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來源: 發(fā)布時間:2022-06-24

    保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動部54懸掛且以能夠擺動的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu),也可以是不同結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動部54例如是升降機,通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降,通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制,使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外,升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制,將保持部53保持于目標(biāo)高度。橫向伸出機構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動板。可動板能夠向行駛部51的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動。在可動板安裝有轉(zhuǎn)動部和升降驅(qū)動部54。主體部52具有引導(dǎo)橫向伸出機構(gòu)55的未圖示的引導(dǎo)件、和驅(qū)動橫向伸出機構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動部等。橫向伸出機構(gòu)55通過來自電動馬達(dá)等驅(qū)動部的驅(qū)動力,使升降驅(qū)動部54和保持部53沿著引導(dǎo)件,在突出位置與收納位置之間移動。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置。轉(zhuǎn)動部具有未圖示的轉(zhuǎn)動部件和轉(zhuǎn)動驅(qū)動部。轉(zhuǎn)動部件被設(shè)置為能夠圍繞上下方向的軸進行轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部件安裝于升降驅(qū)動部54或者保持部53。轉(zhuǎn)動驅(qū)動部使用電動馬達(dá)等。江寧區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運機推薦廠家!溧水區(qū)工業(yè)真空搬運機哪里可以買到

    并不限定于第1、第二處理裝置tl1、tl2具備兩處裝載端口lp,也可以具備一處或者三處以上。另外,在制造工廠等中配置用于暫時保管物品2的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2。第1保管區(qū)域sa1與第1處理裝置tl1對應(yīng)設(shè)置,第1保管區(qū)域sa1配置于兩列第1處理裝置tl1之間。第二保管區(qū)域sa2與第二處理裝置tl2對應(yīng)設(shè)置,第二保管區(qū)域sa2配置于兩列第二處理裝置tl2之間。在各列第1、第二處理裝置tl1、tl2中,裝載端口lp配置于與各個第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2對置的一側(cè)。如圖1所示,搬運系統(tǒng)100具備:頂棚軌道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重機40a、40b以及高架搬運車50。頂棚軌道10具有第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16。第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16是將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12連結(jié)的區(qū)段間頂棚軌道。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11從第1處理裝置tl1的裝載端口lp的正上方錯開配置,并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12從第二處理裝置tl2的裝載端口lp的正上方錯開配置。錫山區(qū)糖袋真空搬運機原理浦口區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家!

第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機40a和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機40b和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示,第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個銷。該銷進入物品2的槽部,由此相對于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。

    第1、第二起重機40a、40b能夠在上下的第1、第二保管部20a、20b之間搬運物品2。另外,在物品2被高架搬運車50載置于第1交接端口30a的情況下,若第1起重機40a能夠搬運至作為搬運目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp,則將物品2搬運至該裝載端口lp,若第1起重機40a不能搬運至作為搬運目的地的裝載端口lp,則將物品2搬運至第1保管部20a,在變?yōu)槟軌虬徇\的時刻將物品2從第1保管部20a搬運至作為搬運目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp。另外,在物品2被高架搬運車50載置于第二交接端口30b的情況下,若第二起重機40b能夠搬運至作為搬運目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口lp,則將物品2搬運至該裝載端口lp,若第二起重機40b不能搬運至作為搬運目的地的裝載端口lp,則將物品2搬運至第二保管部20b,在變?yōu)槟軌虬徇\的時刻將物品2從第二保管部20b搬運至作為搬運目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口lp。在搬運系統(tǒng)100中,高架搬運車50在不同的第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間搬運物品2。高架搬運車50的行駛速度被設(shè)定為比第1、第二起重機40a、40b快。其結(jié)果是,即便是在遠(yuǎn)離的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2之間也能夠通過高架搬運車50在短時間內(nèi)搬運物品2。此外。棲霞區(qū)米袋真空搬運機推薦廠家!

    搬運系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2可以是由用于設(shè)置搬運系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中,搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等,對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導(dǎo)體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示,第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外,多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子,也可以是其他配置。另外。浦口區(qū)常見真空搬運機推薦廠家!溧陽粉塵真空搬運機推薦廠家

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    第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的行駛速度能夠任意地設(shè)定,也可以使其與第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的行駛速度相同。圖7~圖9是表示通過高架搬運車50搬運物品2時的移動路徑的一個例子的圖。在圖7~圖9中示出從第二保管區(qū)域sa2開始以第1保管區(qū)域sa1或者第1裝置區(qū)域ta1為下一個搬運目的地的物品2被第二起重機40b載置于第二交接端口30b的例子。例如,如圖7所示,在物品2被載置于在第二保管區(qū)域sa2的+y側(cè)端部和-x側(cè)配置的第二交接端口30b的情況下,控制裝置60(參照圖1)針對高架搬運車50進行指示以將第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運至第1保管區(qū)域sa1的第1交接端口30a。高架搬運車50沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動至第二交接端口30b,使橫向伸出機構(gòu)55向+x方向突出,并驅(qū)動升降驅(qū)動部54使保持部53下降,由此通過保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外,高架搬運車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息,獲取以下信息:接收到的物品2的搬運目的地是在第1保管區(qū)域sa1的+y側(cè)端部和+x側(cè)配置的第1交接端口30a。此外,第二起重機40b和高架搬運車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12內(nèi),例如沿與順時針相同方向環(huán)繞行駛。其結(jié)果是。溧水區(qū)工業(yè)真空搬運機哪里可以買到

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