由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個(gè)。第1、第二保管部20a、20b在各個(gè)第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2配置兩列。第1、第二保管部20a、20b的各個(gè)列相對(duì)于裝載端口lp的列在x方向?qū)χ门渲?。?保管部20a配置于相對(duì)于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯(cuò)開(kāi)的位置。第二保管部20b配置于相對(duì)于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯(cuò)開(kāi)的位置。在第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向設(shè)置兩層。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于兩層，可也以設(shè)置一層或者三層以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以設(shè)置于地板面上，來(lái)代替從頂棚懸掛。第1交接端口30a設(shè)置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b設(shè)置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有與第1、第二保管部20a、20b相同的結(jié)構(gòu)，第1、第二保管部20a、20b中的一個(gè)或者多個(gè)作為第1、第二交接端口30a、30b使用。在本實(shí)施方式中。江寧區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！徐匯區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)原理

    圖7是表示通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖8是接著圖7，通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖9是接著圖8，通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實(shí)施方式以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在以下的各圖中，使用xyz坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說(shuō)明。在該xyz坐標(biāo)系中，將鉛直方向設(shè)為z方向，將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向，是沿著后述的第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關(guān)于x、y、z方向的各方向，適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱(chēng)為+側(cè)(例如，+x側(cè))，將其相反側(cè)稱(chēng)為-x側(cè)(例如，-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等，對(duì)收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中，使用物品2是foup的例子來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。靜安區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)品牌溧水區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11是以包圍第1保管區(qū)域sa1的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是以包圍第二保管區(qū)域sa2的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11具有直線部11a和循環(huán)部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個(gè)裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區(qū)域sa1與隔著第1保管區(qū)域sa1對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部11a彼此連接。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11相同地，具有直線部12a和循環(huán)部12b。直線部12a在裝載端口lp的正上方沿著裝載端口lp與y方向平行地配置。直線部12a在俯視下分別配置于第二保管區(qū)域sa2與隔著第二保管區(qū)域sa2對(duì)置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部12b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部12a彼此連接。此外，在本實(shí)施方式中，示出第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12也可以是不同形狀。第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14被設(shè)置為分別沿著x方向呈直線狀延伸。

    使保持部49上升，由此將物品2懸掛保持。在第1、第二移送部44a、44b接收物品2時(shí)，將臂部48伸長(zhǎng)而使保持部49配置于物品2的上方，在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使第1、第二升降臺(tái)43a、43b上升，由此利用保持部49將物品2提起。接著，第1、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48，由此將保持有物品2的保持部49配置于第1、第二升降臺(tái)43a、43b的下方。此外，第1、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結(jié)構(gòu)。例如，也可以是保持部49載置物品2的結(jié)構(gòu)，也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結(jié)構(gòu)。第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如使用升降機(jī)等，沿著第1、第二桅桿42a、42b使第1、第二升降臺(tái)43a、43b升降。第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動(dòng)部45b。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等，第1、第二升降臺(tái)43a、43b通過(guò)該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。驅(qū)動(dòng)部45b設(shè)置于上部支承體，進(jìn)行懸掛部件45a的抽出、卷繞。若驅(qū)動(dòng)部45b將懸掛部件抽出，則第1、第二升降臺(tái)43a、43b被第1、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而下降。另外，若驅(qū)動(dòng)部45b卷繞懸掛部件45a，則第1、第二升降臺(tái)43a、43b被第1、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而上升。江寧區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    前端活動(dòng)架與中間活動(dòng)板之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?，前端活?dòng)架的下端部裝設(shè)有吸盤(pán)安裝架，吸盤(pán)安裝架裝設(shè)有真空吸盤(pán)；固定安裝豎板的前表面開(kāi)設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽，前端活動(dòng)架螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊裝設(shè)有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸伸入至固定安裝豎板的活動(dòng)槽內(nèi)且活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸裝設(shè)有嵌插于活動(dòng)槽內(nèi)的軸承；固定安裝豎板的后表面裝設(shè)有機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸裝設(shè)有位于活動(dòng)槽旁側(cè)且用于撥動(dòng)活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。其中，所述水平導(dǎo)軌副包括有螺裝于所述固定安裝豎板且沿著左右方向水平延伸的水平導(dǎo)軌、螺裝于所述中間活動(dòng)板的水平滑塊，水平導(dǎo)軌與水平滑塊相配合。其中，所述豎向?qū)к壐卑ㄓ性O(shè)置于所述前端活動(dòng)架且呈豎向布置的豎向?qū)к?、螺裝于所述中間活動(dòng)板的豎向滑塊，豎向?qū)к壟c豎向滑塊相配合。本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型所述的一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手，其包括有機(jī)械手安裝架，機(jī)械手安裝架包括有呈豎向布置的固定安裝豎板，固定安裝豎板的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座，豎板固定座的上端部與固定安裝豎板螺接；固定安裝豎板的前端側(cè)可相對(duì)活動(dòng)地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動(dòng)板、前端活動(dòng)架。六合區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！錫山區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買(mǎi)到

溧水區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！徐匯區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)原理

    并成為從第1、第二行駛部41a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件，也可以使用焊接等在上部支承體47安裝第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二桅桿42a、42b可以是一根，例如，可以分別設(shè)置于第1、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外，第1、第二起重機(jī)40a、40b使用兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b(參照?qǐng)D2和圖3)。兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置，被上部支承體47連結(jié)。第1、第二桅桿42a、42b被兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b支承。這樣，能夠利用兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二起重機(jī)40a、40b并不限定于使用兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b，也可以使用1臺(tái)或者3臺(tái)以上的第1、第二行駛部41a、41b。第1起重機(jī)40a的第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛。即，第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11經(jīng)由第1連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)氲?區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。第二起重機(jī)40b的第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛。即。徐匯區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)原理