壁部的材料與散熱器相同，例如是金屬。若壁部的材料為金屬，則在壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)與外側(cè)之間能夠屏蔽磁場。作為理想的技術(shù)方案，所述散熱器具有設(shè)于所述第1面的凹部，所述壁部能嵌入所述凹部。由此，能夠分開制造散熱器和壁部。作為理想的技術(shù)方案，還具備設(shè)于所述壁部的內(nèi)周面的磁屏蔽層。由此，即使壁部由樹脂制成，在壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)與外側(cè)之間也能夠屏蔽磁場。又一技術(shù)方案的電動驅(qū)動裝置具備：電動馬達，其包含軸、與所述軸連動的馬達轉(zhuǎn)子、具有使所述馬達轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的定子芯的馬達定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個系統(tǒng)且用3相交流電對所述定子芯進行勵磁的多個線圈組、以及在內(nèi)側(cè)收納所述馬達轉(zhuǎn)子、所述馬達定子和所述多個線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對所述電動馬達進行驅(qū)動控制而設(shè)置的，包含設(shè)于所述軸的靠負(fù)載相反側(cè)的端部的磁體、以及位于所述軸的負(fù)載相反側(cè)且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板；第1線圈布線，其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來；散熱器，其具有第1面和位于所述第1面的相反側(cè)的第2面，該散熱器在所述第1面?zhèn)戎С兴鲭娐坊澹画h(huán)狀的壁部。棲霞區(qū)象鼻子氣動懸臂吊推薦廠家！天寧區(qū)象鼻子氣動懸臂吊哪家的好

本發(fā)明涉及具有對電動馬達的旋轉(zhuǎn)進行控制的電子控制裝置的電動驅(qū)動裝置和電動助力轉(zhuǎn)向裝置。背景技術(shù)：利用電動馬達產(chǎn)生輔助轉(zhuǎn)向扭矩的電動助力轉(zhuǎn)向裝置具備作為對電動馬達進行控制的裝置的電子控制裝置。例如，在專利文獻1中，記載有能夠?qū)㈦娮釉骷呙芏鹊匕惭b于基板的驅(qū)動裝置?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2016－34204號公報技術(shù)實現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題在專利文獻1的驅(qū)動裝置中，構(gòu)成第1逆變器部的開關(guān)元件和構(gòu)成第2逆變器部的開關(guān)元件相對于馬達的軸中心對稱地配置。構(gòu)成第1逆變器部的開關(guān)元件和構(gòu)成第2逆變器部的開關(guān)元件是驅(qū)動裝置所具有的電子元器件中發(fā)熱量較大的發(fā)熱元件。另外，在馬達的軸中心配置有旋轉(zhuǎn)角傳感器。在旋轉(zhuǎn)角傳感器的兩側(cè)具有發(fā)熱元件，因此存在旋轉(zhuǎn)角傳感器被自兩側(cè)加熱的可能性。本發(fā)明是鑒于上述課題而做出的，其目的在于，提供能夠抑制磁傳感器的溫度上升的電動驅(qū)動裝置和電動助力轉(zhuǎn)向裝置。用于解決問題的方案為了實現(xiàn)上述目的，一技術(shù)方案的電動驅(qū)動裝置具備：電動馬達。天寧區(qū)象鼻子氣動懸臂吊哪家的好六合區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    所述電路基板具有：檢測電路，其包含對所述磁體的旋轉(zhuǎn)進行檢測的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個電子元器件；以及控制電路，其包含對所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè)；以及第2部位，其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出，所述散熱器具有通孔，該通孔設(shè)置在所述第1面與所述第2面之間且供所述軸穿過，在自所述軸的軸向俯視時，所述通孔位于所述壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由此，能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路配置在靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱不易向磁傳感器傳遞，因此，能夠抑制磁傳感器的溫度上升。另外，壁部在電路基板側(cè)具有端部，帽能夠安裝于該端部。由此，能夠防止異物自散熱器的第1面?zhèn)冗M入壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由于磁于壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)，因此能夠抑制異物附著于磁體(發(fā)生污染)還具備多個肋。

    如圖1至圖3所示，一種晶圓搬運機械手，包括升降軸1、旋轉(zhuǎn)軸2和伸展軸3，所述的伸展軸3包括伸展電機34、一級伸展臂31、二級伸展臂32和手指固定座33，所述的一級伸展臂31與所述伸展電機34之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)5，所述的一級伸展臂31與所述的二級伸展臂32之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)6，所述的二級伸展臂32和所述的手指固定座33之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)7。所述的伸展電機34通過諧波減速機35驅(qū)動所述一級伸展臂31轉(zhuǎn)動。所述的伸展電機34、所述的一級關(guān)節(jié)5、所述的二級關(guān)節(jié)6和所述的三級關(guān)節(jié)7依次傳動，所述的一級關(guān)節(jié)5、所述的二級關(guān)節(jié)6和所述的三級關(guān)節(jié)7的傳動比為1:2:1，根據(jù)本機械手的運動原理，所述的手指固定座34始終保持直線運動。所述的一級關(guān)節(jié)5上設(shè)置有一級同步輪51，所述的二級關(guān)節(jié)6上設(shè)置有二級同步輪61，所述的一級同步輪51和所述的二級同步輪61通過一級同步帶52傳動連接，所述的一級伸展臂31內(nèi)還設(shè)置有與所述一級同步帶52相配合的一級張緊輪53。所述的二級關(guān),6上設(shè)置有三級同步輪62，所述的三級關(guān)節(jié)7上設(shè)置有四級同步輪71，所述的三級同步輪63和所述的四級同步輪71通過二級同步帶64傳動連接，所述的二級伸展,32內(nèi)還設(shè)置有與所述二級同步帶64相配合的二級張緊輪63。江寧區(qū)工業(yè)氣動懸臂吊推薦廠家！

    所述的伸展電機、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)的傳動比為1:2:1。上述技術(shù)方案中，的，所述的伸展電機通過諧波減速機驅(qū)動所述一級伸展臂轉(zhuǎn)動。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級關(guān)節(jié)上設(shè)置有一級同步輪，所述的二級關(guān)節(jié)上設(shè)置有二級同步輪，所述的一級同步輪和所述的二級同步輪通過一級同步帶傳動連接。上述技術(shù)方案中，的，所述的一級伸展臂內(nèi)還設(shè)置有與所述一級同步帶相配合的一級張緊輪。上述技術(shù)方案中，的，所述的二級關(guān)節(jié)上設(shè)置有三級同步輪，所述的三級關(guān)節(jié)上設(shè)置有四級同步輪，所述的三級同步輪和所述的四級同步輪通過二級同步帶傳動連接。上述技術(shù)方案中，的，所述的二級伸展臂內(nèi)還設(shè)置有與所述二級同步帶相配合的二級張緊輪。上述技術(shù)方案中，的，所述的手指固定座上設(shè)置有插槽，所述的插槽內(nèi)可拆卸安裝晶圓固定裝置。上述技術(shù)方案中，的，所述的晶圓固定裝置包括真空吸盤、氣缸機械手。上述技術(shù)方案中，的，所述的手指固定座上還設(shè)置有掃描傳感器。本發(fā)明具體為一種用于晶圓搬運的機械手，它是自動晶圓處理設(shè)備中組成部分。江寧區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家！鐘樓區(qū)常見氣動懸臂吊原理

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    能夠使第1線圈布線和第2線圈布線在與軸的軸向交叉的方向上進一步遠(yuǎn)離磁傳感器。作為理想的技術(shù)方案，所述散熱器具有凹部和凸部中的一者，所述適配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能夠?qū)⑦m配器相對于散熱器定位。作為理想的技術(shù)方案，還具備配置于所述凹部的第1粘接劑，利用所述第1粘接劑將所述散熱器和所述適配器粘接起來。由此，能夠確保適配器不脫離散熱器。作為理想的技術(shù)方案，還具備將所述蓋體固定于所述散熱器的快速裝配機構(gòu)，所述快速裝配機構(gòu)的卡定部和被卡定部中的一者設(shè)于所述蓋體的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者設(shè)于所述散熱器的外周部。由此，能夠?qū)⑸w體和散熱器容易地固定在一起。天寧區(qū)象鼻子氣動懸臂吊哪家的好

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