第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機40a和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機40b和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個銷。該銷進入物品2的槽部，由此相對于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。江寧區(qū)米袋真空搬運機推薦廠家！棲霞區(qū)米袋真空搬運機哪家有

    5.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述旋臂的下端面上開設(shè)有導(dǎo)軌，搬運管的頂端與導(dǎo)軌滑動連接。6.如權(quán)利要求5所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述導(dǎo)軌上還滑動連接有數(shù)個掛鉤，靠近搬運管端的連接管通過掛鉤安裝在旋臂上。7.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述真空吸盤裝置包括控制頭、數(shù)個吸盤、操作手柄，控制頭包括頂端開設(shè)有開口一、底端開設(shè)有開口二的殼體，開口一與搬運管底端連通，開口二通過數(shù)根支管與各吸盤一一對應(yīng)連通，開口二上設(shè)置有位于殼體內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓位于殼體外部，且觸頭螺栓的底面低于吸盤的吸附接觸面，操作手柄固定在控制頭上。8.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述閥門包括閥片和數(shù)根外壁上套置有彈簧的光桿螺桿，光桿螺桿均勻分布并固定在開口二的四周，閥片配合將開口二封閉并活動套置在各光桿螺桿下端，同時由彈簧抵住。9.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述控制頭帶有真空表，操作手柄為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄。10.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述真空泵安裝在箱體內(nèi)，箱體置于地面上；所述搬運管為可伸縮式搬運管。新北區(qū)象鼻子真空搬運機生產(chǎn)廠家溧水區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！

    圖2為吸盤主視剖面示意圖；圖3為吸盤仰視圖示意圖；圖4為子吸盤剖面圖示意圖；其中：1-吊架，2-吸盤，3-舵把，4-吊環(huán)，5-控制按鈕，6-密封腔，7-子吸盤，8-夾板，9-氣管，10-氣罩，11-皮套，12-拉桿，13-擋板，14-限位環(huán)，15-氣孔，16-緩沖環(huán)，17-支撐桿。具體實施方式以下結(jié)合具體實施例對本實用新型的技術(shù)方案進行說明。實施例1如圖1-4所示，一種真空吸吊機，包括吊架1，吊架1正面安裝有6個吸盤2，吸盤2截面為圓形，吸盤2包括密封腔6，密封腔6由厚度為3-5mm的不銹鋼材料圍制焊接而成，密封腔6上端連接有氣管9，密封腔6下端呈梅花狀安裝有5個子吸盤7，各子吸盤7下端面相平，子吸盤7包括氣罩10，氣罩10截面為圓形，氣罩10靠近下端的截面面積大于靠近上端的截面面積，氣罩10上端與密封腔6連通，氣罩10下端密封固定有皮套11，皮套11由乳膠制成，皮套11中間位置夾有夾板8，夾板8為圓形，夾板8夾緊在皮套11兩面，夾板8上端中間圍制固定有向上的拉桿12，氣罩10上端與拉桿12對應(yīng)位置處開有導(dǎo)向孔，氣罩10上環(huán)繞導(dǎo)向孔還環(huán)繞開有4個氣孔15，氣孔15下端外側(cè)還固定有緩沖環(huán)16，緩沖環(huán)16由乳膠制成，拉桿12上還固定有擋板13，擋板13截面為向下的錐形。

    發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運機械手，利用真空原理，吸附物體，進而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡單、運作省力、高效安全。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉(zhuǎn)座、主旋轉(zhuǎn)軸、主關(guān)節(jié)鎖死裝置、大側(cè)板、擺動主臂、擺動副臂、副關(guān)節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)臂主軸、旋轉(zhuǎn)臂、垂臂旋轉(zhuǎn)座、副旋轉(zhuǎn)軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動小車截面呈長方形，其底部四角各設(shè)有一萬向輪，移動小車頂端中部設(shè)有立柱，左側(cè)設(shè)有拉桿，立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板內(nèi)設(shè)有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，大側(cè)板上設(shè)有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動主臂位于擺動副臂下側(cè)并與擺動副臂相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置。六合區(qū)多功能真空搬運機推薦廠家！

    控制頭19包括頂端開設(shè)有開口一22、底端開設(shè)有開口二23的殼體24，開口一22與搬運管15底端連通，開口二23通過數(shù)根支管29與各吸盤20——對應(yīng)連通(即一根支管29連通一個吸盤20)，開口二23上設(shè)置有位于殼體24內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓26位于殼體24外部，且觸頭螺栓26的底面低于吸盤20的吸附接觸面(本實施例的各吸盤20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制頭19上。其中，控制頭19帶有真空表27，以便于隨時了解控制頭19內(nèi)的真空度情況；操作手柄21為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄，可隨意控制搬運管15的上升、下降，以方便搬運。其中，閥門包括閥片25和數(shù)根外壁上套置有彈簧28的光桿螺桿29，光桿螺桿29均勻分布并固定在開口二23的四周，閥片25配合將開口二23封閉并活動套置在各光桿螺桿29下端，同時由彈簧28抵住。本實用新型對被搬運物體的搬運動作過程如下開啟真空泵13，在真空吸盤裝置對著被搬運物體下壓的過程中，其觸頭螺栓26會先觸碰到被搬運物體，在觸頭螺栓26的向上推力作用下，閥片25被頂開，真空作用力依次通過開口二23、支管29進入吸盤20，終實現(xiàn)對被搬運物體的吸附、搬運。搬運到位后，關(guān)閉真空泵13，閥片25在彈簧28的彈性恢復(fù)作用力下被頂回原位，將開口二23密封。六合區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！新北區(qū)象鼻子真空搬運機生產(chǎn)廠家

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    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。棲霞區(qū)米袋真空搬運機哪家有

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