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在圖1至圖3中包括有:1——機(jī)械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動(dòng)槽12——豎板固定座2——中間活動(dòng)板3——前端活動(dòng)架4——水平導(dǎo)軌副41——水平導(dǎo)軌42——水平滑塊5——豎向?qū)к壐?1——豎向?qū)к?2——豎向滑塊61——吸盤安裝架62——真空吸盤71——活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊72——活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸73——軸承8——機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)9——驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體的實(shí)施方式來對本實(shí)用新型進(jìn)行說明。如圖1至圖3所示,一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手,包括有機(jī)械手安裝架1,機(jī)械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11,固定安裝豎板11的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座12,豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進(jìn)一步的,固定安裝豎板11的前端側(cè)可相對活動(dòng)地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動(dòng)板2、前端活動(dòng)架3,前端活動(dòng)架3位于中間活動(dòng)板2的前端側(cè),中間活動(dòng)板2與固定安裝豎板11之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副4,前端活動(dòng)架3與中間活動(dòng)板2之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?,前端活動(dòng)架3的下端部裝設(shè)有吸盤安裝架61,吸盤安裝架61裝設(shè)有真空吸盤62。更進(jìn)一步的,固定安裝豎板11的前表面開設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽111,前端活動(dòng)架3螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊71。江寧區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!長寧區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)原理
本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù):在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對應(yīng),因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。賈汪區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)原理浦口區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!
高架搬運(yùn)車50能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12針對交接端口130進(jìn)行物品2的交接,并且,也能夠從第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對交接端口130進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是,第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運(yùn)車50能夠以不進(jìn)入第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的方式通過交接端口130在與第1、第二起重機(jī)40a、40b之間進(jìn)行物品2的交接。第1起重機(jī)40a在第1保管區(qū)域sa1搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2搬運(yùn)物品2。圖4是表示第1、第二起重機(jī)40a、40b的一個(gè)例子的圖。如圖4所示,第1、第二起重機(jī)40a、40b使用懸掛式起重機(jī)。由于第1、第二起重機(jī)40a、40b是懸掛式起重機(jī),因此無需在與第1、第二起重機(jī)40a、40b對應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道,從而能夠以低成本設(shè)置起重機(jī)用的軌道。如圖4所示,第1、第二起重機(jī)40a、40b分別具備第1、第二行駛部41a、41b、第1、第二桅桿42a、42b、以及第1、第二移送部44a、44b。第1、第二移送部44a、44b分別具備第1、第二升降臺(tái)43a、43b、第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b。第1行駛部41a具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照圖6),并沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11行駛。
其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部;以及高架搬運(yùn)車,其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu),上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛,其中,第1起重機(jī)在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運(yùn)物品,第二起重機(jī)在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品,高架搬運(yùn)車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,通過第1、第二起重機(jī)進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運(yùn),從而能夠增加物品的保管數(shù)量,通過高架搬運(yùn)車進(jìn)行區(qū)段間的物品的搬運(yùn),從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外,由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機(jī)的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾,并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由第1、第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車共享,因此無需分別對應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外。高淳區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!
并不限定于第1、第二處理裝置tl1、tl2具備兩處裝載端口lp,也可以具備一處或者三處以上。另外,在制造工廠等中配置用于暫時(shí)保管物品2的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2。第1保管區(qū)域sa1與第1處理裝置tl1對應(yīng)設(shè)置,第1保管區(qū)域sa1配置于兩列第1處理裝置tl1之間。第二保管區(qū)域sa2與第二處理裝置tl2對應(yīng)設(shè)置,第二保管區(qū)域sa2配置于兩列第二處理裝置tl2之間。在各列第1、第二處理裝置tl1、tl2中,裝載端口lp配置于與各個(gè)第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2對置的一側(cè)。如圖1所示,搬運(yùn)系統(tǒng)100具備:頂棚軌道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重機(jī)40a、40b以及高架搬運(yùn)車50。頂棚軌道10具有第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16。第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16是將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12連結(jié)的區(qū)段間頂棚軌道。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11從第1處理裝置tl1的裝載端口lp的正上方錯(cuò)開配置,并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12從第二處理裝置tl2的裝載端口lp的正上方錯(cuò)開配置。浦口區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家!江蘇常見真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買到
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施邁茨推出了適用于各行業(yè)人工搬運(yùn)任務(wù)的搬運(yùn)技術(shù)。該方案由真空搬運(yùn)設(shè)備(如Jumbo真空管吊具或VacuMaster真空起重機(jī))和配套的軌道系統(tǒng)構(gòu)成。真空搬運(yùn)設(shè)備選購指導(dǎo):真空搬運(yùn)設(shè)備的功能和選購真空搬運(yùn)設(shè)備可為客戶打造符合人體工程學(xué)的工作環(huán)境。該類設(shè)備可有效避免由于抬起和移動(dòng)重負(fù)荷工件而引發(fā)的健康問題。施邁茨推出的真空搬運(yùn)設(shè)備配備有的鋁合金軌道系統(tǒng)。軌道系統(tǒng)的適配性較好,與真空搬運(yùn)設(shè)備搭配使用可令工作效率得到提升,其設(shè)計(jì)同樣符合人體工程學(xué)原理。施邁茨的真空搬運(yùn)設(shè)備分為Jumbo真空管吊具和VacuMaster真空起重機(jī)兩大系列。我們的真空搬運(yùn)設(shè)備符合CE認(rèn)證以及歐盟所有現(xiàn)行的法律標(biāo)準(zhǔn)。我們的設(shè)備全部帶有CE標(biāo)簽,運(yùn)輸前均經(jīng)過單獨(dú)測試,并且交付時(shí)隨附合格聲明、操作及維護(hù)說明書。真空搬運(yùn)設(shè)備實(shí)例迄今為止,施邁茨真空搬運(yùn)系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用在多種行業(yè)領(lǐng)域中,為物料運(yùn)輸效率提供有效保障。多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)讓我們可以與客戶始終保持緊密合作,我們了解客戶的工作流程,并且有能力生產(chǎn)出符合嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。在保證材料和雇員安全的同時(shí),真空搬運(yùn)設(shè)備可以更快速、更穩(wěn)定地搬運(yùn)負(fù)載。此外,施邁茨還可根據(jù)客戶的要求提供整套工作區(qū)方案。長寧區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)原理