所述的手指固定座33上設(shè)置有插槽41，所述的插槽41內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置4。所述的晶圓固定裝置4包括真空吸盤(pán)、氣缸機(jī)械手等。所述的手指固定座33上還設(shè)置有掃描傳感器42，掃描傳感器42包括光纖放大器以及濾光片等光信號(hào)探測(cè)設(shè)備。使用時(shí)，升降軸1進(jìn)行機(jī)械手的豎直上升下降工作，旋轉(zhuǎn)軸2進(jìn)行機(jī)械手的水平旋轉(zhuǎn)工作，伸展軸3進(jìn)行機(jī)械手的伸展拿取工作。相比現(xiàn)有的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本申請(qǐng)中伸展軸3中的一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33聯(lián)動(dòng)，一級(jí)伸展臂31、二級(jí)伸展臂32和手指固定座33之間分別具有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)一級(jí)關(guān)節(jié)5、二級(jí)關(guān)節(jié)6和三級(jí)關(guān)節(jié)7之間的一級(jí)同步帶52和二級(jí)同步帶64在一級(jí)伸展臂31轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，帶動(dòng)二級(jí)伸展臂32和手指固定座33不同速率的轉(zhuǎn)動(dòng)，在升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3三軸聯(lián)動(dòng)的同時(shí)讓手指固定座33始終保證直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。這種方式不僅簡(jiǎn)化了整個(gè)伸展軸3傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，共用一個(gè)傳動(dòng)系后不僅提高了運(yùn)行精度、重復(fù)定位精度，又提高了機(jī)械手整體剛度和承重能力。本發(fā)明的機(jī)械手可以通過(guò)設(shè)定在機(jī)械手后方的掃描傳感器42，自動(dòng)掃描片盒中晶片的狀態(tài)（包括：有，無(wú)，重片，斜片），通過(guò)數(shù)據(jù)分析后把結(jié)果傳送給上位設(shè)備控制系統(tǒng)。棲霞區(qū)糖袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠(chǎng)家！黃浦區(qū)粉塵氣動(dòng)懸臂吊推薦廠(chǎng)家

    其將所述第1線(xiàn)圈組和所述電路基板連接起來(lái)；以及第2線(xiàn)圈布線(xiàn)，其將所述第2線(xiàn)圈組和所述電路基板連接起來(lái)，所述電路基板具有：檢測(cè)電路，其包含對(duì)所述磁體的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線(xiàn)圈組供給電流的多個(gè)電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線(xiàn)圈組供給電流的多個(gè)電子元器件；以及控制電路，其包含對(duì)所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進(jìn)行控制的電子元器件，所述第1線(xiàn)圈布線(xiàn)和所述第2線(xiàn)圈布線(xiàn)均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè)；以及第2部位，其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出，所述蓋體具有：蓋體主體；以及所述連接器的外裝部，其與所述蓋體主體形成為一體。由此，能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路配置在靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱不易向磁傳感器傳遞能夠抑制磁傳感器的溫度上升。另外，通過(guò)使蓋體主體和連接器的外裝部形成為一體，能夠有助于減少電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置的零件個(gè)數(shù)。作為理想的技術(shù)方案，所述蓋體具有：第1面，其與所述電路基板相面對(duì)。溧水區(qū)米袋氣動(dòng)懸臂吊原理六合區(qū)粉塵氣動(dòng)懸臂吊推薦廠(chǎng)家！

    該多個(gè)肋將所述壁部的外周面和所述第1面連結(jié)起來(lái)。由此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度。作為理想的技術(shù)方案，所述多個(gè)肋沿著所述壁部的周?chē)缘乳g隔配置。由此，在壁部的周?chē)?，能夠確保壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度不產(chǎn)生偏差。作為理想的技術(shù)方案，還具備帽，該帽安裝于所述壁部的靠所述電路基板側(cè)的端部，所述帽具有與所述磁體相對(duì)的頂板部和對(duì)所述頂板部的外周進(jìn)行支承的緣部，所述頂板部的材料是樹(shù)脂。由此，從磁體發(fā)出的磁通能夠透過(guò)帽的頂板部，磁傳感器能夠檢測(cè)該磁通。不必為了使磁通透過(guò)而從壁部的端部拆下帽。因此，在電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置的組裝工序中，不需要拆下帽的工序，能夠抑制工序數(shù)量的增大。另外，在電路基板安裝于散熱器而完成了電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置之后，也能維持帽安裝于壁部的端部的狀態(tài)。由此，能夠持續(xù)性地抑制異物附著于磁體。作為理想的技術(shù)方案，所述壁部具有在所述外周面設(shè)置的槽部，所述緣部具有在與所述槽部重疊的位置設(shè)置的突起部，所述突起部能卡合于所述槽部。由此，能將帽固定于壁部。作為理想的技術(shù)方案，所述壁部與散熱器形成為一體。由此，在壁部與散熱器之間不存在接合的邊界，因此，能夠提高壁部與散熱器之間的連結(jié)強(qiáng)度。

絞索600通過(guò)上述螺栓旋緊的方式兩端分別連接于塔架100和滑道，當(dāng)然因?yàn)榻g索600的拉力要克服滑道的重力，絞索600與塔架100的連接點(diǎn)應(yīng)高于絞索600與滑道的連接點(diǎn)。鉸接組件130包括：鉸軸133、第1接頭部131和第二接頭部132，第1接頭部131和第二接頭部132同軸鉸接于鉸軸133。第1滑道200的底端和第二滑道300的頂端分別安裝于第1接頭部131和第二接頭部132，借助第1接頭部131與第二接頭部132的鉸接關(guān)系，可帶動(dòng)第1滑道200和第二滑道300進(jìn)行傾角的調(diào)整。并且所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)注意，因?yàn)榛赖慕嵌日{(diào)整問(wèn)題，在設(shè)計(jì)第1滑道200和第二滑道300對(duì)接點(diǎn)時(shí)，應(yīng)當(dāng)考慮滑道的側(cè)壁不能因滑道的角度調(diào)整而出現(xiàn)縫隙，也不能阻礙滑道的角度調(diào)整。對(duì)此，本實(shí)施例采用一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的對(duì)接方法，使第二滑道300的內(nèi)徑略微大于第1滑道200的內(nèi)徑，讓第1滑道200的下端頭搭接于第二滑道300上端頭內(nèi)。此外為了滿(mǎn)足食品安全要求，對(duì)第1滑道200和第二滑道300以及塔架100的材料采用316l，同時(shí)對(duì)鉸接組件130采用滿(mǎn)足食品衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的潤(rùn)滑油。通過(guò)鉸接組件130對(duì)第1滑道200和第二滑道300進(jìn)行連接，采用絞索600的拉力固定滑道的位置，可控制絞索的長(zhǎng)度110進(jìn)而控制滑道的傾角。雨花臺(tái)區(qū)米袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠(chǎng)家！

    本發(fā)明能夠有效解決現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)械手運(yùn)行速度低，定位精度差的問(wèn)題。本機(jī)械手包含3個(gè)軸，分別為升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其中伸展軸又包含3個(gè)關(guān)節(jié)，三個(gè)關(guān)節(jié)分別為一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)，三個(gè)關(guān)節(jié)之間的傳動(dòng)比為1:2:1，伸展電機(jī)通過(guò)諧波減速機(jī)驅(qū)動(dòng)一級(jí)伸展臂轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)一級(jí)關(guān)節(jié)、二級(jí)關(guān)節(jié)和三級(jí)關(guān)節(jié)之間設(shè)置有傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，同時(shí)帶動(dòng)二級(jí)伸展臂和手指固定座的移動(dòng)，間接將第1級(jí)關(guān)節(jié)遠(yuǎn)端的一級(jí)同步帶輪變?yōu)橹鲃?dòng)輪，通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，可以在一級(jí)伸展臂和二級(jí)伸展臂移動(dòng)時(shí)，保持手指固定座的始終直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，既晶圓中心始終保持直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，晶圓的角度也保持不變。這種結(jié)構(gòu)還提高了機(jī)械手整體強(qiáng)度，達(dá)到高速度運(yùn)行和重復(fù)定位精度高的雙重目的。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿(mǎn)足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。附圖說(shuō)明圖1是本發(fā)明示意圖。圖2是本發(fā)明伸展軸示意圖。圖3是本發(fā)明伸展軸內(nèi)部俯視示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。實(shí)施例1。溧水區(qū)常見(jiàn)氣動(dòng)懸臂吊推薦廠(chǎng)家！浦口區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊供應(yīng)

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    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過(guò)程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來(lái)越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿(mǎn)足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)。黃浦區(qū)粉塵氣動(dòng)懸臂吊推薦廠(chǎng)家

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