蓄熱式焚燒爐是一種高效的有機(jī)廢氣處理設(shè)備。其工作原理是將有機(jī)廢氣加熱到760攝氏度以上,使廢氣中的揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)被氧化分解為二氧化碳和水。 氧化過程中產(chǎn)生的熱量儲存在特殊的陶瓷蓄熱器中,加熱到“蓄熱”。 陶瓷蓄熱體儲存的熱量用于預(yù)熱后續(xù)的有機(jī)廢氣,這是陶瓷蓄熱體的“放熱”過程,從而節(jié)省了廢氣加熱過程中的燃料消耗。 大量工程應(yīng)用表明,三床蓄熱式焚燒爐對VOCs的分解效率可達(dá)99%,綜合熱效率可達(dá)95%,進(jìn)出口溫差約為40,閥門開關(guān)時(shí)排氣管壓力波動(dòng)為25pa。 三床蓄熱式焚燒爐的VOCs濃度不能超過5g/m3,否則會(huì)超過京滬當(dāng)?shù)氐呐欧艠?biāo)準(zhǔn)。 此外,由于其比表面積大,自身運(yùn)行散熱也大,減少了可再利用的余熱?。幮颅h(huán)保成立后制造的RTO已穩(wěn)定運(yùn)行10年以上。貴州三床式蓄熱式焚燒爐廠家
蓄熱式焚燒爐是一種高效的有機(jī)廢氣處理設(shè)備。其工作原理是將有機(jī)廢氣加熱到760攝氏度以上,使廢氣中的揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)被氧化分解為二氧化碳和水。 氧化過程中產(chǎn)生的熱量儲存在特殊的陶瓷蓄熱器中,加熱到“蓄熱”。 陶瓷蓄熱體儲存的熱量用于預(yù)熱后續(xù)的有機(jī)廢氣,這是陶瓷蓄熱體的“放熱”過程,從而節(jié)省了廢氣加熱過程中的燃料消耗。 大量工程應(yīng)用表明,三床蓄熱式焚燒爐對VOCs的分解效率可達(dá)99%,綜合熱效率可達(dá)95%,進(jìn)出口溫差約為40,閥門開關(guān)時(shí)排氣管壓力波動(dòng)為25pa。 三床蓄熱式焚燒爐的VOCs濃度不能超過5g/m3,否則會(huì)超過京滬當(dāng)?shù)氐呐欧艠?biāo)準(zhǔn)。 此外,由于其比表面積大,自身運(yùn)行散熱也大,減少了可再利用的余re江蘇RTO蓄熱式焚燒爐廠家RTO設(shè)備運(yùn)行時(shí)的可靠度很高,在24h連續(xù)運(yùn)行中表現(xiàn)穩(wěn)定。
半導(dǎo)體行業(yè)的VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴(kuò)散等。在這些工藝中,要用有機(jī)溶液(如異丙醇)清洗晶片表面,其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來源之一。同時(shí),光刻和蝕刻中使用的光刻膠(光致抗蝕劑)含有揮發(fā)性有機(jī)溶劑,如醋酸丁酯,在晶片加工過程中也會(huì)揮發(fā)到大氣中,是有機(jī)廢氣的另一個(gè)來源。 半導(dǎo)體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機(jī)成分。在此過程中,這些有機(jī)溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前,吸附、焚燒或兩種方法的組合通常用于這種氣體排放。一般用沸石輪吸附,蓄熱式焚燒爐焚燒。 焚燒也應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè),處理各種有機(jī)廢氣,并通過熱氧化將有機(jī)物質(zhì)轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時(shí)焚燒也是一種處理廢氣的好方法,有穩(wěn)定的流量和濃度。在熱氧化中,有機(jī)廢氣流被加熱,氣相中的有機(jī)物被氧化。為了節(jié)省燃料的使用,通常使用熱交換器來回收焚燒產(chǎn)生的熱量,以預(yù)熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會(huì)產(chǎn)生SiO2,使催化劑鈍化,所以接觸氧化很少用于半導(dǎo)體行業(yè)!
在我國石化行業(yè),其廢氣成分復(fù)雜,產(chǎn)生的廢氣有毒、來源廣、有害、種類多、處理難度大。因此,石化廢氣處理技術(shù)問題亟待解決。蓄熱式焚燒爐已應(yīng)用于石油化工行業(yè),常作為廢氣處理的終端設(shè)備。當(dāng)使用RTO處理廢氣時(shí),需要去除一些組件。旋轉(zhuǎn)RTO無法處理的廢氣,如二氧化氮·二氧化硫、硫化氫、氨氣等有毒有害氣體,采用吸附或過濾法吸收,對RTO有害的油霧、酸霧采用玻璃纖維過濾法過濾去除,然后進(jìn)入RTO設(shè)備氧化轉(zhuǎn)化為無毒的二氧化碳和水。這種組合方式已經(jīng)在石化行業(yè)得到應(yīng)用,技術(shù)也比較成熟。處理風(fēng)量范圍為5000~200000Nm3/h。
蓄熱式焚燒爐的陶瓷纖維內(nèi)襯采用1260陶瓷纖維模塊和1260陶瓷纖維毯對陶瓷蓄熱室和燃燒室進(jìn)行隔熱。陶瓷纖維折疊模塊的排列是“并排”的,即沿著模塊的壓縮尺寸排列。在纖維模塊之間對折一層20mm厚的陶瓷纖維毯并壓緊,在纖維模塊中插入U(xiǎn)型釘,間距500~700mm用來固定,以補(bǔ)償纖維非膨脹面可能的收縮。這種結(jié)構(gòu)可以避免“拼花地板”排列方式中因邊角膨脹不均勻?qū)е碌睦w維模塊“花心”現(xiàn)象,達(dá)到良好的保溫隔熱效果。在安裝爐頂襯里層的過程中,使用快速卡與模塊配合,用螺栓臨時(shí)固定。在RTO爐陶瓷纖維內(nèi)襯的熱面上陶瓷纖維模塊表面涂兩遍固化劑,既能抵抗水蒸氣,又能抵抗高風(fēng)速下的煙氣沖刷,從而延長保溫內(nèi)襯的使用壽命!RTO的可靠度是一個(gè)非常重要的指標(biāo)。甘肅三箱式蓄熱式焚燒爐廠家
達(dá)到一定濃度的廢氣處理可以實(shí)現(xiàn)自供熱燃燒,運(yùn)行費(fèi)用低。貴州三床式蓄熱式焚燒爐廠家
蓄熱式焚燒爐是一種高效的有機(jī)廢氣處理設(shè)備。其工作原理是將有機(jī)廢氣加熱到760攝氏度以上,使廢氣中的揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)被氧化分解為二氧化碳和水。 氧化過程中產(chǎn)生的熱量儲存在特殊的陶瓷蓄熱器中,加熱到“蓄熱”。 陶瓷蓄熱體儲存的熱量用于預(yù)熱后續(xù)的有機(jī)廢氣,這是陶瓷蓄熱體的“放熱”過程,從而節(jié)省了廢氣加熱過程中的燃料消耗。 蓄熱式焚燒爐旋轉(zhuǎn)RTO對VOCs的分解效率高達(dá)99.5%,熱效率高達(dá)97%。 進(jìn)出口溫差在20攝氏度左右,大限度地減少了RTO運(yùn)行時(shí)的熱量損失,保證了熱能的二次回收。 閥門平穩(wěn)連續(xù)的轉(zhuǎn)動(dòng)對排氣管壓力的影響只有25pa,這對于一些材料制造商來說是極其重要的。 旋轉(zhuǎn)式RTO分解效率高,VOCs入口廢氣濃度可達(dá)10g/m3。貴州三床式蓄熱式焚燒爐廠家