附圖標(biāo)記說明01:工藝盤1:工藝盤轉(zhuǎn)軸2:驅(qū)動襯套210:***襯套部211:驅(qū)動通孔211a:避讓槽220:第二襯套部221:軸通孔222:定位凸起3:驅(qū)動軸310:驅(qū)動連接部320:驅(qū)動軸體部311:定位平面312:圓柱面4:傳動筒41:內(nèi)凸臺結(jié)構(gòu)42:外凸臺結(jié)構(gòu)43:擋環(huán)槽5:密封襯套6:波浪管7:擋環(huán)8:調(diào)平件9:傳動架91:傳動法蘭92:法蘭連接件10:軸承座101:上法蘭102:下法蘭11:升降機(jī)構(gòu)12:電機(jī)13:定位塊具體實施方式以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是,此處所描述的具體實施方式*用于說明和解釋本實用新型,并不用于限制本實用新型。本實用新型的發(fā)明人在實驗中發(fā)現(xiàn),工件在工藝盤上出現(xiàn)擺放位置偏移的問題是工藝盤與相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)傳動組件之間出現(xiàn)滑移導(dǎo)致的。發(fā)明人在進(jìn)行過大量實驗研究后發(fā)現(xiàn),在現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備中,為了實現(xiàn)向工藝盤傳遞扭矩,通常采用圓柱面摩擦傳動的方式帶動,而正是該摩擦傳動方式使得傳動件的摩擦面長時間發(fā)生相對轉(zhuǎn)動,導(dǎo)致配合面發(fā)生摩擦磨損,進(jìn)而影響了對位精度。因此,為解決上述技術(shù)問題,作為本實用新型的***個方面,提供一種半導(dǎo)體設(shè)備中的工藝盤組件,如圖1至3所示,工藝盤組件包括工藝盤01和工藝盤轉(zhuǎn)軸1。材料組合更多,專設(shè)計用于濕制程工具。天津CPVC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工多厚
半導(dǎo)體與電子生產(chǎn)集成電路芯片需要高度專業(yè)化的設(shè)備,可在多重苛刻環(huán)境下工作,如:真空環(huán)境下的等離子,高溫,與高度研磨液接觸,暴露于多種高腐蝕性化學(xué)品,與石英和陶瓷等傳統(tǒng)材料相比,三菱化學(xué)高新材料(MitsubishiChemicalAdvancedMaterialsEPP)已研發(fā)出多種材料,既滿足了晶圓低污染加工的嚴(yán)格要求,又是低成本的解決方案。我們的材料被設(shè)計用于整個晶圓加工制程。您的優(yōu)勢準(zhǔn)確復(fù)制任何地區(qū)可用的材料一般的材料選擇、工程支持和測試能力機(jī)加工能力,支持仿真系統(tǒng)NPI應(yīng)用發(fā)展材料組合一般,專設(shè)計用于濕制程工具CMP環(huán)材料的制造商,包括Techtron®PPS(CMP應(yīng)用)天津環(huán)保半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工規(guī)格尺寸為您的 CNC 銑削部件提供可制造性設(shè)計反饋。
所述第二基準(zhǔn)塊與**基準(zhǔn)塊一體成型;所述**基準(zhǔn)塊的一側(cè)設(shè)置有**基準(zhǔn)面,所述第二基準(zhǔn)塊上設(shè)置有第二基準(zhǔn)面,所述第二基準(zhǔn)面垂直于**基準(zhǔn)面,所述**基準(zhǔn)面和第二基準(zhǔn)面的連接處設(shè)置有與**基準(zhǔn)塊和第二基準(zhǔn)塊連接的圓弧避讓槽;所述**基準(zhǔn)塊和第二基準(zhǔn)塊遠(yuǎn)離圓弧避讓槽的一側(cè)設(shè)置有圓弧基準(zhǔn)臺,所述圓弧基準(zhǔn)臺的圓心位于**基準(zhǔn)面與第二基準(zhǔn)面的連接處。采用此技術(shù)方案,設(shè)置的**基準(zhǔn)面和第二基準(zhǔn)面有助于半導(dǎo)體零件的貼合;設(shè)置的圓弧避讓槽不*有助于抓數(shù)治具的加工,而且有助于半導(dǎo)體零件的貼合;設(shè)置的圓弧基準(zhǔn)臺有助于通過圓弧的切邊抓數(shù)以計算或抓取半導(dǎo)體零件的尺寸以及導(dǎo)角的尺寸。作為推薦,所示抓數(shù)治具還設(shè)置有底座,所示底座上均勻排列有四個或四個以上抓數(shù)治具;四個或四個以上所述的抓數(shù)治具其**基準(zhǔn)面或第二基準(zhǔn)面在同一直線上。采用此技術(shù)方案,以便于批量檢測抓數(shù)。作為推薦,所述圓弧基準(zhǔn)臺的半經(jīng)設(shè)置在1mm的倍數(shù)。采用此技術(shù)方案,便于測量以及計算。作為推薦,所述抓數(shù)治具的長度設(shè)置在40-60mm,寬度設(shè)置在30-50mm。采用此技術(shù)方案,尺寸小,便于使用,以及保存。作為推薦,所述**基準(zhǔn)塊的寬度和第二基準(zhǔn)塊的寬度一致,其寬度設(shè)置在8-12mm。
為實現(xiàn)傳動筒4的平穩(wěn)傳動,可選地,如圖1至圖3所示,工藝盤組件還包括傳動架9,傳動架9的一端與傳動筒4背離波浪管6的一端固定連接,傳動架9的另一端用于與電機(jī)12的輸出軸連接,傳動架9用于帶動傳動筒4轉(zhuǎn)動。本實用新型對傳動架9的結(jié)構(gòu)不做具體限定,例如,如圖3所示,傳動架9包括一對傳動法蘭91和用于連接兩傳動法蘭91的法蘭連接件92。推薦地,下方的傳動法蘭91通過聯(lián)軸器與電機(jī)12的輸出軸連接。為保證所述工藝盤組件運動的流暢性,推薦地,驅(qū)動軸3、傳動筒4和工藝盤轉(zhuǎn)軸1中至少一者的材料為奧氏體不銹鋼。本實用新型的發(fā)明人在研究中發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備出現(xiàn)旋轉(zhuǎn)卡頓的問題是因為運動件之間的潤滑油脂液化泄露,導(dǎo)致潤滑效果變差。進(jìn)過進(jìn)一步研究后,發(fā)明人發(fā)現(xiàn)是運動件中的部分鋼鐵材料結(jié)構(gòu)在高速旋轉(zhuǎn)的過程中因電磁感應(yīng)效應(yīng)產(chǎn)生發(fā)熱現(xiàn)象,其發(fā)熱量過大引起潤滑油脂液化。因此,本實用新型中推薦地選擇驅(qū)動軸3、傳動筒4和工藝盤轉(zhuǎn)軸1的材料為奧氏體不銹鋼。奧氏體不銹鋼的材料與現(xiàn)有技術(shù)中運動件常采用的304不銹鋼相比,電阻率更低,在相同轉(zhuǎn)速下電磁感應(yīng)發(fā)熱量更小,從而避免了潤滑油脂泄露,保證了所述工藝盤組件運動的流暢性。作為一種推薦的實施方式。耐高溫材料包括耐火材料和耐熱材料。
塑膠材料項目投資立項申請報告.***章項目基本情況一、項目概況(一)項目名稱塑膠材料項目(二)項目選址某某產(chǎn)業(yè)示范園區(qū)項目屬于相關(guān)制造行業(yè),投資項目對其生產(chǎn)工藝流程、設(shè)施布置等都有較為嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)化要求,為了更好地發(fā)揮其經(jīng)濟(jì)效益并綜合考慮環(huán)境等多方面的因素,根據(jù)項目選址的一般原則和項目建設(shè)地的實際情況,該項目選址應(yīng)遵循以下基本原則的要求。(三)項目用地規(guī)模項目總用地面積(折合約)。(四)項目用地控制指標(biāo)該工程規(guī)劃建筑系數(shù),建筑容積率,建設(shè)區(qū)域綠化覆蓋率,固定資產(chǎn)投資強(qiáng)度。(五)土建工程指標(biāo)項目凈用地面積,建筑物基底占地面積,總建筑面積,其中規(guī)劃建設(shè)主體工程,項目規(guī)劃綠化面積。(六)設(shè)備選型方案項目計劃購置設(shè)備共計139臺(套),設(shè)備購置費。(七)節(jié)能分析1、項目年用電量,折合。2、項目年總用水量,折合。3、“塑膠材料項目投資建設(shè)項目”,年用電量,年總用水量,項目年綜合總耗能量(當(dāng)量值)。達(dá)產(chǎn)年綜合節(jié)能量,項目總節(jié)能率,能源利用效果良好。(八)環(huán)境保護(hù)項目符合某某產(chǎn)業(yè)示范園區(qū)發(fā)展規(guī)劃,符合某某產(chǎn)業(yè)示范園區(qū)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整規(guī)劃和國家的產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策;對產(chǎn)生的各類污染物都采取了切實可行的治理措施。與高度研磨液接觸,暴露于多種高腐蝕性化學(xué)品。江蘇制造半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工定制
磨削、銑削、鉆孔、車削和制造都可以很好地運用在半導(dǎo)體零件加工上。天津CPVC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工多厚
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