研究表明采用軟件補(bǔ)償?shù)姆椒梢暂^大地提高直線電機(jī)進(jìn)給的定位精度。2直線電機(jī)進(jìn)給定位精度測試方法直線電機(jī)進(jìn)給產(chǎn)生定位精度誤差因素很復(fù)雜，主要因素有：（1）光柵尺的制造及安裝誤差，光柵尺的運(yùn)動(dòng)部分及固定部分分別安裝在進(jìn)給單元的動(dòng)子及定子底板上，產(chǎn)生一定的線性誤差在所難免；（2）直線電機(jī)存在的邊端效應(yīng)使進(jìn)給單元兩端的力特性發(fā)生變化，影響進(jìn)給平臺(tái)制動(dòng)，從而產(chǎn)生定位精度誤差；（3）環(huán)境對(duì)定位精度誤差產(chǎn)生的隨機(jī)誤差，由于沒有采用隔震地基，周邊環(huán)境的隨機(jī)振動(dòng)都會(huì)傳遞到進(jìn)給單元及激光干涉儀，從而產(chǎn)生誤差。直線電機(jī)進(jìn)給定位精度測試采用英國雷尼紹公司的ML10激光干涉儀測試。ML10激光干涉儀是為機(jī)床檢定提供了一種高精度標(biāo)準(zhǔn),它準(zhǔn)確度高,測量范圍大(線性測長40m,任選80m),測量速度快(60m/min),分辨力高(μm),便攜性好。更由于雷尼紹激光干涉儀具備自動(dòng)線性誤差補(bǔ)償功能,可方便恢復(fù)機(jī)床精度。測試方法如下：1.安裝雙頻激光干涉儀測量系統(tǒng)各組件(見圖1)。2.在需測量的直線電機(jī)進(jìn)給坐標(biāo)軸線方向安裝光學(xué)測量裝置。3.調(diào)整激光頭,使測量軸線與直線電機(jī)移動(dòng)的軸線在一條直線上(或平行),即將光路調(diào)準(zhǔn)直。4.待激光預(yù)熱后輸入測量參數(shù)。該圖直線電機(jī)明確顯示動(dòng)子（forcer,rotor)的內(nèi)部繞組.磁鉄和磁軌.動(dòng)子是用環(huán)氧材料把線圈壓成的。天門直線電機(jī)參數(shù)

直線電機(jī)可以認(rèn)為是旋轉(zhuǎn)電機(jī)在結(jié)構(gòu)方面的一種變形，它可以看作是一臺(tái)旋轉(zhuǎn)電機(jī)沿其徑向剖開，然后拉平演變而成。隨著自動(dòng)控制技術(shù)和微型計(jì)算機(jī)的高速發(fā)展，對(duì)各類自動(dòng)控制系統(tǒng)的定位精度提出了更高的要求，在這種情況下，傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)再加上一套變換機(jī)構(gòu)組成的直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，已經(jīng)遠(yuǎn)不能滿足現(xiàn)代控制系統(tǒng)的要求，為此，世界許多國家都在研究、發(fā)展和應(yīng)用直線電機(jī)，使得直線電機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣。直線電機(jī)主要應(yīng)用于三個(gè)方面：一是應(yīng)用于自動(dòng)控制系統(tǒng)，這類應(yīng)用場合比較多；其次是作為長期連續(xù)運(yùn)行的驅(qū)動(dòng)電機(jī)；三是應(yīng)用在需要短時(shí)間、短距離內(nèi)提供巨大的直線運(yùn)動(dòng)能的裝置中。衢州高精度直線電機(jī)選型直線電機(jī)選擇規(guī)格主要是對(duì)于推力的選擇，通常情況下有軟件作為輔助工具。

直線電機(jī)在機(jī)床進(jìn)給伺服系統(tǒng)中的應(yīng)用，近幾年來已在世界機(jī)床行業(yè)得到重視。在機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng)中，采用直線電動(dòng)機(jī)直接驅(qū)動(dòng)與原旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)傳動(dòng)的**大區(qū)別是取消了從電動(dòng)機(jī)到工作臺(tái)（拖板）之間的一切機(jī)械中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)，把機(jī)床進(jìn)給傳動(dòng)鏈的長度縮短為零。直線電機(jī)在機(jī)床進(jìn)給伺服系統(tǒng)中的應(yīng)用，近幾年來已在世界機(jī)床行業(yè)得到重視。在機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng)中，采用直線電動(dòng)機(jī)直接驅(qū)動(dòng)與原旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)傳動(dòng)的**大區(qū)別是取消了從電動(dòng)機(jī)到工作臺(tái)（拖板）之間的一切機(jī)械中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)，把機(jī)床進(jìn)給傳動(dòng)鏈的長度縮短為零。這種傳動(dòng)方式被稱為“零傳動(dòng)”。正由于這種“零傳動(dòng)”方式，帶來了原旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)方式無法達(dá)到的性能指標(biāo)和一定優(yōu)點(diǎn)。提高直線電機(jī)進(jìn)給系統(tǒng)的定位精度是實(shí)現(xiàn)其在數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的關(guān)鍵之一。因而,對(duì)直線電機(jī)進(jìn)給定位誤差進(jìn)行測試和補(bǔ)償是至關(guān)重要的。雙頻激光干涉儀是國際機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定使用的檢測驗(yàn)收數(shù)控機(jī)床定位精度的測量設(shè)備[3]。本文介紹了應(yīng)用雙頻激光干涉儀測試數(shù)控直線電機(jī)進(jìn)給的定位誤差方法。并利用**小二乘法分別建立定位誤差的線性模型、分段線性模型、多項(xiàng)式模型，并對(duì)數(shù)控直線電機(jī)進(jìn)給的定位誤差進(jìn)行補(bǔ)償。

1.在工業(yè)與自動(dòng)化中的應(yīng)用由于直線電機(jī)有其自身獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，因此在機(jī)械設(shè)備和機(jī)床中的機(jī)電一體化方面得到廣泛應(yīng)用，如直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的沖床，電磁錘、螺旋壓力機(jī)、電磁打箔機(jī)、壓鑄機(jī)和型材軋制牽引機(jī)等。在機(jī)械加工機(jī)床中用于往復(fù)運(yùn)動(dòng)的動(dòng)力源—直線電磁驅(qū)動(dòng)裝置在車銑、刨、磨、插、鋸、拉等機(jī)床中得到應(yīng)用，替代傳統(tǒng)機(jī)械傳動(dòng)裝置。在激光機(jī)械、半導(dǎo)體制造設(shè)備上也應(yīng)用了直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的X-Y工作臺(tái)。以及用于組合機(jī)床自動(dòng)化生產(chǎn)機(jī)床間直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳送線，用于浮法玻璃生產(chǎn)線上的熔融金屬攪拌器。用于電網(wǎng)中的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)真空斷路器，用于選礦的直線電機(jī)鐵磁分離器。用于冶金工業(yè)中的電磁泵、液態(tài)金屬攪拌器。用于紡織工業(yè)中的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的電梭子、割麻裝置以及各種自動(dòng)化儀表和電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)。相同的電磁力在旋轉(zhuǎn)電機(jī)上產(chǎn)生力矩在直線電機(jī)產(chǎn)生直線推力作用。

按規(guī)定的測量程序運(yùn)動(dòng)直線電機(jī)進(jìn)行測量。數(shù)據(jù)處理及結(jié)果輸出——在試驗(yàn)中，由于直線電機(jī)采用的位置傳感器為光柵尺，其分辨率為1μm，較高采樣速度為1m/s。為了讀數(shù)精確與穩(wěn)定，激光干涉儀的精度設(shè)置為（高可達(dá)1nm），測試現(xiàn)場如圖3所示。測試現(xiàn)場環(huán)境條件如下：大氣壓力：室溫：?C；相對(duì)濕度?；直線電機(jī)溫度：?C。為了客觀反映直線電機(jī)進(jìn)給的定位精度，在不同速率、加（減）速度、位置條件下，進(jìn)行相應(yīng)的定位精度測試與分析。在200mm行程范圍內(nèi)、不同速度及加速度的工況下，對(duì)進(jìn)給單元的定位精度進(jìn)行檢測，進(jìn)給步長為10mm，檢測結(jié)果如圖2所示。3直線電機(jī)定位誤差模型建立和軟件補(bǔ)償從圖2中可以發(fā)現(xiàn)：（1）定位精度隨位移的增加而增加，在不同的位置段，積累誤差的增長速率不同；（2）在不同的情況下，定位精度具有很好的一致性，說明速度、加速度的變化對(duì)定位精度的影響不大。針對(duì)定位精度的分布情況（圖2），為了研究各種擬合方法的效果，利用小二乘法對(duì)圖1定位精度的平均值采用線性、分段線性及三次樣條擬合的方法來減小定位精度誤差。相對(duì)于線性及分段線性擬合，三次樣條擬合既保留了分段低次插值的各種優(yōu)點(diǎn)，又提高了插值函數(shù)的光滑性。直線電機(jī)可以實(shí)現(xiàn)無接觸傳遞力，機(jī)械摩擦損耗幾乎為零，所以故障少，免維修，因而工作安全可靠、壽命長。湘西直線電機(jī)選型

對(duì)直線電機(jī)控制技術(shù)的研究基本上可以分為三個(gè)方面。天門直線電機(jī)參數(shù)

在好用的和價(jià)格實(shí)惠的直線電機(jī)出現(xiàn)之前，全部直線運(yùn)動(dòng)才不得不從旋轉(zhuǎn)機(jī)器根據(jù)采用滾珠或滾柱絲杠或帶或滑輪轉(zhuǎn)換成而來。對(duì)許多使用，如碰到大負(fù)荷并且驅(qū)動(dòng)軸是豎直面的。這類方式依然是**合適的。但是，直線電機(jī)比機(jī)械系統(tǒng)有許多與眾不同的優(yōu)點(diǎn)，如特別高速和特別慢速，高加速度，基本上零維護(hù)保養(yǎng)（無接觸零部件），高精密，無空回。進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)只需電機(jī)不用齒輪，聯(lián)軸器或滑輪，對(duì)許多使用而言很具有意義的，把這些很多不必要的，降低特性和減短機(jī)器壽命的零部件去掉了。構(gòu)造簡易。管型直線電機(jī)不用通過中間轉(zhuǎn)換成結(jié)構(gòu)而可以直接產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)，使構(gòu)造**簡化，運(yùn)動(dòng)慣量降低，動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性和精確定位進(jìn)一步提高；另外也提高了可靠性，節(jié)省了成本費(fèi)，使生產(chǎn)制造和維護(hù)保養(yǎng)更為簡單。它的***級(jí)能夠可以直接變成結(jié)構(gòu)的一部分，這類與眾不同的結(jié)合可使這類優(yōu)點(diǎn)深化體現(xiàn)出來。合適高速直線運(yùn)動(dòng)。因?yàn)椴粫?huì)有離心力的約束條件，一般材料亦能夠做到較高的速度。并且假如初、次級(jí)間用氣墊或磁墊保留間隙，運(yùn)動(dòng)時(shí)無機(jī)器接觸，因此運(yùn)動(dòng)部分也就無磨擦和噪音。那樣，傳動(dòng)零部件沒有磨損，可**的減少機(jī)器耗損，防止拖纜、鋼索、齒輪與皮帶輪等所引起的噪音，因此提升整體效率。天門直線電機(jī)參數(shù)

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