方案如下:(1) 預(yù)處理階段:采用噴淋塔對(duì)廢水進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵和溶于水的有害氣體。(2) 主要處理階段:這一階段,較為常用和有效的方法有:紫外線光解、生物過(guò)濾分解。 寧新環(huán)??萍紝?duì)于這些成分及行業(yè)有著豐富的治理的經(jīng)驗(yàn)。貴州石化RTO設(shè)備廠家