潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清理。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%凈化工程施工有哪些要求?歡迎您咨詢無(wú)錫梓晶凈化工程有限公司。甘肅綠色凈化工程使用行業(yè)
潔凈室的凈化工程調(diào)試的組織準(zhǔn)備:成立以建設(shè)單位(業(yè)主)為組長(zhǎng)的有設(shè)計(jì)單位、施工單位、監(jiān)理單位人員參加的調(diào)試小組。調(diào)試小組領(lǐng)導(dǎo)調(diào)試的工作,調(diào)試小組協(xié)調(diào)各方面的關(guān)系,調(diào)試小組為調(diào)試工作提供各種軟硬條件。在調(diào)試小組領(lǐng)導(dǎo)和組織下,編制調(diào)試大綱。調(diào)試大綱是調(diào)試工作的指導(dǎo)性文件。調(diào)試大綱的內(nèi)容包括:組織分工、物資調(diào)動(dòng);調(diào)試項(xiàng)目、調(diào)試方法、調(diào)試儀表;調(diào)試程序、調(diào)試進(jìn)度、調(diào)試計(jì)劃安排等。調(diào)試大綱的編制使調(diào)試人員思想明確、認(rèn)識(shí)統(tǒng)一、步調(diào)一致、行動(dòng)整齊,使調(diào)試工作順利進(jìn)行。廣東品牌凈化工程價(jià)格風(fēng)淋室如何施工,歡迎您咨詢無(wú)錫梓晶凈化工程有限公司。
單向流和層流的名稱均說(shuō)明了其氣流的狀況:氣流以一個(gè)方向流動(dòng)(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過(guò)整個(gè)空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)母咝н^(guò)濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個(gè)空氣活塞,向向下的方向流經(jīng)室內(nèi),帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環(huán)至高效過(guò)濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清理掉,而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。凈化工程哪里便宜?歡迎您咨詢無(wú)錫梓晶凈化工程有限公司。
凈化工程分類:亂流式(TurbulentFlow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再啟動(dòng),欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。環(huán)氧地坪價(jià),歡迎您咨詢無(wú)錫梓晶凈化工程有限公司。中國(guó)香港實(shí)驗(yàn)室凈化工程怎么收費(fèi)
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