此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清理。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定：對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。凈化工程通常包含多個(gè)步驟，從污染源識(shí)別、污染物質(zhì)分析。福建定制凈化工程分類

醫(yī)院應(yīng)用潔凈環(huán)境的潔凈手術(shù)室，是用空氣潔凈技術(shù)取代傳統(tǒng)的紫外線等手段對(duì)全過(guò)程實(shí)行污染控制的現(xiàn)代手術(shù)室。在潔凈手術(shù)室內(nèi)，患者率可降低10倍以上，從而可以少用或不用會(huì)傷害患者免疫系統(tǒng)的。既要無(wú)塵又要無(wú)菌是潔凈手術(shù)室的特點(diǎn)。醫(yī)院潔凈室包括手術(shù)室、產(chǎn)科、嬰幼兒病房、ICU(重癥監(jiān)護(hù)室)、燒傷病房及解剖室、凈化實(shí)驗(yàn)室、人工透析室、標(biāo)本室等，其工程質(zhì)量與醫(yī)療質(zhì)量有著直接而重要的關(guān)系。如對(duì)某醫(yī)院潔凈室做含塵濃度檢測(cè)時(shí)，突然發(fā)現(xiàn)塵濃普遍急劇上升，超標(biāo)嚴(yán)重。工程人員首先想到的是過(guò)濾器風(fēng)口漏，經(jīng)檢查，雖然發(fā)現(xiàn)確實(shí)有漏，但和檢測(cè)出的塵濃數(shù)量不相當(dāng)。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)判斷，這是新風(fēng)口設(shè)計(jì)不當(dāng)，由于設(shè)在5層樓頂上向下的新風(fēng)口，其下方正好有一垃圾站，而該垃圾站有定期燒垃圾的習(xí)慣，大量濃塵正是來(lái)自新風(fēng)口下方冒出的濃煙。江西凈化工程定做價(jià)格功能則體現(xiàn)在對(duì)空氣、水質(zhì)等環(huán)境因素的持續(xù)監(jiān)測(cè)與調(diào)控。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向地面。對(duì)要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場(chǎng)合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說(shuō)明了其氣流的狀況：氣流以一個(gè)方向流動(dòng)（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過(guò)整個(gè)空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)母咝н^(guò)濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個(gè)空氣活塞，向向下的方向流經(jīng)室內(nèi)，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環(huán)至高效過(guò)濾器！降低生產(chǎn)過(guò)程中的污染風(fēng)險(xiǎn)，從而提高企業(yè)的綜合效益。

潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為較適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。可以根據(jù)企業(yè)的實(shí)際需求進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化。中國(guó)臺(tái)灣電子廠凈化工程分類

能夠?yàn)榭蛻籼峁┒鄻踊膬艋こ踢x擇，并根據(jù)客戶的具體情況制定合適的方案。福建定制凈化工程分類

潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過(guò)25度。福建定制凈化工程分類