半導(dǎo)體行業(yè)的VOCs廢氣主要來(lái)源于光刻、顯影、蝕刻和擴(kuò)散等。在這些工藝中要用有機(jī)溶液(如異丙醇)清洗晶片表面，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來(lái)源之一。同時(shí)，光刻和蝕刻中使用的光刻膠(光致抗蝕劑)含有揮發(fā)性有機(jī)溶劑，如醋酸丁酯，在晶片加工過(guò)程中也會(huì)揮發(fā)到大氣中，是有機(jī)廢氣的另一個(gè)來(lái)源。 半導(dǎo)體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機(jī)成分。在此過(guò)程中，這些有機(jī)溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前，吸附、焚燒或兩種方法的組合通常用于這種氣體排放。一般用沸石輪吸附，蓄熱式焚燒爐焚燒。 焚燒也應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)，處理各種有機(jī)廢氣，并通過(guò)熱氧化將有機(jī)物質(zhì)轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時(shí)焚燒也是一種處理廢氣的好方法，有穩(wěn)定的流量和濃度。在熱氧化中，有機(jī)廢氣流被加熱，氣相中的有機(jī)物被氧化。為了節(jié)省燃料的使用，通常使用熱交換器來(lái)回收焚燒產(chǎn)生的熱量，以預(yù)熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會(huì)產(chǎn)生SiO2，使催化劑鈍化，所以接觸氧化很少用于半導(dǎo)體行業(yè)。寧新環(huán)?？萍家恢敝铝τ诳諝鈨艋夹g(shù)的計(jì)。安徽蓄熱式焚燒爐系統(tǒng)
作為蓄熱式焚燒爐系統(tǒng)中的關(guān)鍵設(shè)備，風(fēng)機(jī)以及風(fēng)機(jī)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和選型是否正確決定著整個(gè)系統(tǒng)的安全生產(chǎn)和企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。對(duì)于RTO系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，我們常用的風(fēng)機(jī)有離心式中高壓引、通風(fēng)機(jī)和軸流式中高壓引、通風(fēng)機(jī)。按照材質(zhì)可以分為金屬風(fēng)機(jī)和非金屬風(fēng)機(jī)，其中常用金屬風(fēng)機(jī)多為碳鋼、SS304、SS316L、雙相鋼等，非金屬風(fēng)機(jī)一般多為FRP、PP等等。在RTO系統(tǒng)中風(fēng)機(jī)分為以下幾類(lèi)：接觸廢氣的風(fēng)機(jī)和不接觸廢氣的風(fēng)機(jī)，其中接觸廢氣的風(fēng)機(jī)有主管道引、送風(fēng)機(jī)以及中繼風(fēng)機(jī)，不接觸廢氣風(fēng)機(jī)有助燃風(fēng)機(jī)、反吹掃風(fēng)機(jī)、防泄漏風(fēng)機(jī)等。一般接觸廢氣的風(fēng)機(jī)選材需要根據(jù)廢氣的組分及特性進(jìn)行選型和設(shè)計(jì)，不接觸廢氣風(fēng)機(jī)只需按照風(fēng)機(jī)全壓和風(fēng)量進(jìn)行設(shè)計(jì)和選型即可。 風(fēng)機(jī)是氣體壓縮和氣體輸送機(jī)機(jī)械的總稱(chēng)，是把旋轉(zhuǎn)的機(jī)械能轉(zhuǎn)換為氣體壓力能和動(dòng)能，并將氣體輸送出去的機(jī)械它通常有以下幾個(gè)需要確定的參數(shù)： 1、流量，包括風(fēng)量、標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)量； 2、壓力，進(jìn)氣及出氣靜壓、風(fēng)機(jī)靜壓、全壓、升壓； 3、氣體介質(zhì)，包含溫度、濕度、密度、含塵量以及氣體的組分等； 4、轉(zhuǎn)速；江蘇三室蓄熱式焚燒爐設(shè)備廠家我公司的控制系統(tǒng)一般采用西門(mén)子的PLC可編程控制。??！
就化工企業(yè)產(chǎn)生的廢氣而言，大部分不具備回收利用的價(jià)值。RTO蓄熱式焚燒爐設(shè)備是一種適合化工企業(yè)的廢氣處理方法。RTO蓄熱式焚燒爐設(shè)備的廢氣處理方法是將有機(jī)廢氣焚燒成二氧化碳和水，不會(huì)造成二次污染。廢氣燃燒過(guò)程中產(chǎn)生的高溫?zé)崮芤部梢杂行Щ厥?，不?huì)造成過(guò)多的經(jīng)濟(jì)成本。 與傳統(tǒng)的催化燃燒和直接燃燒熱氧化爐(TO)相比，RTO蓄熱式焚燒爐具有熱效率高(95%)、運(yùn)行成本低、大風(fēng)量處理中低濃度有機(jī)廢氣等特點(diǎn)。濃度稍高時(shí)，可進(jìn)行二次余熱回收降低了生產(chǎn)運(yùn)行成本。
將可燃?xì)怏w檢測(cè)儀的分析信號(hào)、壓力信號(hào)接入蓄熱式焚燒爐RTO的編程控制系統(tǒng)，正常投加相關(guān)邏輯，各程序具備控制閥的程控電氣、氣體信號(hào)，可燃?xì)怏w濃度，用空氣強(qiáng)制稀釋或直接排放； 調(diào)整各參數(shù)的設(shè)定，使RTO處于自動(dòng)運(yùn)行狀態(tài)。 制定符合企業(yè)實(shí)際生產(chǎn)情況的安全操作規(guī)程和運(yùn)行管理制度，培訓(xùn)員工進(jìn)行開(kāi)、停及緊急狀態(tài)的操作 做好檢查記錄，地線、道岔、斷路器、酸(堿)處理單元、RTO公用工程等的檢查、維護(hù)； 同時(shí)統(tǒng)一管理生產(chǎn)中的工作，避免各廠(工段)同時(shí)投料、同時(shí)蒸)精餾，含有機(jī)物廢氣集中排放，盡量保持廢氣濃度、氣量相對(duì)穩(wěn)定； 定期檢查(標(biāo)準(zhǔn))各傳感器，如溫度、壓力、液位、pH計(jì)、可燃?xì)怏w檢測(cè)器等，確保RTO運(yùn)行處于程序控制狀態(tài)。 目前，由于RTO系統(tǒng)在運(yùn)行使用中設(shè)計(jì)基礎(chǔ)資料不完整，設(shè)計(jì)本身存在缺陷，程序控制主要集中在RTO主機(jī)上，不含可燃?xì)怏w檢測(cè)信號(hào)； 也有操作失誤導(dǎo)致的火災(zāi)、爆燃等安全問(wèn)題。 企業(yè)和RTO供應(yīng)商在設(shè)計(jì)初期應(yīng)做好基礎(chǔ)資料的收集、確認(rèn)、利用，提高RTO本身的安全設(shè)計(jì)水平，同時(shí)企業(yè)應(yīng)加強(qiáng)對(duì)RTO的操作、維護(hù)、管理，及時(shí)消除風(fēng)險(xiǎn)，確保安全！通過(guò)將廢氣中的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)，蓄熱式焚燒爐實(shí)現(xiàn)了廢物的資源化利用。
頻繁發(fā)生的可燃?xì)怏w安全事故使人們不得不重視安裝可燃?xì)怏w報(bào)警器的必要性。氣體報(bào)警器可以檢測(cè)氣體濃度，安裝在氣體泄漏的地方。當(dāng)空氣中的氣體濃度超過(guò)設(shè)定值時(shí)，探測(cè)器會(huì)觸發(fā)報(bào)警，啟動(dòng)聯(lián)動(dòng)裝置，通風(fēng)或關(guān)閉氣源，消除危險(xiǎn)情況，很大程度上避免了火災(zāi)、易爆、窒息、死亡等惡性事故的發(fā)生。 蓄熱式焚燒爐使用的可燃?xì)怏w在線監(jiān)測(cè)LEL具有響應(yīng)時(shí)間快、測(cè)量精度高使用壽命長(zhǎng)、維護(hù)簡(jiǎn)單等特點(diǎn)。RTO可燃?xì)怏wLEL在線監(jiān)測(cè)用于測(cè)量易燃易爆氣體，如苯系物、醇類(lèi)、各種碳?xì)浠衔锛捌溲苌铩７乐箙^(qū)域內(nèi)高濃度氣體的產(chǎn)生導(dǎo)致燃爆，避免超標(biāo)排放導(dǎo)致環(huán)保和安全監(jiān)管違規(guī)。 RTO可燃?xì)怏w在線監(jiān)測(cè)LEL適用于石油化工行業(yè)可燃?xì)怏w的在線監(jiān)測(cè)?；诩t外線IR檢測(cè)原理，是符合現(xiàn)行國(guó)內(nèi)及通用法規(guī)，符合相關(guān)計(jì)量、環(huán)保法規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。374883 RTO燃燒器的調(diào)節(jié)比達(dá)到1:20，實(shí)時(shí)且準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)溫度。廣東蓄熱式焚燒爐系統(tǒng)
我公司可以生產(chǎn)市面上所有的廢氣熱氧化裝置。?。。?！安徽蓄熱式焚燒爐系統(tǒng)
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