轉動夾1032遠離支架102的一端的齒型結構插入至鎖定板104較厚部分的槽中，從而壓住轉動夾1032，達到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的長度調整機構的立體圖。如圖6所示，長度調整機構2包括內調節(jié)桿201、外調節(jié)桿202和開關結構203。內調節(jié)桿201為空心矩形桿，其相對的兩個側壁設有等間隔直線排列的多個固定孔2011，每兩個相對的固定孔2011為一個長度調節(jié)檔位。外調節(jié)桿202也為空心矩形桿，其內孔為與內調節(jié)桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調節(jié)桿202一端開口，而內調節(jié)桿201從此開口處插入外調節(jié)桿202的內孔中。并且外調節(jié)桿202能套在內調節(jié)桿201外做直線往復移動，完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位，可如圖6所示，在內調節(jié)桿201外壁上位于兩個同一側壁的固定孔2011之間的位置設置軸向環(huán)繞內調節(jié)桿201外壁的環(huán)形凹槽。此外，外調節(jié)桿202外壁的中部位置還設有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結構，包括兩個短邊梁和一個長邊梁。兩個短邊梁遠離長邊梁的一端連接在外調節(jié)桿202的一個側壁上，形成一個封閉的矩形。在調整長度時，航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調節(jié)桿202做遠離或靠近艙壁助力扶手a的運動。六合區(qū)包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家！秦淮區(qū)象鼻子氣動懸臂吊品牌

    而后依靠絞索固定滑道位置。從而讓輸送滑道不同產(chǎn)品時，通過改變傾角來適應摩擦系數(shù)的變化。符合同一生產(chǎn)線生產(chǎn)多規(guī)格產(chǎn)品的需要。附圖說明圖1是本實用新型實施例的結構示意圖；圖2是本實用新型實施例的鉸接組件結構示意圖；圖3是本實用新型實施例的絞索固定件的結構示意圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例只只用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖1至圖2所示，本實用新型提供了一種輸送滑道，包括塔架100、第1滑道200和第二滑道300。因為塔架100要對鉸接組件130提供穩(wěn)定的支撐力，又要承受絞索600的拉力，因此為了提高輸送滑道的穩(wěn)定性，因此對塔架100采用如下設計塔架四根豎直放置的立柱，立柱間有多根水平拉桿，水平拉桿和立柱間有多根對角拉桿。同時為了固定絞索600，塔架100上帶有連接板120，連接板一端焊接在塔架100上，另一端開孔。并且第1滑道200和第二滑道300兩側外壁均延伸出有連接耳210，連接耳上210帶有通孔。上述通孔中裝配有螺栓，絞索600端頭分別環(huán)繞過螺栓后通過旋緊螺栓固定絞索600。秦淮區(qū)象鼻子氣動懸臂吊品牌浦口區(qū)室內深加工氣動懸臂吊推薦廠家！

    助力機械手主機a）可實現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài)，適用于物料的精確移載操作。b）空載、滿載及處理不同工件時，系統(tǒng)可感知其重量變化，并實現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動狀態(tài)，便于精確定位。c）全程平衡、運動順滑等特點，使得操作者可以很便捷地實現(xiàn)工件的搬運、定位、裝配等操作。d）剛性手臂可使機械手帶工件越過障礙；水平臂可滿足物料在相關場所進行橫向放入、橫向取出等動作要求。e）系統(tǒng)可始終保持機械手頭部的水平，發(fā)揮高作業(yè)性。f）關節(jié)剎車裝置，具有多個回轉關節(jié)，以實現(xiàn)廣域范圍內的物料取置；配備有剎車裝置，操作者可在操作過程中隨時中斷機械手的運動。助力機械手氣動夾具主機控制與夾具（機械手）集成為一體，方便操作者雙手控制工件。主機操作按鈕都集成于夾具控制面板上，控制部分及指示燈、指示器等按人體工學原理布置，便于操作及緊急情況的處理。助力機械手執(zhí)行執(zhí)行部分是機械手上承擔抓（或吸）取物件的機構，由手指、傳力（或增力）機構和動力裝置等組成。手指是手部中直接承擔抓（或吸）取物件的元件。1、手指的抓取機能助力機械手的手指的抓取機能是由被抓取物件和手指決定的。被抓取物件的大小、形狀、重量、材質和受外力的約束程度及運動。

    本發(fā)明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產(chǎn)能就越大。隨著半導體工藝的發(fā)展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié)。棲霞區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    本發(fā)明涉及自動化設備技術領域，尤其涉及一種板材搬運自動化設備的機械手。背景技術：板材是做成標準大小的扁平矩形建筑材料板，應用于建筑行業(yè)，用來作墻壁、天花板或地板的構件。也多指鍛造、軋制或鑄造而成的金屬板。板材可劃分為薄板、中板、厚板、特厚板、通常做成標準大小的扁平矩形建筑材料板?，F(xiàn)有技術中在板材的生產(chǎn)與搬運過程中依然存在著依靠人力勞動進行對板材的搬運，人力作業(yè)方式效率低下同時對于一些體積大質量比較重的板材搬運時往往無法進行操作，費時費力，除此之外對與在惡劣的環(huán)境中依靠人力便會對人體造成危害，因此針對此類問題需要進行改進。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的人力搬運板材費時費力、無法操作體積大質量重的板材同時無法適用惡劣環(huán)境的缺點，而提出的一種板材搬運自動化設備的機械手。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術方案：本發(fā)明的一種板材搬運自動化設備的機械手，包括立柱，所述立柱的頂壁上安裝有第1電機，所述第1電機的驅動端安裝有斜齒輪，所述立柱的一側的側壁上安裝有兩個支撐板，兩個所述支撐板之間共同安裝有蝸桿，兩個所述支撐板上均開設有斜螺紋孔，且斜螺紋孔與蝸桿相互嚙合。棲霞區(qū)象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家！秦淮區(qū)象鼻子氣動懸臂吊品牌

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    移動夾板6的側壁上對稱貫穿開設有兩個螺紋孔，兩個轉桿17分別與兩個螺紋孔相互嚙合，固定夾板5的頂壁上同樣開設有轉槽，轉槽內同樣設有限位板18，兩個轉桿17遠離移動夾板6的一端貫穿固定夾板5的頂壁并延伸至轉槽內，兩個轉桿17遠離移動夾板6的一端分別安裝在限位板18的頂壁上，轉桿17轉動時通過與移動夾板6的嚙合可將移動夾板6向固定夾板5處移動，移動夾板6與固定夾板的相互配合可將板材進行夾取，固定夾板5與移動夾板6相對一側的側壁上均安裝有防滑齒21，防滑齒21可將板材更穩(wěn)定的進行夾取。本發(fā)明中，本發(fā)明中，分別將第1電機2和第二電機3接通電源，先將第二電機3進行正轉，第二電機3轉動時帶動第1轉盤11轉動，第1轉盤11通過三角形傳動件14可將兩個第二轉盤12進行轉動，同時兩個第二轉盤12上均安裝的轉桿17可與移動夾板6進行嚙合，因此轉桿17轉動時可迫使移動夾板6向固定夾板5進行移動，進而在固定夾板5與移動夾板6的相互配合下可對板材進行夾緊，固定夾板5與移動夾板6上安裝的防滑齒21可防止板材滑落，增加穩(wěn)定性，將板材夾緊后，打開第1電機2并將第1電機2進行正轉，第1電機2通過驅動端安裝的斜齒輪8可將蝸桿9進行旋轉。秦淮區(qū)象鼻子氣動懸臂吊品牌

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