但本發(fā)明并不限定于上述的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內能夠進行各種變更。例如，在上述的搬運系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運車50的移動路徑中配置儲料機(自動倉庫)等。儲料機例如可以設置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運車50可以能夠針對該儲料機的交接端口進行物品2的交接，例如，能夠在儲料機與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內，引用作為日本申請的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻的內容作為本文記載的一部分。附圖標記說明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內頂棚軌道；12…第二區(qū)段內頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機；40b…第二起重機；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺；43b…第二升降臺。六合區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！云龍區(qū)常見真空搬運機哪家的好

    并且沿著裝載端口lp設置。第1區(qū)段內頂棚軌道11是以包圍第1保管區(qū)域sa1的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，第二區(qū)段內頂棚軌道12是以包圍第二保管區(qū)域sa2的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，但并不限定于該結構。第1區(qū)段內頂棚軌道11具有直線部11a和循環(huán)部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區(qū)域sa1與隔著第1保管區(qū)域sa1對置配置的多個裝載端口lp之間。循環(huán)部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個直線部11a彼此連接。第二區(qū)段內頂棚軌道12與第1區(qū)段內頂棚軌道11相同地，具有直線部12a和循環(huán)部12b。直線部12a在裝載端口lp的正上方沿著裝載端口lp與y方向平行地配置。直線部12a在俯視下分別配置于第二保管區(qū)域sa2與隔著第二保管區(qū)域sa2對置配置的多個裝載端口lp之間。循環(huán)部12b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個直線部12a彼此連接。此外，在本實施方式中，示出第1區(qū)段內頂棚軌道11與第二區(qū)段內頂棚軌道12是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1區(qū)段內頂棚軌道11與第二區(qū)段內頂棚軌道12也可以是不同形狀。第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14被設置為分別沿著x方向呈直線狀延伸。云龍區(qū)常見真空搬運機哪家的好棲霞區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內頂棚軌道。

    將沿上下方向和y方向排列的多個第1、第二保管部20a、20b中的較上層且y方向的兩端的兩個作為第1、第二交接端口30a、30b，并將其他作為第1、第二保管部20a、20b使用。在圖1中對第1、第二交接端口30a、30b標注影線。這樣，作為第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的較上層，由此能夠通過高架搬運車50和第1、第二起重機40a、40b雙方進行物品2的交接。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的兩端的兩個，能夠將較上層的第1、第二保管部20a、20b的全部作為第1、第二交接端口30a、30b使用。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定第1、第二保管部20a、20b的較上層。第1、第二交接端口30a、30b例如也可以與第1、第二保管部20a、20b設置。例如，如圖1所示，也可以在俯視下，在第1區(qū)段間頂棚軌道13與第1區(qū)段內頂棚軌道11之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第1區(qū)段內頂棚軌道11之間、第1區(qū)段間頂棚軌道13與第二區(qū)段內頂棚軌道12之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第二區(qū)段內頂棚軌道12之間設置交接端口130。第1、第二起重機40a、40b能夠針對該交接端口130進行物品2的交接。另外。雨花臺區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！

    各子吸盤下端面相平，所述子吸盤包括氣罩，所述氣罩上端與密封腔連通，所述氣罩下端密封設置有皮套。進一步地，所述皮套中間位置連接有向上的拉桿，所述氣罩上端與拉桿對應位置處開有導向孔，所述氣罩上環(huán)繞導向孔還環(huán)繞設置有2-6個氣孔，所述氣孔下端外側還設置有緩沖環(huán)，所述拉桿上還設置有擋板，擋板隨拉桿上升時能夠與緩沖環(huán)密封，所述拉桿上端還設置有限位環(huán)。進一步地，所述皮套中間位置設置有夾板，所述拉桿與夾板相連。進一步地，所述擋板截面為向下的錐形。進一步地，所述密封腔的上壁和下壁之間設置有3-6根支撐桿。進一步地，所述氣罩靠近下端的截面面積大于靠近上端的截面面積。本實用新型的有益效果在于：增加子吸盤，子吸盤包括氣罩，所述氣罩上端與密封腔連通，所述氣罩下端密封設置有皮套，任一個子吸盤吸附石板均能夠為石板提供支撐；設置皮套能夠保證不與石板密封的子吸盤不漏氣；設置拉桿、導向孔、擋板、限位環(huán)、氣孔、緩沖環(huán)，能夠有效的限制皮套的變形量，在保證真空吸力的情況下避免拉壞皮套，提高使用壽命；設置夾板，能夠提高皮套的受力面積，保證皮套使用壽命；設置支撐桿，能夠防止密封腔變形。附圖說明圖1為真空吸吊機結構圖示意圖。棲霞區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家！云龍區(qū)常見真空搬運機哪家的好

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    并使轉動部件圍繞上下方向的軸進行轉動。轉動部通過來自轉動驅動部的驅動力而轉動，能夠使升降驅動部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進行轉動。通過該轉動部能夠將被保持部53保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運車50也可以不具備轉動部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結構(同一結構或者大致同一結構)。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內頂棚軌道11、第二區(qū)段內頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51中的任一者均能夠行駛。這樣，由于第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51共用，因此無需按照其他結構制造第1、第二行駛部41a、41b與行駛部51，能夠減少第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的制造成本。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51具有：多個車輪71a，它們與頂棚軌道10的下方的內表面抵接；和行駛部主體71b，其安裝有上述多個車輪71a。行駛部主體71b具備用于驅動車輪71a的行駛驅動部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。云龍區(qū)常見真空搬運機哪家的好

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