下垂臂19末端設(shè)有真空吸盤21，真空吸盤21下端吸有工件。該機(jī)械手利用真空吸附原理，將真空泵或真空鼓風(fēng)機(jī)作為真空源，通過抽空真空吸盤21內(nèi)的空氣產(chǎn)生真空，從而將各種工件牢牢吸起，并通過擺動(dòng)主臂10、擺動(dòng)副臂11、旋轉(zhuǎn)臂16、下垂臂19等將工件搬運(yùn)到指定地點(diǎn)。該真空是由一個(gè)外部的真空泵或真空鼓風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的，不需要鏈或繩子吊重機(jī)或其它的提升設(shè)備來抓取或提起的負(fù)載起重。通過檢測(cè)真空吸盤21內(nèi)的真空度，能自動(dòng)識(shí)別下垂臂19上有無載荷，并經(jīng)氣動(dòng)邏輯控制回路自動(dòng)調(diào)整主升降氣缸5內(nèi)的氣壓，達(dá)到自動(dòng)平衡的目的。工作時(shí)，重物猶如懸浮在空中，可避免產(chǎn)品對(duì)接時(shí)的碰撞，避免工件表面損傷。在機(jī)械手的工作范圍內(nèi)，作業(yè)員可將其移動(dòng)到三維空間內(nèi)任意位置，從而實(shí)現(xiàn)工件的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等操作。整機(jī)無須電控系統(tǒng)，只需壓縮空氣和真空源即可工作，非常方便。移動(dòng)小車2用于更換工位，移動(dòng)小車2上設(shè)有立柱4，立柱4頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座6，可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手的主旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并對(duì)周圍360°范圍內(nèi)的工件進(jìn)行操作。真空搬運(yùn)機(jī)械手的選型是根據(jù)需要搬運(yùn)的工件大小、材質(zhì)、重量來定的，不同的材質(zhì)需要用不同材質(zhì)的吸盤。比如工件表面比較粗糙的一般選項(xiàng)用硅膠或者聚胺脂吸盤。溧水區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！蘇州象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)原理

    第1、第二起重機(jī)40a、40b在下層的第1、第二保管部20a、20b與上層的第1、第二保管部20a、20b之間搬運(yùn)物品2。高架搬運(yùn)車50沿著頂棚軌道10(第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14)移動(dòng)，在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之間進(jìn)行物品2的交接。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個(gè)例子的圖。如圖5所示，高架搬運(yùn)車50具有行駛部51和主體部52。行駛部51與第1、第二行駛部41a、41b相同地，具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6)，并沿著頂棚軌道10行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如可以是設(shè)置于行駛部51且驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá)，也可以是使用頂棚軌道10設(shè)置的線性馬達(dá)。主體部52經(jīng)由安裝部52a安裝于行駛部51的下部。主體部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驅(qū)動(dòng)部54，其懸掛保持部53且使其升降；以及橫向伸出機(jī)構(gòu)55，其使升降驅(qū)動(dòng)部54移動(dòng)。保持部53通過把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動(dòng)的爪部53a的卡盤，使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。常州多功能真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)棲霞區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。

    高架搬運(yùn)車50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12針對(duì)交接端口130進(jìn)行物品2的交接，并且，也能夠從第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對(duì)交接端口130進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是，第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運(yùn)車50能夠以不進(jìn)入第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的方式通過交接端口130在與第1、第二起重機(jī)40a、40b之間進(jìn)行物品2的交接。第1起重機(jī)40a在第1保管區(qū)域sa1搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2搬運(yùn)物品2。圖4是表示第1、第二起重機(jī)40a、40b的一個(gè)例子的圖。如圖4所示，第1、第二起重機(jī)40a、40b使用懸掛式起重機(jī)。由于第1、第二起重機(jī)40a、40b是懸掛式起重機(jī)，因此無需在與第1、第二起重機(jī)40a、40b對(duì)應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道，從而能夠以低成本設(shè)置起重機(jī)用的軌道。如圖4所示，第1、第二起重機(jī)40a、40b分別具備第1、第二行駛部41a、41b、第1、第二桅桿42a、42b、以及第1、第二移送部44a、44b。第1、第二移送部44a、44b分別具備第1、第二升降臺(tái)43a、43b、第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b。第1行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6)，并沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。雨花臺(tái)區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。六合區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！睢寧米袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家

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    活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊71裝設(shè)有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸72，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸72伸入至固定安裝豎板11的活動(dòng)槽111內(nèi)且活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸72裝設(shè)有嵌插于活動(dòng)槽111內(nèi)的軸承73；固定安裝豎板11的后表面裝設(shè)有機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)8，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)8的動(dòng)力輸出軸裝設(shè)有位于活動(dòng)槽111旁側(cè)且用于撥動(dòng)活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸72動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊9。需進(jìn)一步指出，水平導(dǎo)軌副4包括有螺裝于固定安裝豎板11且沿著左右方向水平延伸的水平導(dǎo)軌41、螺裝于中間活動(dòng)板2的水平滑塊42，水平導(dǎo)軌41與水平滑塊42相配合。另外，豎向?qū)к壐?包括有設(shè)置于前端活動(dòng)架3且呈豎向布置的豎向?qū)к?1、螺裝于中間活動(dòng)板2的豎向滑塊52，豎向?qū)к?1與豎向滑塊52相配合。在本實(shí)用新型產(chǎn)品移送動(dòng)作的過程中，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)8驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊9擺動(dòng)，擺動(dòng)的驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊9驅(qū)動(dòng)活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸72擺動(dòng)，在此過程中，軸承73與活動(dòng)槽111相配合并實(shí)現(xiàn)對(duì)活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸72導(dǎo)向，以使得活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸72沿著活動(dòng)槽111移動(dòng)，且活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸72帶動(dòng)前端活動(dòng)架3同步移動(dòng)，并實(shí)現(xiàn)上升、下降動(dòng)作。其中，本實(shí)用新型通過真空吸盤62吸附抓取產(chǎn)品。需強(qiáng)調(diào)的是，本實(shí)用新型只通過一電機(jī)即可實(shí)現(xiàn)真空吸盤62上升、下降動(dòng)作，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。綜合上述情況可知，通過上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。蘇州象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)原理

上海勁容自動(dòng)化設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備，以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)***管理的追求。公司自創(chuàng)立以來，投身于氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通，是機(jī)械及行業(yè)設(shè)備的主力軍。上海勁容自動(dòng)化不斷開拓創(chuàng)新，追求出色，以技術(shù)為先導(dǎo)，以產(chǎn)品為平臺(tái)，以應(yīng)用為重點(diǎn)，以服務(wù)為保證，不斷為客戶創(chuàng)造更高價(jià)值，提供更優(yōu)服務(wù)。上海勁容自動(dòng)化始終關(guān)注機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)。滿足市場(chǎng)需求，提高產(chǎn)品價(jià)值，是我們前行的力量。