能夠將第1電力電路和第2電力電路配置于靠近電路基板的外周的位置,能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此,由第1電力電路和第2電力電路產生的熱不易向磁傳感器傳遞,因此,能夠抑制磁傳感器的溫度上升。作為理想的技術方案,所述第1線圈布線和所述第2線圈布線相鄰地配置。由此,能夠將第1電力電路和第2電力電路相鄰地配置。作為理想的技術方案,所述第1線圈布線的所述第2部位自比所述第1電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第1電力電路。由此,能夠使第1線圈布線遠離磁傳感器,能夠抑制因電流在第1線圈布線中流動而產生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術方案,所述電路基板具有與所述第1線圈布線的所述第2部位相連接的第1通孔,自所述電路基板的法線方向觀察時,在所述檢測電路的配置位置與所述第1通孔之間存在所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此,能夠使自第1電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離磁傳感器。作為理想的技術方案,自所述電路基板的法線方向觀察時。江寧區(qū)常見氣動懸臂吊推薦廠家!棲霞區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊品牌
轉動夾1032遠離支架102的一端的齒型結構插入至鎖定板104較厚部分的槽中,從而壓住轉動夾1032,達到鎖定夾持件103的目的。圖6是示意性表示根據(jù)本發(fā)明第1種實施方式的長度調整機構的立體圖。如圖6所示,長度調整機構2包括內調節(jié)桿201、外調節(jié)桿202和開關結構203。內調節(jié)桿201為空心矩形桿,其相對的兩個側壁設有等間隔直線排列的多個固定孔2011,每兩個相對的固定孔2011為一個長度調節(jié)檔位。外調節(jié)桿202也為空心矩形桿,其內孔為與內調節(jié)桿201外形矩形輪廓相同的矩形孔。外調節(jié)桿202一端開口,而內調節(jié)桿201從此開口處插入外調節(jié)桿202的內孔中。并且外調節(jié)桿202能套在內調節(jié)桿201外做直線往復移動,完成換擋。而為了使航天員更清晰的判斷檔位,可如圖6所示,在內調節(jié)桿201外壁上位于兩個同一側壁的固定孔2011之間的位置設置軸向環(huán)繞內調節(jié)桿201外壁的環(huán)形凹槽。此外,外調節(jié)桿202外壁的中部位置還設有扶手204。扶手204為不封閉的矩形框架結構,包括兩個短邊梁和一個長邊梁。兩個短邊梁遠離長邊梁的一端連接在外調節(jié)桿202的一個側壁上,形成一個封閉的矩形。在調整長度時,航天員握住扶手204向外拉或向里推從而使外調節(jié)桿202做遠離或靠近艙壁助力扶手a的運動。棲霞區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊品牌江寧區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家!
蝸桿旋轉的同時通過與兩個支撐板的配合可將蝸桿底端安裝的安裝板進行提升,進而可對板材進行提升,操作完畢后,只需分別將第1電機與第二電機反轉,即可重復作業(yè),除此之外立柱的底部安裝的滑輪可配合滑軌等移動裝置對機械手進行移動,以增加機械手對板材的移動范圍。本發(fā)明結構簡單易于實現(xiàn),通過各個部件間的相互配合可對板材進行穩(wěn)固的夾取并提升,節(jié)約了人力勞動提高了效率,除此之外機械手還可在惡劣的環(huán)境中進行操作,以保護人身安全。附圖說明圖1為本發(fā)明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的整體結構示意圖;圖2為本發(fā)明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的橫板與移動夾板的連接示意圖;圖3為本發(fā)明提出的一種板材搬運自動化設備的機械手的三角形傳動件的結構示意圖。圖中:1立柱、2第1電機、3第二電機、4橫板、5固定夾板、6移動夾板、7安裝板、8斜齒輪、9蝸桿、10支撐板、11第1轉盤、12第二轉盤、13轉軸、14三角形傳動件、15固定板、16螺紋套管、17轉桿、18限位板、19滑槽板、20滑桿、21防滑齒。具體實施方式下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例只只是本發(fā)明一部分實施例。
本發(fā)明涉及一種半導體制造技術,尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術:在半導體加工設備中,經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發(fā)展,設備處理的工藝越來越復雜,對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,這就需要一種定位精度高,速度快的多自由度的機械手。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設備要求,適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題,本發(fā)明通過下述技術方案得以解決:一種晶圓搬運機械手,包括升降軸、旋轉軸和伸展軸,其特征為,所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié),所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié),所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié)。雨花臺區(qū)米袋氣動懸臂吊推薦廠家!
根據(jù)不同客戶的不同的需求,費蘭智能設備一般都生產出不同類型的助力機械手產品,主要就是根據(jù)用戶的需求定制,其中包括軟索式助力機械手、硬臂式助力機械手、碼垛機械手、KBK軌道、助力機械臂等等。這些雖然名稱不相同但是大致組成結構有一定的形同部分的,也就是助力機械手主要的功能部件!一、主機部分:可實現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài),適用于物料的精確移載操作??蛰d、滿載及處理不同工件時,系統(tǒng)可感知其重量變化,并實現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動狀態(tài),便于精確定位。全程平衡、運動順滑等特點,使得操作者可以很便捷地實現(xiàn)工件的搬運、定位、裝配等操作。剛性手臂可使機械手帶工件越過障礙;系統(tǒng)可始終保持機械手頭部的水平,發(fā)揮高作業(yè)性。水平臂可滿足物料在相關場所進行橫向放入、橫向取出等動作要求。關節(jié)剎車裝置,具有多個回轉關節(jié),以實現(xiàn)廣域范圍內的物料取置;配備有剎車裝置,操作者可在操作過程中隨時中斷機械手的運動。二、氣路控制系統(tǒng)部分:變頻機械手設置有元件保護盒,以保護主要精密氣動元器件,避免操作時意外撞擊及灰塵沉積。系統(tǒng)配備二聯(lián)件、單向閥和儲氣罐,為系統(tǒng)提供持續(xù)穩(wěn)定的壓縮空氣,當主供氣源意外斷氣時,可提供一定時間的安全保障。溧水區(qū)包裝袋氣動懸臂吊推薦廠家!濱湖區(qū)象鼻子氣動懸臂吊品牌
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本發(fā)明涉及具有對電動馬達的旋轉進行控制的電子控制裝置的電動驅動裝置和電動助力轉向裝置。背景技術:利用電動馬達產生輔助轉向扭矩的電動助力轉向裝置具備作為對電動馬達進行控制的裝置的電子控制裝置。例如,在專利文獻1中,記載有能夠將電子元器件高密度地安裝于基板的驅動裝置?,F(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2016-34204號公報技術實現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題在專利文獻1的驅動裝置中,構成第1逆變器部的開關元件和構成第2逆變器部的開關元件相對于馬達的軸中心對稱地配置。構成第1逆變器部的開關元件和構成第2逆變器部的開關元件是驅動裝置所具有的電子元器件中發(fā)熱量較大的發(fā)熱元件。另外,在馬達的軸中心配置有旋轉角傳感器。在旋轉角傳感器的兩側具有發(fā)熱元件,因此存在旋轉角傳感器被自兩側加熱的可能性。本發(fā)明是鑒于上述課題而做出的,其目的在于,提供能夠抑制磁傳感器的溫度上升的電動驅動裝置和電動助力轉向裝置。用于解決問題的方案為了實現(xiàn)上述目的,一技術方案的電動驅動裝置具備:電動馬達。棲霞區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊品牌
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