發(fā)明內容本實用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運機械手，利用真空原理，吸附物體，進而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運、翻轉、裝配等工序，操作簡單、運作省力、高效安全。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉座、主旋轉軸、主關節(jié)鎖死裝置、大側板、擺動主臂、擺動副臂、副關節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉座、旋轉臂主軸、旋轉臂、垂臂旋轉座、副旋轉軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動小車截面呈長方形，其底部四角各設有一萬向輪，移動小車頂端中部設有立柱，左側設有拉桿，立柱頂端設有主旋轉座，可旋轉360°，主旋轉座通過主旋轉軸與大側板相連接，大側板內設有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側板左側下端設有主升降氣缸，大側板上設有內側板，主旋轉座和大側板之間設有主關節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動主臂位于擺動副臂下側并與擺動副臂相平行，橫臂旋轉座通過旋轉臂主軸與旋轉臂相連接，旋轉臂可旋轉300°，旋轉臂和橫臂旋轉座之間設有副關節(jié)鎖死裝置。浦口區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！秦淮區(qū)象鼻子真空搬運機供應

    但本發(fā)明并不限定于上述的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內能夠進行各種變更。例如，在上述的搬運系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運車50的移動路徑中配置儲料機(自動倉庫)等。儲料機例如可以設置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運車50可以能夠針對該儲料機的交接端口進行物品2的交接，例如，能夠在儲料機與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內，引用作為日本申請的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻的內容作為本文記載的一部分。附圖標記說明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內頂棚軌道；12…第二區(qū)段內頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機；40b…第二起重機；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺；43b…第二升降臺。雨花臺區(qū)糖袋真空搬運機原理溧水區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家！

    搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備，物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。

    并不限定于第1、第二處理裝置tl1、tl2具備兩處裝載端口lp，也可以具備一處或者三處以上。另外，在制造工廠等中配置用于暫時保管物品2的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2。第1保管區(qū)域sa1與第1處理裝置tl1對應設置，第1保管區(qū)域sa1配置于兩列第1處理裝置tl1之間。第二保管區(qū)域sa2與第二處理裝置tl2對應設置，第二保管區(qū)域sa2配置于兩列第二處理裝置tl2之間。在各列第1、第二處理裝置tl1、tl2中，裝載端口lp配置于與各個第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2對置的一側。如圖1所示，搬運系統(tǒng)100具備：頂棚軌道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重機40a、40b以及高架搬運車50。頂棚軌道10具有第1區(qū)段內頂棚軌道11、第二區(qū)段內頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16。第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16是將第1區(qū)段內頂棚軌道11與第二區(qū)段內頂棚軌道12連結的區(qū)段間頂棚軌道。第1區(qū)段內頂棚軌道11從第1處理裝置tl1的裝載端口lp的正上方錯開配置，并且沿著裝載端口lp設置。第二區(qū)段內頂棚軌道12從第二處理裝置tl2的裝載端口lp的正上方錯開配置。江寧區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！

    圖7是表示通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖8是接著圖7，通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖9是接著圖8，通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實施方式以下，參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中，使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中，將鉛直方向設為z方向，將水平方向設為x方向、y方向。x方向是水平方向內的一個方向，是沿著后述的第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著第1區(qū)段內頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關于x、y、z方向的各方向，適當?shù)貙⑴c箭頭相同一側稱為+側(例如，+x側)，將其相反側稱為-x側(例如，-x側)。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設置于半導體設備的制造工廠等，對收容有在半導體設備的制造中使用的半導體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中，使用物品2是foup的例子來進行說明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。棲霞區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！長寧區(qū)工業(yè)真空搬運機品牌

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本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內頂棚軌道。秦淮區(qū)象鼻子真空搬運機供應

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