然后將碳化硅顆粒在真空條件、700℃下進行熱處理4h，得到預處理顆粒。(2)將第二分散劑聚乙烯醇溶解在水中形成溶液，將***碳源石墨和預處理顆粒在該溶液中均勻分散，再以環(huán)氧樹脂與酚醛樹脂的混合物作為粘結(jié)劑加入其中，進行球磨，球磨過程中的轉(zhuǎn)速為100轉(zhuǎn)/分，球磨時間為5h，得到第三漿料，將第三漿料在噴霧造粒塔中噴霧，得到平均尺寸為60微米的造粒粉。(3)將造粒粉均勻填滿模具，進行模壓成型，成型壓強為70mpa，保壓時間為90s，脫模，然后置入真空包裝袋中，抽真空，**后置于等靜壓機中等靜壓成型，成型壓力為200mpa，保壓時間為60s，得到***預制坯。(4)將***預制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫2h，得到排膠后的***預制坯。(5)將排膠后的***預制坯升溫至280℃，加入第二碳源石油焦，加熱1h，然后抽真空1h，再以氮氣加壓至3mpa，進行壓力浸滲，讓第二碳源滲入預制坯的孔隙中，降溫得到第二預制坯。(6)將第二預制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫2h，排膠后，機加工得到排膠后的第二預制坯。(7)將排膠后的第二預制坯和硅粉按質(zhì)量比為1∶，然后放置于真空高溫燒結(jié)爐中進行反應燒結(jié)，燒結(jié)溫度為1400℃，保溫時間為5h。CNC 銑削加工服務 ，CNC 銑削加工部件。天津CPVC半導體與電子工程塑料零件定制加工哪里買

    第二溶劑能夠溶解第二分散劑。在其中一個實施例中，第二溶劑為水或酒精。可以理解，在其他實施例中，第二溶劑還可以為其他物質(zhì)。第二分散劑包括四甲基氫氧化銨、聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸銨、丙烯酸鈉、聚乙烯醇及聚乙烯醇縮丁醛中的至少一種。在本實施方式中，***分散劑與第二分散劑可以相同，也可以不同。采用上述第二分散劑、第二溶劑和粘結(jié)劑能夠?qū)㈩A處理顆粒和***碳源均勻混合。具體地，步驟s120包括：步驟s122：將預處理顆粒與第二分散劑、第二溶劑、粘結(jié)劑和***碳源混合，并進行球磨，得到球磨后的漿料。其中，球磨過程中的轉(zhuǎn)速為100轉(zhuǎn)/分～300轉(zhuǎn)/分，球磨的時間為1h～5h。通過球磨能夠使得預處理顆粒、第二分散劑、粘結(jié)劑和***碳源等混合均勻。步驟s124：將球磨后的漿料進行噴霧造粒，得到造粒粉。通過步驟s122和步驟s124能夠得到均勻的造粒粉。在其中一個實施例中，造粒粉的平均尺寸為60微米～120微米。步驟s130：將造粒粉成型，得到***預制坯。具體地，步驟s130包括：將造粒粉先進行模壓成型，成型壓力為70mpa～170mpa，保壓時間為10s～90s，然后進行等靜壓成型，成型壓力為200mpa～400mpa，保壓時間為60s～180s，得到***預制坯。通過先進行模壓成型。北京電木半導體與電子工程塑料零件定制加工管材還用作耐化學腐蝕材料和硬質(zhì)材料等.

    附圖標記說明01：工藝盤1：工藝盤轉(zhuǎn)軸2：驅(qū)動襯套210：***襯套部211：驅(qū)動通孔211a：避讓槽220：第二襯套部221：軸通孔222：定位凸起3：驅(qū)動軸310：驅(qū)動連接部320：驅(qū)動軸體部311：定位平面312：圓柱面4：傳動筒41：內(nèi)凸臺結(jié)構(gòu)42：外凸臺結(jié)構(gòu)43：擋環(huán)槽5：密封襯套6：波浪管7：擋環(huán)8：調(diào)平件9：傳動架91：傳動法蘭92：法蘭連接件10：軸承座101：上法蘭102：下法蘭11：升降機構(gòu)12：電機13：定位塊具體實施方式以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式*用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。本實用新型的發(fā)明人在實驗中發(fā)現(xiàn)，工件在工藝盤上出現(xiàn)擺放位置偏移的問題是工藝盤與相應的旋轉(zhuǎn)傳動組件之間出現(xiàn)滑移導致的。發(fā)明人在進行過大量實驗研究后發(fā)現(xiàn)，在現(xiàn)有的半導體設備中，為了實現(xiàn)向工藝盤傳遞扭矩，通常采用圓柱面摩擦傳動的方式帶動，而正是該摩擦傳動方式使得傳動件的摩擦面長時間發(fā)生相對轉(zhuǎn)動，導致配合面發(fā)生摩擦磨損，進而影響了對位精度。因此，為解決上述技術(shù)問題，作為本實用新型的***個方面，提供一種半導體設備中的工藝盤組件，如圖1至3所示，工藝盤組件包括工藝盤01和工藝盤轉(zhuǎn)軸1。

    工藝盤組件還包括軸承座10，傳動筒4的外凸臺結(jié)構(gòu)42設置在軸承座10內(nèi)，且傳動筒4的兩端設置在軸承座10外；外凸臺與軸承座10的內(nèi)壁之間設置有前述的軸承，使得傳動筒4能夠繞軸線相對軸承座10旋轉(zhuǎn)；為便于安裝，如圖3所示，軸承座10可以包括上法蘭101和下法蘭102，上法蘭101和下法蘭102上均形成有軸孔，傳動筒4朝向工藝盤01的一端穿過上法蘭101上的軸孔，傳動筒4背離工藝盤01的一端穿過下法蘭102上的軸孔。為保證定位傳動筒4的軸向定位，避免傳動筒4在轉(zhuǎn)動時晃動，推薦地，上述滾針軸承為推力滾針軸承，且位于外凸臺結(jié)構(gòu)42背離工藝盤01一側(cè)的推力滾針軸承與下法蘭102之間還設置有碟形彈簧。在傳動筒4安裝至軸承座10中時，傳動筒4的兩端分別穿過上法蘭101和下法蘭102上的軸孔，在上法蘭101和下法蘭102通過固定連接件(如螺栓)連接在一起的同時，推力滾針軸承分別被壓緊貼合在外凸臺結(jié)構(gòu)42的上下兩面，并由碟形彈簧維持推力滾針軸承上的軸向壓力，從而保證定位傳動筒4的軸向定位。推薦地，如圖3所示，上法蘭101和下法蘭102在上述軸孔處均設置有環(huán)繞傳動筒4的油封，以避免軸承座10中的潤滑液逸出或外界物質(zhì)進入軸承座10中對造成傳動件的腐蝕、磨損。推薦地，如圖1、圖2所示。與高度研磨液接觸，暴露于多種高腐蝕性化學品。

    所述工藝盤組件為前面所述的工藝盤組件，所述工藝盤組件的工藝盤設置在所述工藝腔中。在本實用新型提供的工藝盤組件以及半導體設備中，工藝盤轉(zhuǎn)軸通過驅(qū)動襯套、驅(qū)動連接部與驅(qū)動軸體部連接，驅(qū)動連接部的橫截面為非圓形，而驅(qū)動襯套的套孔與驅(qū)動連接部相匹配，工藝盤轉(zhuǎn)軸的安裝孔與驅(qū)動襯套相匹配。從而通過非圓柱體的驅(qū)動連接部與驅(qū)動襯套上的異形孔之間的配合將扭矩傳遞至驅(qū)動襯套，進而基于安裝孔與驅(qū)動襯套的配合關(guān)系傳遞至工藝盤轉(zhuǎn)軸，從而能夠避免驅(qū)動軸與驅(qū)動襯套之間發(fā)生相對滑動，提高了工藝盤轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)角度的控制精度，進而提高了工件的放置精度。附圖說明附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本實用新型，但并不構(gòu)成對本實用新型的限制。在附圖中：圖1是本實用新型提供的工藝盤組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1所示的工藝盤組件的a-a向剖視圖；圖3是圖2中虛線圈出部分的放大示意圖；圖4是圖3的局部放大示意圖；圖5是本實用新型提供的工藝盤組件中驅(qū)動軸的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實用新型提供的工藝盤組件中驅(qū)動襯套的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實用新型提供的工藝盤組件中驅(qū)動襯套與驅(qū)動軸連接后的結(jié)構(gòu)示意圖。并其生產(chǎn)過程依照優(yōu)良制造標準（GMP）控制。PP半導體與電子工程塑料零件定制加工特質(zhì)

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    圖8是本實用新型提供的工藝盤組件中驅(qū)動襯套與驅(qū)動軸連接前的位姿關(guān)系示意圖；圖9是本實用新型提供的工藝盤組件中驅(qū)動襯套與驅(qū)動軸連接后的局部剖面示意圖；圖10是本實用新型提供的工藝盤組件中工藝盤轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動襯套和驅(qū)動軸連接后的結(jié)構(gòu)示意圖；圖11是本實用新型提供的工藝盤組件中工藝盤轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動襯套和驅(qū)動軸連接前的位姿關(guān)系示意圖；圖12是本實用新型提供的工藝盤組件中工藝盤轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動襯套和驅(qū)動軸連接后的局部剖面示意圖；圖13是本實用新型提供的工藝盤組件中傳動筒的結(jié)構(gòu)示意圖；圖14是本實用新型提供的工藝盤組件中傳動筒與驅(qū)動軸固定連接前的位姿關(guān)系示意圖；圖15是本實用新型提供的工藝盤組件中傳動筒與驅(qū)動軸固定連接后的位置關(guān)系示意圖；圖16是本實用新型提供的工藝盤組件中工藝盤轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動襯套和驅(qū)動軸在傳動筒中的位置關(guān)系示意圖。天津CPVC半導體與電子工程塑料零件定制加工哪里買