QuantumX新型超高速無掩模光刻技術的重要部分是Nanoscribe獨有專項的雙光子灰度光刻技術（2GL®）。該技術將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結合，使其同時具備高速打印，完全設計自由度和超高精度的特點。從而滿足了高級復雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設計迭代，打印樣品結構既可以用作技術驗證原型，也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具。Nanoscribe雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)技術要點在于：這項技術的關鍵是在高速掃描下使激光功率調制和動態(tài)聚焦定位達到精細同步，這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小，并在不影響速度的情況下，使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性*結合，使其同時具備高速打印，完全設計自由度和超高精度的特點Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司為您介紹Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)。廣東2PP灰度光刻

Nanoscribe是卡爾斯魯厄理工學院（KIT）的子公司，開發(fā)并提供用于納米、微米和中尺度的3D打印機以及光敏材料和工藝解決方案。其口號是：“我們讓小物件變得重要”，公司創(chuàng)始人開發(fā)出一種技術，對智能手機、手持設備和醫(yī)療技術領域至關重要的3D打印產(chǎn)品。通過基于雙光子聚合（2PP）的3D打印機投入市場，他們已經(jīng)為全球的大學和新興行業(yè)提供了新的解決方案，致力于3D微打印生命科學研究以及納米級3D打印光學，甚至利用他們的技術來開發(fā)創(chuàng)新的設備，例如用于類固醇洗脫的3D微支架人工耳蝸。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說法，“Beers定律對當今的無掩模光刻設備施加了強大的限制，QuantumX采用雙光子灰度光刻技術，克服了這些限制，提供了前所未有的設計自由度和易用性，我們的客戶正在微加工的前沿工作。“納米標記系統(tǒng)基于雙光子吸收，這是一種分子被激發(fā)到更高能態(tài)的過程。為了使用雙光子工藝制造3D物體，使用含有單體和雙光子活性光引發(fā)劑的凝膠作為原料。將激光照射到光敏材料上以形成納米尺寸的3D打印物體，其中吸收的光的強度非常高。浙江Nanoscribe灰度光刻制備各種復雜的微納米結構，滿足不同應用領域的需求。

微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似，但是原理不同，我們常見的微納3D打印技術是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術，利用該技術我們理論上可以獲得任意想要的結構，不光是微透鏡陣列結構（如下圖5所示），該方法的優(yōu)勢是可以完全按照設計獲得想要的結構，對于雙光子聚合的微結構，我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具，但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結構可以直接進行后續(xù)的復制工作，并通過納米壓印技術進行復制。灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版（掩膜接觸式光刻）或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區(qū)域完全曝透，而某些區(qū)域光刻膠部分曝光，從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結構（如下圖4所示，八邊金字塔結構）。微透鏡陣列也是類似，可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態(tài)。

這款灰度光刻設備還具備智能化的特點。它配備了先進的自動化控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)自動調節(jié)和監(jiān)控，減少了人工操作的需求，提高了生產(chǎn)線的穩(wěn)定性和可靠性。同時，設備還具備故障自診斷和遠程監(jiān)控功能，及時發(fā)現(xiàn)和解決問題，減少了生產(chǎn)線的停機時間，提高了生產(chǎn)效率。這款設備還具備良好的適應性和可擴展性。它可以適應不同材料和工藝的加工需求，為我們的生產(chǎn)線提供了更大的靈活性。同時，設備還支持模塊化設計，可以根據(jù)需要進行擴展和升級，滿足我們未來的生產(chǎn)需求。這款全新的灰度光刻設備為我們的生產(chǎn)線帶來了巨大的改變。它的精度、穩(wěn)定性和高效性使我們能夠更好地滿足客戶的需求，提高產(chǎn)品質量和生產(chǎn)效率。我們相信，有了這款設備的加入，我們的公司將迎來更加美好的未來。更多灰度光刻知識，歡迎咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。

納米紋理在納米技術中起著越來越重要的作用。近期的研究表明，可以通過空間調節(jié)其納米級像素的高度來進一步增強其功能。但是，實現(xiàn)該概念非常具有挑戰(zhàn)性，因為它需要對納米像素進行“灰度”打印，其中，納米像素高度的精度需要控制在幾納米之內。只有少數(shù)幾種方法（例如，灰度光刻或掃描束光刻）可以滿足這種嚴格的要求，但通常其成本較高，并且它們中的大多數(shù)需要化學開發(fā)過程。因此，具有高垂直和水平分辨率的可重構灰度納米像素打印技術受到高度追捧。雙光子灰度光刻敬請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。湖北灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

灰度光刻技術具有高精度、高效率的特點。廣東2PP灰度光刻

Nanoscribe的QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學元件所需的橫向和縱向高分辨率要求?；陔p光子灰度光刻技術(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實現(xiàn)一氣呵成的制作，即一步打印多級衍射光學元件，并以經(jīng)濟高效的方法將多達4,096層的設計加工成離散的或準連續(xù)的拓撲。作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng)，QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學質量表面的高精度微納光學聚合物母版，可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序，例如注塑，熱壓花和納米壓印等加工流程，從而拓展微納加工工業(yè)領域的應用。2GL與這些批量生產(chǎn)流水線工業(yè)程序的結合得益于新技術的亞微米分辨率和靈活性的特點，同時縮短創(chuàng)新微納光學器件（如衍射和折射光學器件）的整體制造時間。廣東2PP灰度光刻