日本在SEM上增加了二次電子的發(fā)射裝置，可以測測到20～40nm，我國華中理工大學(xué)和哈工大先后用AFM成功地對刃口圓弧半徑進(jìn)行檢測。檢測技術(shù)的突破為進(jìn)一步探索微量切削機(jī)理創(chuàng)造了條件。硬脆材料的加工一般均采用研磨等方法，日本采用金剛石砂輪，控制切削深度和走刀量，在鋁合金精密加工磨床上，可以進(jìn)行延性方式磨削，即使在玻璃的表面也可以獲得光學(xué)鏡面。這在技術(shù)上是一次很大的突破。我國吉林工業(yè)大學(xué)成功地將超聲波技術(shù)與金剛石切削結(jié)合，。砂輪采用金屬結(jié)合劑，而為了提高砂輪的壽命，日本采用了鑄鐵結(jié)合劑，使砂輪的壽命明顯提高。日本研發(fā)出砂輪的在線電解修整(ELID)技術(shù)，拓寬了超精密加工技術(shù)應(yīng)用范圍，并在鏡面加工方面取得了成效。從天然金剛石到人造金剛石，從超硬金剛石薄膜到厚膜的形成，逐漸為在超精密制造技術(shù)方面采用金剛石工具創(chuàng)造了有利條件。為了進(jìn)一步拓寬金剛石應(yīng)用領(lǐng)域，金剛石切削工藝進(jìn)行了大量的研究。在深冷切削、富碳大氣中的切削等方面都先后取得一些成果。行業(yè)相關(guān)技術(shù)人員致力于研究鋁合金精密零件微量切削的機(jī)理，但難以直接對切削點(diǎn)觀察。因此有學(xué)者提出將切削裝置小型化，放置于SEM的鏡頭下進(jìn)行切削并觀察。精密零件加工cnc數(shù)控車床找源華興。東莞全自動精密零件加工零件圖

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