光學(xué)微電子凈化工程一般包括：1、潔凈生產(chǎn)區(qū)2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)4、設(shè)備區(qū)(包括無塵凈化工程空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)光學(xué)微電子凈化工程凈化原流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。優(yōu)點(diǎn)：A.處理空氣的效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風(fēng)過程中被污染程度較低。能比較精確控制送風(fēng)的溫度、濕度;B.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或冷熱源;C.比較適用于較大的廠房有集中冷源的的廠房;D.較低的維修頻率;E.車間里的噪音小。分別為：地面系統(tǒng)、風(fēng)管系統(tǒng)、自控系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、給排水系統(tǒng)、空氣過濾系統(tǒng)六大部分。湖北凈化車間方案

按規(guī)定，無塵車間施工垂直單向流流速為3.5m/s（+20%），水平單向流流速為4.5m/s（+20%）。以無菌藥房為例，藥房潔凈區(qū)一般設(shè)置為四個潔凈區(qū)。A級，高危作業(yè)區(qū)，通常設(shè)有層流手術(shù)臺（罩），以保持作業(yè)區(qū)的環(huán)境狀態(tài)。層流系統(tǒng)必須在其工作區(qū)域提供均勻的空氣供給，風(fēng)速為0.36-0.54m/s（指導(dǎo)值）。B類是指從事無菌制劑、灌裝等高風(fēng)險作業(yè)的甲類背景區(qū)域。C、D類是指無菌藥品生產(chǎn)中不太重要的清潔操作區(qū)。無塵車間施工主要技術(shù)參數(shù)室內(nèi)通風(fēng)頻率：100000級10-15次/小時；10000級15-25次/小時；1000級50-52次/小時；100級作業(yè)點(diǎn)平均斷面風(fēng)速為0.25-0.35m/s，室內(nèi)噪聲：5pa）及非潔凈區(qū)（>10pa）；室內(nèi)溫度：冬季>16+2；夏季300勒克斯；新風(fēng)量：總供風(fēng)量的20%-30%。湖州十萬級凈化車間其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

凈化工程：電子廠凈化工程施工需要注意哪些事項(xiàng)2、電子廠凈化工程中的風(fēng)管要求集中式或清潔空調(diào)系統(tǒng)管道的要求是經(jīng)濟(jì)有效的空氣輸送。前者的要求體現(xiàn)在價格低廉，施工方便，運(yùn)行成本低，內(nèi)表面光滑，阻力低等方面。后者是指良好的密封性，沒有空氣泄漏，沒有灰塵，沒有灰塵堆積，沒有污染，耐火性，耐腐蝕性和耐濕性。3、空調(diào)凈化需要注意節(jié)能空調(diào)凈化是電子廠凈化工程中一個較大的能源消耗者，在設(shè)計(jì)和施工中應(yīng)注意節(jié)能措施。在設(shè)計(jì)中，系統(tǒng)和區(qū)域劃分，供氣計(jì)算，溫度和相對溫度的確定，清潔度和換氣次數(shù)的確定，新鮮空氣比率，管道隔熱以及空氣管道生產(chǎn)中的漏氣率的影響，主管和支管的連接角度對氣流阻力的影響，法蘭連接是否泄漏以及空調(diào)箱，風(fēng)扇，冷水機(jī)和其他設(shè)備的選擇都與能耗有關(guān)，因此這些細(xì)節(jié)在電子廠凈化工程的施工過程中都是需要考慮的

凈化工作臺的細(xì)節(jié)構(gòu)造與保養(yǎng)凈化工作臺進(jìn)風(fēng)口在背面或正面的下方，金屬網(wǎng)罩內(nèi)有一普通泡沫塑料片或無紡布，用以阻攔大顆粒塵埃，應(yīng)常檢查、拆洗，如發(fā)現(xiàn)泡沫塑料老化，要及時更換。除進(jìn)風(fēng)口以外，如有漏氣孔隙，應(yīng)當(dāng)堵嚴(yán)，如貼膠布，塞棉花，貼膠水紙等。工作臺正面的金屬網(wǎng)罩內(nèi)是超級濾清器，超級濾清器也可更換，如因使用年久，塵粒堵塞，風(fēng)速減小，不能保證無菌操作時，則可換上新的。凈化工作臺使用壽命的長短與空氣的潔凈程度有關(guān)。在溫帶地區(qū)凈化工作臺可在一般實(shí)驗(yàn)室使用，然而在熱帶或亞熱帶地區(qū)，由于大氣中含有高量的花粉，或多粉塵的地區(qū)，凈化工作臺則宜放在較好的有雙道門的室內(nèi)使用。任何情況下都不應(yīng)將凈化工作臺的進(jìn)風(fēng)罩對著開敞的門或窗，以免影響濾清器的使用壽命。清潔工程包括機(jī)械自動化系統(tǒng)的安裝,主要來自室內(nèi)空間設(shè)計(jì)溫度的足夠控制。

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。（風(fēng)淋室廠家）隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。自控系統(tǒng)：包括溫度控制、溫度控制、風(fēng)量風(fēng)壓控制、開啟順序和時間控制等;福建10萬級凈化車間

清潔作業(yè)區(qū)（潔凈室）：指衛(wèi)生環(huán)境要求比較高，人員、環(huán)境要求較高，必須經(jīng)過消毒和更衣才可以進(jìn)入。湖北凈化車間方案

凈化工作臺的細(xì)節(jié)構(gòu)造與保養(yǎng)凈化工作臺的優(yōu)點(diǎn)是操作方便自如，比較舒適，工作效率高，預(yù)備時間短，開機(jī)１０分鐘以上即可操作，基本上可隨時使用。在工廠化生產(chǎn)中，接種工作量很大，需要經(jīng)常長久地工作時，凈化工作臺是很理想的設(shè)備。凈化工作臺由三相電機(jī)作鼓風(fēng)動力，功率１４５～２６０Ｗ左右，將空氣通過由特制的微孔泡沫塑料片層疊合組成的“超級濾清器”后吹送出來，形成連續(xù)不斷的無塵無菌的超凈空氣層流，即所謂“高效的特殊空氣”，它除去了大于０．３μｍ的塵埃、和細(xì)菌孢子等等。超凈空氣的流速為２４～３０ｍ／ｍｉｎ，這已足夠防止附近空氣可能襲擾而引起的污染，這樣的流速也不會妨礙采用酒精燈或本生燈對器械等的灼燒消毒。湖北凈化車間方案