并在與作為搬運(yùn)目的地的第二交接端口30b對應(yīng)的位置停止。接著，高架搬運(yùn)車50使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向或者-x方向突出，驅(qū)動升降驅(qū)動部54并通過保持部53將物品2載置于第二交接端口30b。通過以上的動作，能夠?qū)⑽锲?從第1保管區(qū)域sa1搬運(yùn)至第二保管區(qū)域sa2。此外，在上述的實施方式中，示出將物品2在第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間進(jìn)行搬運(yùn)的例子，但通過與上述相同的動作能夠?qū)⑽锲?也在第1保管區(qū)域sa1與其他保管區(qū)域之間、或者在第二保管區(qū)域sa2與其他保管區(qū)域之間進(jìn)行搬運(yùn)。另外，載置于其他保管區(qū)域的交接端口的物品2被存在于該保管區(qū)域的起重機(jī)搬運(yùn)至保管部或者處理裝置的裝載端口這點(diǎn)如上所述。如上所述，根據(jù)本實施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100，第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠邊行駛邊使第1、第二升降臺43a、43b升降，因此與必須在停止后使保持部53升降的高架搬運(yùn)車50相比，物品2的移送所需要的時間更短，能夠使區(qū)段內(nèi)(第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi))的物品2的搬運(yùn)效率提高。并且，通過第1、第二起重機(jī)40a、40b進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品2的搬運(yùn)，從而能夠使物品2的保管數(shù)量增加。另外，高架搬運(yùn)車50不具有第1、第二起重機(jī)40a、40b的第1、第二桅桿42a、42b那樣的垂下的部件。六合區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！宜興包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)品牌

    第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的行駛速度能夠任意地設(shè)定，也可以使其與第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的行駛速度相同。圖7～圖9是表示通過高架搬運(yùn)車50搬運(yùn)物品2時的移動路徑的一個例子的圖。在圖7～圖9中示出從第二保管區(qū)域sa2開始以第1保管區(qū)域sa1或者第1裝置區(qū)域ta1為下一個搬運(yùn)目的地的物品2被第二起重機(jī)40b載置于第二交接端口30b的例子。例如，如圖7所示，在物品2被載置于在第二保管區(qū)域sa2的+y側(cè)端部和-x側(cè)配置的第二交接端口30b的情況下，控制裝置60(參照圖1)針對高架搬運(yùn)車50進(jìn)行指示以將第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運(yùn)至第1保管區(qū)域sa1的第1交接端口30a。高架搬運(yùn)車50沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動至第二交接端口30b，使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向突出，并驅(qū)動升降驅(qū)動部54使保持部53下降，由此通過保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外，高架搬運(yùn)車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息，獲取以下信息：接收到的物品2的搬運(yùn)目的地是在第1保管區(qū)域sa1的+y側(cè)端部和+x側(cè)配置的第1交接端口30a。此外，第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12內(nèi)，例如沿與順時針相同方向環(huán)繞行駛。其結(jié)果是。宜興包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)品牌江寧區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    吸盤20在沒有了真空作用力下，失去吸附力，被搬運(yùn)物體脫離吸盤20，到此完成整個的搬運(yùn)過程。本實用新型安裝時，只需將立柱I底端固定在地面上即可。上述實施例只用于解釋說明本實用新型的發(fā)明構(gòu)思，而非對本實用新型權(quán)利保護(hù)的限定，凡利用此構(gòu)思對本實用新型進(jìn)行非實質(zhì)性的改動，均應(yīng)落入本實用新型的保護(hù)范圍。權(quán)利要求1.一種輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于包括立柱、支柱、旋臂、斜拉桿、真空泵、連接管、搬運(yùn)管、真空吸盤裝置；支柱包括套置在固定柱外壁上的旋轉(zhuǎn)軸套，固定柱固定在立柱的上端，旋臂一端直接與旋轉(zhuǎn)軸套固定連接，另一端則通過斜拉桿與旋轉(zhuǎn)軸套固定連接；連接管一端與真空泵連通，另一端與搬運(yùn)管連通，真空吸盤裝置安裝在搬運(yùn)管的底端，搬運(yùn)管滑動連接安裝在旋臂上。2.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述固定柱通過上蓋和下蓋固定在立柱上。3.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述固定柱與旋轉(zhuǎn)軸套之間且由上而下依次安裝有并帽、墊圈、上軸承、下軸承。4.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述旋臂一端直接與旋轉(zhuǎn)軸套的下端固定連接，另一端則通過斜拉桿與旋轉(zhuǎn)軸套的上端固定連接。

    并使轉(zhuǎn)動部件圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部通過來自轉(zhuǎn)動驅(qū)動部的驅(qū)動力而轉(zhuǎn)動，能夠使升降驅(qū)動部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動。通過該轉(zhuǎn)動部能夠?qū)⒈槐３植?3保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運(yùn)車50也可以不具備轉(zhuǎn)動部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結(jié)構(gòu)(同一結(jié)構(gòu)或者大致同一結(jié)構(gòu))。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51中的任一者均能夠行駛。這樣，由于第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51共用，因此無需按照其他結(jié)構(gòu)制造第1、第二行駛部41a、41b與行駛部51，能夠減少第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的制造成本。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51具有：多個車輪71a，它們與頂棚軌道10的下方的內(nèi)表面抵接；和行駛部主體71b，其安裝有上述多個車輪71a。行駛部主體71b具備用于驅(qū)動車輪71a的行駛驅(qū)動部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。六合區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。溧水區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！鐘樓區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)哪家有

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    第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機(jī)40a和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進(jìn)入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個銷。該銷進(jìn)入物品2的槽部，由此相對于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。宜興包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)品牌

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