在半導(dǎo)體行業(yè)，直線電機(jī)因其高精度、高速度、高加速度和長(zhǎng)行程等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于多個(gè)制造和加工環(huán)節(jié)。以下是一些具體的應(yīng)用場(chǎng)景：

晶圓制造：①晶圓切割：直線電機(jī)用于晶圓切割機(jī)的精確控制，確保晶圓切割的精度和效率。②晶圓清洗：在晶圓清洗設(shè)備中，直線電機(jī)用于控制清洗頭的運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)均勻清洗。

光刻：①光刻機(jī)：直線電機(jī)用于光刻機(jī)的曝光系統(tǒng)，精確控制掩模對(duì)晶圓的定位和曝光，以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)的圖案轉(zhuǎn)移。

硅片加工：①蝕刻機(jī)：直線電機(jī)用于蝕刻機(jī)的硅片傳輸和定位，確保蝕刻過(guò)程的高精度。②離子注入：在離子注入機(jī)中，直線電機(jī)用于精確控制離子束對(duì)晶圓的注入角度和位置。

芯片封裝：①芯片貼裝：直線電機(jī)用于芯片貼裝機(jī)，精確地將芯片放置到引線框架或基板上。②打線機(jī)：在打線機(jī)中，直線電機(jī)用于精確控制打線頭，將金線或銅線連接到芯片的焊盤上。 TOYO機(jī)器人，準(zhǔn)確定位，快速完成生產(chǎn)作業(yè)。多軸模組系列TOYO機(jī)器人大理石平臺(tái)

TOYO直線模組支持多軸聯(lián)動(dòng)控制，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)軌跡。例如，在3D打印設(shè)備或數(shù)控機(jī)床中，多軸聯(lián)動(dòng)的直線模組可以精確控制工具頭的運(yùn)動(dòng)路徑，從而完成復(fù)雜的加工任務(wù)。這種多軸聯(lián)動(dòng)能力極大地?cái)U(kuò)展了直線模組的應(yīng)用范圍。環(huán)境適應(yīng)性：TOYO直線模組具有良好的環(huán)境適應(yīng)性，能夠在高溫、低溫、潮濕或粉塵較多的環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。例如，在食品加工行業(yè)中，直線模組需要經(jīng)常接觸水或蒸汽，TOYO的防水防塵設(shè)計(jì)確保了其在惡劣環(huán)境中的可靠性。奈米定位平臺(tái)系列TOYO機(jī)器人龍門模組TOYO驅(qū)動(dòng)器支持IO、脈沖、RS485和EC通訊（選配）。

XC100驅(qū)動(dòng)器的特點(diǎn)支持IO控制、RS485控制、脈沖控制、EtherCAT控制（需要選配，XC100E）

使用XC100驅(qū)動(dòng)器時(shí)需搭配軟件TOYO-Single使用，可以通過(guò)該軟件控制軸運(yùn)動(dòng)、修改參數(shù)、設(shè)置點(diǎn)位、監(jiān)控信號(hào)/數(shù)據(jù)。

XC100驅(qū)動(dòng)器支持不外接傳感器的情況下實(shí)現(xiàn)回零操作（通過(guò)扭力判斷是否到達(dá)原點(diǎn)），同時(shí)輸出回原完成信號(hào)。XC100驅(qū)動(dòng)器可以通過(guò)軟件設(shè)置行程軟限位，限位到達(dá)會(huì)有限位報(bào)警（無(wú)法判斷正限位/負(fù)限位）。

XC100驅(qū)動(dòng)器輸入點(diǎn)位有14個(gè)，輸出點(diǎn)位有10個(gè)，只支持NPN接線方式。

XC100驅(qū)動(dòng)器編碼器為增量式，斷電位置會(huì)丟失，每次斷電重啟需回原操作。

XC100可實(shí)現(xiàn)扭力控制，動(dòng)作時(shí)達(dá)到設(shè)定的扭力即動(dòng)作完成。

XC100支持集電極控制與差分控制，集電極控制容易受干擾，建議使用差分控制。

TOYO直線電機(jī)分類：有鐵芯平板型直線電機(jī)、無(wú)鐵芯U型直線電機(jī)、軸棒型直線電機(jī)。有鐵芯平板型直線電機(jī)分為：G系列與一般系列；G系列：速度可達(dá)：2500mm/s，水平負(fù)載：3-20KG，行程可達(dá)：2520mm，精度：±1~2μ。一般系列：速度可達(dá)：2500mm/s，水平負(fù)載：20-120KG，行程可達(dá)：8000mm，精度：±1~2μ。無(wú)鐵芯U型直線電機(jī)：速度可達(dá)：2500mm/s，水平負(fù)載：4-15KG，行程可達(dá)：1290mm，精度：±1~2μ。軸棒型直線電機(jī)：速度可達(dá)：2500mm/s，水平負(fù)載：15-51KG，行程可達(dá)：1940mm，精度：±1~2μ。TOYO大理石平臺(tái)為半導(dǎo)體設(shè)備提供精度保證！

TOYO直線模組在設(shè)計(jì)和制造過(guò)程中充分考慮了噪音控制問(wèn)題，采用了低摩擦的導(dǎo)軌和滑塊材料，以及優(yōu)化的傳動(dòng)系統(tǒng)。這種低噪音特性使其適用于對(duì)工作環(huán)境噪音要求較高的場(chǎng)景，例如醫(yī)療設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器和辦公自動(dòng)化設(shè)備。TOYO直線模組的關(guān)鍵部件采用了耐磨材料和先進(jìn)的表面處理技術(shù)，能夠在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中保持穩(wěn)定的性能。此外，其密封設(shè)計(jì)有效防止了灰塵和雜質(zhì)的侵入，減少了維護(hù)頻率和成本。長(zhǎng)壽命和低維護(hù)特性使其成為高負(fù)荷生產(chǎn)環(huán)境中的理想選擇。以科技為動(dòng)力，TOYO機(jī)器人推動(dòng)工業(yè)自動(dòng)化發(fā)展。高精密TOYO機(jī)器人氣浮平臺(tái)

TOYO機(jī)器人，高效準(zhǔn)確，為企業(yè)創(chuàng)造非凡生產(chǎn)效益。多軸模組系列TOYO機(jī)器人大理石平臺(tái)

TOYO 機(jī)器人以其非凡的精度而聞名。在制造和裝配等任務(wù)中，能夠?qū)崿F(xiàn)精確到毫米甚至更小的操作精度。這使得它在電子產(chǎn)品制造、精密機(jī)械加工等領(lǐng)域具有巨大優(yōu)勢(shì)。例如，在手機(jī)電路板的組裝過(guò)程中，TOYO 機(jī)器人可以準(zhǔn)確地將微小的電子元件放置在特定位置，確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能。高速度也是 TOYO 機(jī)器人的一大特點(diǎn)。它能夠快速地完成各種動(dòng)作，提高生產(chǎn)效率。在汽車制造行業(yè)，TOYO 機(jī)器人可以在短時(shí)間內(nèi)完成車身焊接、零部件安裝等任務(wù)，滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。多軸模組系列TOYO機(jī)器人大理石平臺(tái)