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半導體探測器是60年代以來迅速發(fā)展起來的一種新型的射線探測器。它經(jīng)常被應用于各個領域,不同類型的半導體探測器在不同的方面都有其自身的特點。按形成半導體探測器PN結的方法,可將其分為兩種:離子注入型和表面位壘型。離子注入半導體探測器在我國尚未被普遍使用,其輻射劑量特性正在開發(fā)當中,因而有很大的研究空間。鈍化離子注入平面硅(Pas-sivatedImplantedPlanarSilian,簡稱PIPS)探測器,是半導體鈍化離子注入的新工藝產(chǎn)品。便宜alpha譜儀排名靠前