光刻系統(tǒng)200包括照射系統(tǒng)230。照射系統(tǒng)230包括光源205，光源205產(chǎn)生脈沖光束210，并將脈沖光束210引導(dǎo)至對(duì)晶片220上的微電子特征進(jìn)行圖案化的光刻曝光設(shè)備或掃描儀215。晶片220放置在晶片臺(tái)222上，晶片臺(tái)222構(gòu)造成保持晶片220并連接到定位器，該定位器配置成根據(jù)某些參數(shù)準(zhǔn)確地定位晶片220。光束210也被引導(dǎo)通過(guò)束準(zhǔn)備系統(tǒng)212，束準(zhǔn)備系統(tǒng)212能夠包括修改光束210的多個(gè)方面的光學(xué)元件。例如，束準(zhǔn)備系統(tǒng)212能夠包括反射或折射光學(xué)元件、光脈沖展寬器和光學(xué)光闌(包括自動(dòng)遮蔽件)。光譜特征選擇系統(tǒng)250基于控制系統(tǒng)185的輸入來(lái)微調(diào)光源205的光譜輸出。光刻系統(tǒng)200使用具有例如在深紫外線(duv)范圍或極紫外線(euv)范圍內(nèi)的波長(zhǎng)的光束210。光刻系統(tǒng)100還包括測(cè)量(或量測(cè))系統(tǒng)270和控制系統(tǒng)185。量測(cè)系統(tǒng)270測(cè)量光束的一個(gè)或更多個(gè)光譜特征(諸如帶寬和/或波長(zhǎng))。量測(cè)系統(tǒng)270推薦地包括多個(gè)傳感器。量測(cè)系統(tǒng)270接收被從束分離裝置260改變方向的光束210的一部分，所述束分離裝置260放置在光源205和掃描儀215之間的路徑中。束分離裝置260將光束210的***部分引導(dǎo)至量測(cè)系統(tǒng)270中，將光束210的第二部分朝向掃描儀215引導(dǎo)。在一些實(shí)施方式中。無(wú)線充線圈的尺寸和匝數(shù)可以根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景和設(shè)備需求進(jìn)行調(diào)整，以滿足各種設(shè)備的充電需求。蘇州大功率線圈電話

即相鄰銅線間的間隙)更均勻，此外采用螺旋線加工的方式熱量累積少、效率更高。采用本發(fā)明的方法，可加工出縫寬精度為。進(jìn)一步地，為了防止加工完成的充電線圈受力變形，導(dǎo)致線圈部分地方相連而影響充電效率，可以在加工過(guò)程中，采用治具對(duì)銅箔/充電線圈進(jìn)行固定。具體的，可以在治具上設(shè)置若干通向治具的上表面(銅箔的承載面)的吸附孔，通過(guò)對(duì)吸附孔抽氣實(shí)現(xiàn)對(duì)銅箔/充電線圈的固定。還可以在治具的上表面上設(shè)置螺旋線槽，螺旋線槽正對(duì)螺旋切割線2，較佳的是，螺旋線槽的寬度略大于螺旋切割線的線寬，例如，螺旋線槽的寬度為(d+)mm，其中，d為螺旋切割線的線寬?；谏鲜鰧?shí)施方式，一種更為詳細(xì)的充電線圈加工方法包括如下步驟：(1)導(dǎo)入螺旋切割線圖檔至精密激光標(biāo)記設(shè)備中，并且將激光的螺旋線行進(jìn)軌跡設(shè)置為螺旋圓，螺旋圓直徑為d+，其中“d”為線圈縫寬，可以確保減少毛刺。對(duì)精密激光標(biāo)記設(shè)備的加工參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，具體設(shè)置如下：表1精密激光標(biāo)記設(shè)備的加工參數(shù)設(shè)置實(shí)例(2)將治具安裝在加工平臺(tái)上，然后將沖壓好的銅箔放置于治具上，打開(kāi)吸附裝置，使治具的吸附孔將銅箔吸附固定。(3)開(kāi)啟激光設(shè)備，調(diào)整激光焦距到合適位置，并進(jìn)行激光切割。其中。立繞線圈電話鋁線圈可以用于制作各種電子設(shè)備，如電動(dòng)機(jī)、發(fā)電機(jī)、變壓器等。

    所述線圈具有實(shí)質(zhì)上平坦的***表面和實(shí)質(zhì)上平坦的第二表面；和從所述實(shí)質(zhì)上平坦的***表面的至少一部分去除所述電絕緣材料。9.根據(jù)方面8所述的方法，其中，至少部分通過(guò)機(jī)加工執(zhí)行所述去除步驟。10.根據(jù)方面8所述的方法，其中，至少部分通過(guò)單點(diǎn)飛切執(zhí)行所述去除步驟。11.根據(jù)方面8所述的方法，其中，至少部分通過(guò)銑削執(zhí)行所述去除步驟。12.根據(jù)方面8所述的方法，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：去除所述導(dǎo)體中的一些部分以調(diào)節(jié)所述線圈的電學(xué)屬性。13.根據(jù)方面10所述的方法，其中，所述電學(xué)屬性是電阻。14.根據(jù)方面8所述的方法，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：測(cè)量所述線圈的電阻。15.根據(jù)方面8所述的方法，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：測(cè)量所述線圈的q因子。16.一種制造線圈的方法，包括以下步驟：提供導(dǎo)電材料的片材；用電絕緣材料的層覆蓋所述片材的至少一面；卷繞所述片材和層以形成卷；和橫向于所述卷的長(zhǎng)度切割所述卷以形成線圈。以上描述包括多個(gè)實(shí)施例的示例。當(dāng)然，為了描述前述實(shí)施例的目的，不可能描述部件或方法的每種可設(shè)想的組合，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以認(rèn)識(shí)到，各種實(shí)施例的許多進(jìn)一步的組合和置換是可能的。因此。

    無(wú)線充電器是指利用電磁波感應(yīng)原理進(jìn)行充電的設(shè)備，原理類似于變壓器。在發(fā)送和接收端各有一個(gè)線圈，發(fā)送端線圈連接有線電源產(chǎn)生電磁信號(hào)，接收端線圈感應(yīng)發(fā)送端的電磁信號(hào)從而產(chǎn)生電流給電池充電。無(wú)線充電體系首要選用電磁感應(yīng)原理，通過(guò)線圈連續(xù)能量耦合完畢能量的傳送。體系功課時(shí)輸入端將溝通市電經(jīng)全橋整流電路變換成直流電，或用24V直流電端直接為體系供電。無(wú)線充電器線圈通過(guò)電源辦理模塊后輸出的直流電通過(guò)2M有源晶振逆變變換成高頻溝通電供應(yīng)低級(jí)繞組。通過(guò)2個(gè)電感線圈耦合能量，次級(jí)線圈輸出的電流經(jīng)接受變換電路變化成直流電為電池充電。無(wú)線充電器線圈有源晶振輸出的方波，通過(guò)二階低通濾波器濾除高次諧波，得到安穩(wěn)的正弦波輸出，經(jīng)三極管13003及其外圍電路構(gòu)成的丙類擴(kuò)展電路后輸出至線圈與電容構(gòu)成的并聯(lián)諧振回路輻射進(jìn)來(lái)。為接收部門(mén)供應(yīng)能量。測(cè)得與電容構(gòu)成的并聯(lián)諧振回路的空芯耦合線圈的線徑為mm，直徑為7cm，電感為47uH，載波頻率為2MHz。依據(jù)并聯(lián)諧振公式得匹配電容C約為140pF。因此。發(fā)射部門(mén)選用2MHz有源晶振發(fā)生與諧振頻率接近的動(dòng)力載波頻率。高頻變壓器是功課頻率超越中頻（10kHz）的電源變壓器。主要用于高頻開(kāi)關(guān)電源中作高頻開(kāi)關(guān)電源變壓器。立繞線圈在電子設(shè)備中具有廣泛的應(yīng)用，它可以作為電感器、變壓器、濾波器等組件使用。

然后在銅線圈層兩面分別制備***絕緣層和第二絕緣層，**后在銅線圈層的內(nèi)焊盤(pán)上焊接導(dǎo)電銅膠帶即引出導(dǎo)線，從而可得到無(wú)線充電線圈。該制備方法**終得到的無(wú)線充電線圈結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，只需一層線圈結(jié)構(gòu)就可以達(dá)到實(shí)際需求的內(nèi)阻值，從而達(dá)到提高充電效率的效果。利用本發(fā)明實(shí)施例的制備方法**終得到的無(wú)線充電線圈總厚度約120μm，且內(nèi)阻在250mω(mohm)以下，對(duì)應(yīng)的充電效率>75％。該制備方法得到的無(wú)線充電線圈在尺寸更小(厚度和線間距)的情況下，能達(dá)到相同的電阻值，而且生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單，成本低，周期短，無(wú)排放污染，廢料雜質(zhì)少，可回收。如圖1所示，為本實(shí)施例的無(wú)線充電線圈的制備方法的步驟中各層的變化流程示意圖，下面對(duì)各步驟進(jìn)行詳細(xì)介紹。在步驟s01中，提供的銅箔01如圖1(a)所示，銅箔的電阻率一般在μω·cm，是目前電阻率**低的廉價(jià)金屬材料，經(jīng)過(guò)我們實(shí)驗(yàn)測(cè)試電鍍銅的電阻率達(dá)到μω·cm，要達(dá)到相同的電阻，需要電鍍銅比銅箔厚10％～30％，為使本發(fā)明實(shí)施例的無(wú)線充電線圈厚度更低，推薦銅箔?，F(xiàn)有的fpc工藝由于蝕刻工藝限制，需要制作雙層線圈，由于雙層線圈之間需要轉(zhuǎn)孔鍍銅連接，所以fpc有一層鍍銅，這樣增加了fpc工藝的無(wú)線充電線圈的厚度。隨著汽車(chē)技術(shù)的發(fā)展，車(chē)載線圈也在不斷改進(jìn)和創(chuàng)新，以適應(yīng)更高效、節(jié)能、環(huán)保的汽車(chē)電子系統(tǒng)的發(fā)展需求。立繞線圈電話

耐高溫線圈是一種能夠在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作的線圈，它通常由高溫絕緣材料制成，以防止線圈短路和故障。蘇州大功率線圈電話

d為所述螺旋切割線的線寬。進(jìn)一步地，所述采用激光沿著螺旋切割線將銅箔切割成螺旋狀銅線的步驟之前還包括：將所述銅箔固定于治具上。進(jìn)一步地，所述治具上設(shè)置有若干通向所述治具的上表面的吸附孔。進(jìn)一步地，所述治具的上表面上設(shè)有螺旋線槽，所述螺旋線槽正對(duì)所述螺旋切割線。進(jìn)一步地，所述螺旋線槽的寬度大于所述螺旋切割線的線寬。進(jìn)一步地，所述螺旋線槽的寬度為(d+)mm，其中，d為所述螺旋切割線的線寬。進(jìn)一步地，所述激光的參數(shù)為：波長(zhǎng)355nm，功率為40w。一種無(wú)線充電裝置，包括充電線圈，所述充電線圈采用如上所述的方法制作而成。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，有益效果在于：本發(fā)明的充電線圈加工方法中，采用螺旋線行進(jìn)軌跡替代傳統(tǒng)的線條軌跡進(jìn)行激光切割加工，可以保證加工過(guò)程中線圈不同位置的反射性相同，切割出的銅線毛刺相對(duì)較少，線圈縫寬(即相鄰銅線間的間隙)更均勻，此外采用螺旋線加工的方式熱量累積少、效率更高。采用本發(fā)明的方法，可加工出縫寬精度為。附圖說(shuō)明圖1是一種加工完成的螺旋狀銅線的示意圖。圖2是圖1的螺旋狀銅線的局部放大示意圖。圖3是本發(fā)明中激光的一種螺旋線行進(jìn)軌跡示意圖。圖4是本發(fā)明的一種充電線圈加工方法示意圖。蘇州大功率線圈電話