本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。氣氛爐給社會帶來了什么好處?杭州氣氛爐價格多少
真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的的測控系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。一、測控系統(tǒng)1.溫度控制裝置:日本進(jìn)口溫控器,內(nèi)置PID自動整定,斜率設(shè)定功能2.溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3.溫度監(jiān)控裝置:采用日本六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進(jìn)行檢測打印。二、控制系統(tǒng)1.操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。2.防護(hù)措施:緊急停止,超溫保護(hù),斷線報警,相序保護(hù),過載保護(hù),短路保護(hù),漏電保護(hù),及電磁門禁保護(hù)等。箱式氣氛爐有哪些品牌合肥真萍告訴您如何正確使用氣氛爐?
真空烘箱是一種將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的箱體式干燥設(shè)備。它利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),從而降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。一、真空程序分段控制該型號機(jī)型,抽真空過程可提供程序化編程,只需根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時間值。相當(dāng)大可實現(xiàn)18段抽真空和保壓編程。二、操作步驟1.接通電源;2.產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門;3.打開電源;4.工作溫度設(shè)定好,啟動加熱,設(shè)備進(jìn)入自動恒溫狀態(tài);5.真空值和時間設(shè)定好后,啟動真空泵,開始進(jìn)入自動抽真空階段;6.到達(dá)時間值后,真空泵自動關(guān)閉。
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮?dú)猓髁坑嬃砍虨?~20L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進(jìn)入大氣中,減少對環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量合肥真萍科技為您提供各種氣氛爐。
真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門的半導(dǎo)體設(shè)備。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的的測控系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。一、測控系統(tǒng)1.溫度控制裝置:日本進(jìn)口溫控器,內(nèi)置PID自動整定,斜率設(shè)定功能2.溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3.溫度監(jiān)控裝置:采用日本六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進(jìn)行檢測打印。二、控制系統(tǒng)1.操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。2.防護(hù)措施:緊急停止,超溫保護(hù),斷線報警,相序保護(hù),過載保護(hù),短路保護(hù),漏電保護(hù),及電磁門禁保護(hù)等。為您推薦氣氛爐的專業(yè)生產(chǎn)廠家。中高溫氣氛爐參考價格
氣氛爐的作用是什么?合肥真萍告訴您。杭州氣氛爐價格多少
無氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。下面為大家介紹一下真萍科技無氧干燥箱。一、技術(shù)指標(biāo)與基本配置:1.使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;2.爐膛腔數(shù):2個,上下布置;3.爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度4.溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;二、氧含量(配氧分析儀):1.高溫狀態(tài)氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.控溫穩(wěn)定度:1℃;2.3溫度均勻度:2%℃(260℃平臺);杭州氣氛爐價格多少