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寶山區(qū)工業(yè)真空搬運機供應(yīng)

來源: 發(fā)布時間:2022-05-11

    圖7是表示通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖8是接著圖7,通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖9是接著圖8,通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實施方式以下,參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標(biāo)系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標(biāo)系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個方向,是沿著后述的第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關(guān)于x、y、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè))。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中,使用物品2是foup的例子來進行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。江寧區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家!寶山區(qū)工業(yè)真空搬運機供應(yīng)

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù):在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運,提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運車和起重機對應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng),因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運車與起重機的作用,由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備:第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。鼓樓區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家棲霞區(qū)米袋真空搬運機推薦廠家!

    其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部;以及高架搬運車,其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機構(gòu),上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛,其中,第1起重機在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品,第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品,高架搬運車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)以及搬運方法,通過第1、第二起重機進行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運,從而能夠增加物品的保管數(shù)量,通過高架搬運車進行區(qū)段間的物品的搬運,從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外,由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾,并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由第1、第二起重機和高架搬運車共享,因此無需分別對應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外。

    可旋轉(zhuǎn)360°,垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接,副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接,下垂臂上設(shè)有扶手,扶手上設(shè)有電腦控制盒,下垂臂末端設(shè)有真空吸盤,真空吸盤下端吸有工件。摘要一種新型真空搬運機械手,屬于一種機械手。機械手立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座,主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接,大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸,主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置,擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側(cè)板相連接,另一端分別與連接板相連接,橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接,旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置,旋轉(zhuǎn)臂末端設(shè)有垂臂旋轉(zhuǎn)座,垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接,副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接,下垂臂末端設(shè)有真空吸盤。該機械手利用真空原理,吸附物體,進而平衡物體的重力,使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下,輕松完成物體的搬運、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序,操作簡單、運作省力、高效安全。浦口區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家!

    施邁茨推出了適用于各行業(yè)人工搬運任務(wù)的搬運技術(shù)。該方案由真空搬運設(shè)備(如Jumbo真空管吊具或VacuMaster真空起重機)和配套的軌道系統(tǒng)構(gòu)成。真空搬運設(shè)備選購指導(dǎo):真空搬運設(shè)備的功能和選購真空搬運設(shè)備可為客戶打造符合人體工程學(xué)的工作環(huán)境。該類設(shè)備可有效避免由于抬起和移動重負荷工件而引發(fā)的健康問題。施邁茨推出的真空搬運設(shè)備配備有的鋁合金軌道系統(tǒng)。軌道系統(tǒng)的適配性較好,與真空搬運設(shè)備搭配使用可令工作效率得到提升,其設(shè)計同樣符合人體工程學(xué)原理。施邁茨的真空搬運設(shè)備分為Jumbo真空管吊具和VacuMaster真空起重機兩大系列。我們的真空搬運設(shè)備符合CE認證以及歐盟所有現(xiàn)行的法律標(biāo)準(zhǔn)。我們的設(shè)備全部帶有CE標(biāo)簽,運輸前均經(jīng)過單獨測試,并且交付時隨附合格聲明、操作及維護說明書。真空搬運設(shè)備實例迄今為止,施邁茨真空搬運系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用在多種行業(yè)領(lǐng)域中,為物料運輸效率提供有效保障。多年的行業(yè)經(jīng)驗讓我們可以與客戶始終保持緊密合作,我們了解客戶的工作流程,并且有能力生產(chǎn)出符合嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。在保證材料和雇員安全的同時,真空搬運設(shè)備可以更快速、更穩(wěn)定地搬運負載。此外,施邁茨還可根據(jù)客戶的要求提供整套工作區(qū)方案。江寧區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家!溧水區(qū)糖袋真空搬運機哪家有

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    能夠比第1、第二起重機40a、40b更快移動,因此通過高架搬運車50進行區(qū)段間(例如第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間)的物品2的搬運,從而能夠在短時間內(nèi)搬運物品2。這樣,將第1、第二起重機40a、40b與高架搬運車50的作用分開,由此能夠使搬運系統(tǒng)100整體的物品2的搬運效率提高。另外,將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11由第1起重機40a與高架搬運車50共享,并將第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12由第二起重機40b與高架搬運車50共享,因此無需另外設(shè)置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道10的鋪設(shè)所需要的成本。另外,高架搬運車50能夠在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14上行駛,因此如圖5的單點劃線所示,能夠在與第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp之間進行物品2的交接。其結(jié)果是,在產(chǎn)生第1、第二起重機40a、40b的故障、或者產(chǎn)生第1、第二起重機40a、40b因其他物品2的搬運而顧及不到等狀況的情況下,能夠暫時通過高架搬運車50進行與裝載端口lp之間的物品2的交接,能夠防止搬運效率的降低。并且,高架搬運車50在作為從其他區(qū)域搬運來的物品2的搬運目的地的裝載端口lp空置的情況下(能夠搬運的情況),保持原樣地將物品2搬運至作為搬運目的地的裝載端口lp,由此能夠提高物品2的搬運效率。寶山區(qū)工業(yè)真空搬運機供應(yīng)

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