第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機40a和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機40b和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設置進入在物品2的底面設置的槽部的多個銷。該銷進入物品2的槽部，由此相對于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。棲霞區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！泉山區(qū)糖袋真空搬運機品牌

    能夠比第1、第二起重機40a、40b更快移動，因此通過高架搬運車50進行區(qū)段間(例如第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間)的物品2的搬運，從而能夠在短時間內(nèi)搬運物品2。這樣，將第1、第二起重機40a、40b與高架搬運車50的作用分開，由此能夠使搬運系統(tǒng)100整體的物品2的搬運效率提高。另外，將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11由第1起重機40a與高架搬運車50共享，并將第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12由第二起重機40b與高架搬運車50共享，因此無需另外設置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道10的鋪設所需要的成本。另外，高架搬運車50能夠在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14上行駛，因此如圖5的單點劃線所示，能夠在與第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp之間進行物品2的交接。其結果是，在產(chǎn)生第1、第二起重機40a、40b的故障、或者產(chǎn)生第1、第二起重機40a、40b因其他物品2的搬運而顧及不到等狀況的情況下，能夠暫時通過高架搬運車50進行與裝載端口lp之間的物品2的交接，能夠防止搬運效率的降低。并且，高架搬運車50在作為從其他區(qū)域搬運來的物品2的搬運目的地的裝載端口lp空置的情況下(能夠搬運的情況)，保持原樣地將物品2搬運至作為搬運目的地的裝載端口lp，由此能夠提高物品2的搬運效率。寶山區(qū)米袋真空搬運機原理江寧區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。

    本實用新型涉及自動化設備技術領域，尤其涉及一種新式真空搬運式機械手。背景技術：在自動化設備實現(xiàn)自動化生產(chǎn)加工的過程中，很多時候需要借助相應的機械手來實現(xiàn)工件抓取移送；其中，通過真空吸盤吸附抓取產(chǎn)品的機械手應用于非常。其中，對于現(xiàn)有的機械手而言，一般通過X軸驅動線性模組、Y軸驅動線性模組相配合來實現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動，或者通過水平氣缸、豎向氣缸相配合來實現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動；對于上述機械手而言，結構復雜、穩(wěn)定可靠性較差。技術實現(xiàn)要素：本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術的不足而提供一種新式真空搬運式機械手，該新式真空搬運式機械手設計新穎、結構簡單、穩(wěn)定可靠性好。為達到上述目的，本實用新型通過以下技術方案來實現(xiàn)。一種新式真空搬運式機械手，包括有機械手安裝架，機械手安裝架包括有呈豎向布置的固定安裝豎板，固定安裝豎板的下端側裝設有豎板固定座，豎板固定座的上端部與固定安裝豎板螺接；固定安裝豎板的前端側可相對活動地裝設有分別呈豎向布置的中間活動板、前端活動架，前端活動架位于中間活動板的前端側，中間活動板與固定安裝豎板之間裝設有呈水平橫向布置的水平導軌副。江寧區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家！

    但本發(fā)明并不限定于上述的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變更。例如，在上述的搬運系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運車50的移動路徑中配置儲料機(自動倉庫)等。儲料機例如可以設置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運車50可以能夠針對該儲料機的交接端口進行物品2的交接，例如，能夠在儲料機與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)，引用作為日本申請的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻的內(nèi)容作為本文記載的一部分。附圖標記說明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；12…第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機；40b…第二起重機；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺；43b…第二升降臺。江寧區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！普陀區(qū)工業(yè)真空搬運機

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    在圖1至圖3中包括有：1——機械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動槽12——豎板固定座2——中間活動板3——前端活動架4——水平導軌副41——水平導軌42——水平滑塊5——豎向導軌副51——豎向導軌52——豎向滑塊61——吸盤安裝架62——真空吸盤71——活動架驅動塊72——活動架驅動軸73——軸承8——機械手驅動電機9——驅動軸撥動塊。具體實施方式下面結合具體的實施方式來對本實用新型進行說明。如圖1至圖3所示，一種新式真空搬運式機械手，包括有機械手安裝架1，機械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11，固定安裝豎板11的下端側裝設有豎板固定座12，豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進一步的，固定安裝豎板11的前端側可相對活動地裝設有分別呈豎向布置的中間活動板2、前端活動架3，前端活動架3位于中間活動板2的前端側，中間活動板2與固定安裝豎板11之間裝設有呈水平橫向布置的水平導軌副4，前端活動架3與中間活動板2之間裝設有呈豎向布置的豎向導軌副5，前端活動架3的下端部裝設有吸盤安裝架61，吸盤安裝架61裝設有真空吸盤62。更進一步的，固定安裝豎板11的前表面開設有呈“n”形狀的活動槽111，前端活動架3螺裝有活動架驅動塊71。泉山區(qū)糖袋真空搬運機品牌

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