下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動度：±0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時間），為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規(guī)降溫）。氣氛爐的原材料要求是什么？合肥真萍科技告訴您。高溫氣氛爐市場價格

下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。一、爐體配置爐膛結(jié)構(gòu)：采用多晶莫來石材料砌筑而成有效尺寸：φ300×320mm（D×H）設(shè)備重量：約1200Kg外觀顏色：掛板采用高溫噴塑，顏色為江淮藍外形尺寸：W1300×H2200×D1510(mm)，不含(囪、指示燈）二、熱工系統(tǒng)1.額定溫度：1550℃2.限制溫度：1600℃3.加熱元件：U型硅鉬棒4.加熱功率：16kW5.空爐保溫功率≤8kW6.溫區(qū)個數(shù)：1個7.控溫點數(shù)：1點8.熱偶:B分度9.程序**精度：±2℃（大于600℃,升溫速率≤3℃/min）10.控溫穩(wěn)定度：±1℃(恒溫平臺)11.爐膛溫度均勻度：±4℃（恒溫1500℃,2h）安徽氣氛爐有哪些品牌如有需要各種氣氛爐，歡迎致電合肥真萍科技咨詢。

下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的技術(shù)指標。1.使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2.絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；3.加熱元件：石墨加熱棒；4.冷卻方式：氣冷+循環(huán)風冷降溫；5.控溫穩(wěn)定度：±2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；6.爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）；7.氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；8.極限真空:10-3torr級；9.抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr10.升溫功率：170kW；11.升溫速率：15℃/min（空載）；12.降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘13.腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高）

加熱方法為了保證氣氛的穩(wěn)定性，氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種，馬弗爐的火焰在馬弗外，工件在馬弗內(nèi)進行間接加熱；無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管，將火焰或者電熱體與爐氣隔開，以免破環(huán)爐內(nèi)氣氛的穩(wěn)定。防爆裝置還原氣體和空氣混合達到一定混合比，在一定溫度下易引起 ，故對爐子的前，后室，淬火室 以及緩冷室等均設(shè)有防爆裝置，爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。無馬弗氣氛爐采用還原性氣體，為了不影響砌體的使用壽命，以及不破環(huán)正常爐內(nèi)氣氛，要求爐膛砌體采用抗?jié)B碳耐火材料。氣氛爐給社會帶來了什么好處？

氣氛爐的種類很多，可按爐體內(nèi)的氣氛分類（F—放熱式，X—吸熱式，YL—有機液體裂解，D—氮基，A—氨制備，M—木炭，N—氨氣， 的Q表示氣氛）氣氛爐的特點是在某一既定溫度下，向爐內(nèi)通入一定成分的人工制備氣氛，以達到某種熱處理的目的，如氣體滲碳，碳氮共滲及光亮淬火，退火，正火等。為了控制爐內(nèi)的氣氛，維持爐內(nèi)的壓力，爐內(nèi)工作空間始終要與外界空氣隔絕，盡量避免漏氣和吸入空氣，故要求爐殼，砌體，爐門及所有外界連接零件如風扇，熱電偶，輻射管，推拉料機等采用密封裝置。合肥真萍告訴您如何正確使用氣氛爐？嘉興大型氣氛爐

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真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜主要應(yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞，解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線，解決液晶的受潮問題，解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮氣柜的過濾系統(tǒng)。1.EBM電子式EC馬達控制無塵室FFU。2.鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。3.特殊導(dǎo)流風道設(shè)計，風壓平均，可有效提供風量，降低噪音。4.電路板控制模塊，提供安全保護裝置，運轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點輸出。5.無段式風量調(diào)速器可任意調(diào)整風量大小。6.濾網(wǎng)ULPA，0.12μm，99.9995%以上的過濾效果。7.電力規(guī)格：單相220V50Hz0.95A，輸出功率150W。高溫氣氛爐市場價格